[发明专利]激光加工机以及窗单元

摘要

本发明提供一种容易对在聚光透镜的被加工物侧配置的窗单元进行清扫的激光加工机。将用于清扫在聚光透镜(7)的被加工物侧配置的窗单元(20)的表面的清洁装置(A)，配置在沿XY方向移动自如的Y平台(9)上。清洁装置(A)由刷子(55)、使刷子(55)上升或者下降的气缸(51)、和使刷子55绕中心轴旋转的电机构成。也可以将刷子(55)与吸尘装置连接。使窗单元的基材为锗，并对和加工物相对的表面实施DLC表面涂层处理。

主权项

1.一种激光加工机，利用聚光透镜将从激光振荡器发出的激光束聚光于在XY平台上载置并定位的被加工物上而进行加工，其特征在于，具备：窗单元，被配置在前述聚光透镜的前述被加工物侧；清洁装置，被配置在前述XY平台上，且能清扫前述窗单元的表面，其中，当由前述激光束对前述被加工物进行加工时，前述清洁装置位于脱离前述窗单元的位置上；当对前述窗单元进行清扫时，该清洁装置则与该窗单元抵接而进行清扫。