[实用新型]一种单晶炉移动热屏装置无效
| 申请号： | 200620042514.4 | 申请日： | 2006-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN200958129Y | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 周鸿军;忻礼华;程旭兵 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200444上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及生长单晶半导体材料的单晶炉的移动热屏装置。该装置由热屏、热屏拉杆、波纹管、滚珠丝杠座、伺服电机等组成。热屏通过支架与热屏拉杆连接固定，热屏拉杆和超高真空波纹管及滚珠丝杠座连接固定，两个伺服电机同步驱动两个滚珠丝杠，螺母与其固定在一起的滚珠丝杠座、热屏拉杆和超高真空波纹管一起上下运动，由此驱动热屏上下运动。热屏可在其行程范围内任意位置悬停，在硅单晶生长时也可将热屏搁置在保温筒上。水冷套固定在上炉体上端面上。可移动的热屏和固定的水冷套显著改善了热场的纵向温度梯度，使硅单晶生长速率提高了15％～20％，电源消耗功率降低了25％～30％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 移动 装置 | ||
【主权项】：
1、一种单晶炉移动热屏装置，其特征在于由热屏、热屏拉杆、超高真空波纹管、导向杆、滚珠丝杠、滚珠丝杠座、热屏行程控制机构、伺服电机经连接组成，其中，热屏(24)位于上炉体(22)内，上炉体(22)两侧肩部对称设置2个水平法兰(27)，法兰(27)中心处开有供热屏拉杆(3)上下运动的通孔，热屏拉杆(3)下端穿过法兰(27))上的通孔，并穿入上炉体(22)，与热屏(24)连接，热屏拉杆(3)上端穿过超高真空波纹管(4)与滚珠丝杠座(7)固定；超高真空波纹管(4)下端与上炉体(22)上的法兰(27)固定连接，上端与滚珠丝杠座(7)连接；导向杆(5)下端也固定于法兰(27)上，上端与支撑安装伺服电机(13)用的电机座(10)连接；伺服电机(13)经过减速器(14)与滚珠丝杠轴联器(12)连接，减速器(14)通过螺钉固定于电机座(10)上；滚珠丝杠(6)设置于导向杆(5)旁侧，其上端部与滚珠丝杠座(7)固定连接，并穿过滚珠丝杠座(7)、通过滚珠丝杠轴承座(11)与滚珠丝杠联轴器(12)连接。
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