[发明专利]采用MEMS技术制作的半导体器件

摘要

一种半导体器件，它包括弹性部件、第一和第二电极、压电致动器、以及静电致动器。弹性部件的一个末端通过固定器被固定在衬底上，以便在弹性部件与衬底之间形成间隙。第一和第二电极分别被安置成面对弹性部件的另一末端和衬底。此压电致动器使弹性部件的另一末端形变，以便使之靠近衬底。静电致动器包括位于弹性部件中的第三电极和位于衬底上面对第三电极的第四电极，并使弹性部件的另一末端形变，以便使之靠近衬底。借助于驱动压电致动器和静电致动器，来改变第一电极与第二电极之间的距离。

主权项

1.一种半导体器件，它包含：弹性部件，此弹性部件具有通过固定器被固定在衬底上的一个末端，以便在所述一个末端与衬底之间形成间隙并被形变以改变衬底与弹性部件另一末端之间的距离；第一电极，此第一电极被置于弹性部件的所述另一末端处；第二电极，此第二电极被置于衬底上，面对第一电极；压电致动器，此压电致动器被置于弹性部件中并被形变，以便使弹性部件的所述另一末端靠近衬底；以及静电致动器，此静电致动器包括位于弹性部件中的第三电极和位于衬底上且面对第三电极的第四电极，所述静电致动器被形变，以便使弹性部件的所述另一末端靠近衬底，其中，借助于驱动压电致动器和静电致动器来改变第一电极与第二电极之间的距离。