[发明专利]用于等离子体处理系统中控制多区喷嘴的耐腐蚀设备

摘要

一种用于将气体分配系统连接至多区注入器的集成气体流量控制组件，其包括：第一通道组，用于将气体分配系统连接至第一阀组件、第二阀组件、第三流量组件、和第四流量组件；第二通道组，用于将第三流量组件和第一阀组件连接至第一多区注入器区；以及第三通道组，用于将第四流量组件和第二阀组件连接至第二多区注入器区。如果第一阀组件闭合，则第一多区注入器区的流速约为通过第三流量组件的第三流速，并且如果第二阀组件闭合，则第二多区注入器区的流速约为通过第四流量组件的第四流速。

主权项

1.一种等离子体处理系统中的集成气体流量控制组件，用于将气体分配系统连接至多区注入器，其包括：第一通道组，用于将所述气体分配系统连接至具有第一流速的第一阀组件、具有第二流速的第二阀组件、具有第三流速的第三流量组件、以及具有第四流速的第四流量组件，其中，当所述第一阀组件基本上打开时，所述第三流速小于所述第一流速，以及当所述第二阀组件基本上打开时，所述第四流速小于所述第二流速；第二通道组，用于将所述第三流量组件和所述第一阀组件连接至第一多区注入器区；第三通道组，用于将所述第四流量组件和所述第二阀组件连接至第二多区注入器区；其中，如果所述第一阀组件闭合，则第一多区注入器区流速约为所述第三流速，以及如果所述第二阀组件闭合，则第二多区注入器区流速约为所述第四流速。