[发明专利]高熔点金属制品的再生无效
| 申请号： | 02804821.0 | 申请日： | 2002-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN1491294A | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | P·艾蒙尼;P·库马尔;P·R·杰普森;H·乌伦胡特;H·V·戈尔德贝格 | 申请（专利权）人： | H·C·施塔克公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23F7/00;B22F3/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 周承泽 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 高熔点金属制品(12)，如铜等非高熔点导电金属背衬(14)上的钽，能够在选定区域的金属被消耗后，通过对该区域(18)进行粉末填充(28)和高扫描速度下高能加热(30)烧结所加的粉末而再生，由于无需完全熔化填充的粉末，所以能够建立与再生制品的其余部位一致的显微结构，并且无需将铜背衬(14)与钽溅射板(12)分离。该再生方法可以应用于遭受不均匀侵蚀、蚀刻、切割或其他金属消耗的非固定安装的高熔点金属制品。这些高熔点金属制品的形状可以是板状、棒状、圆柱体状、块状或其他除溅射靶以外的形状。该过程可以应用于如X射线靶(碳背衬上的钼板)。 | ||
| 搜索关键词： | 熔点 金属制品 再生 | ||
【主权项】：
1.再生的钽溅射靶，包括：使用过的钽溅射靶，包括一个钽溅射板和一个背衬板，其中所述钽溅射板的靶表面有一个或多个消耗的表面部位；在每个消耗表面部位上的结合了的金属颗粒，这些结合了的金属颗粒部分地或全部地填充每个消耗表面部位，其特征在于所述使用过的钽溅射靶无需从其上面分离去所述背衬板，即可实行再生。
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