[发明专利]由高熔点金属合金、高熔点金属硅化物、高熔点金属碳化物、高熔点金属氮化物或高熔点金属硼化物这些难烧结物质构成的靶及其制造方法以及该溅射靶 -背衬板组件及其制造方法有效
| 申请号： | 200880000418.5 | 申请日： | 2008-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101542011A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 山越康广 | 申请（专利权）人： | 日矿金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K20/00;C04B37/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种由高熔点金属合金、高熔点金属硅化物、高熔点金属碳化物、高熔点金属氮化物或高熔点金属硼化物这些难烧结物质构成的靶，其特征在于，具有由高熔点金属合金、高熔点金属硅化物、高熔点金属碳化物、高熔点金属氮化物或高熔点金属硼化物这些难烧结物质构成的靶材与靶材以外的高熔点金属板接合的结构。本发明提供由高熔点金属合金、高熔点金属硅化物、高熔点金属碳化物、高熔点金属氮化物或高熔点金属硼化物这些难烧结物质构成的靶及其制造方法，其特征在于，能够比较容易地制造由难以进行机械加工的高熔点金属合金、高熔点金属硅化物、高熔点金属碳化物、高熔点金属氮化物或高熔点金属硼化物这些难烧结物质构成的靶，并且有效地抑制制造靶时及大功率溅射时裂纹的产生，并抑制热压时靶原料与模具的反应，还能够降低靶的翘曲。 | ||
| 搜索关键词： | 熔点 金属 合金 金属硅 碳化物 氮化物 硼化物 这些 烧结 物质 构成 及其 制造 方法 以及 | ||
【主权项】：
1.一种由高熔点金属合金、高熔点金属硅化物、高熔点金属碳化物、高熔点金属氮化物或高熔点金属硼化物这些难烧结物质构成的靶，其特征在于，具有由高熔点金属合金、高熔点金属硅化物、高熔点金属碳化物、高熔点金属氮化物或高熔点金属硼化物这些难烧结物质构成的靶材与靶材以外的高熔点金属板接合的结构。
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