[发明专利]在感应耦合等离子体腐蚀系统中有效地控制高频峰－峰电压的装置和方法有效
| 申请号： | 01807672.6 | 申请日： | 2001-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1422434A | 公开（公告）日： | 2003-06-04 |
| 发明（设计）人： | 中嵨州 | 申请（专利权）人： | 拉姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种感应耦合等离子体腐蚀装置包括室(100)和用于密封该室的顶部开口的窗口(10)。窗口(10)具有暴露到室(100)内部区域的内表面。起法拉第屏蔽作用的金属板(217)设置在窗口(10)上方并与窗口(10)有一定的间距。线圈(117)设置在金属板(217)上方并与金属板有一定的间距。线圈(117)在一个连接位置导电地连接到金属板(217)上，其连接位置(参见连接器207)使得在金属板上产生的峰－峰电压能最优地减少窗口(10)内表面的溅射，同时基本上同时防止了腐蚀副产品在窗口内表面上的淀积。在另一个实施例中，装置包括一个控制器，用于将峰－峰电压外部地施加到金属板(217)。控制器包括振荡电路、匹配电路、RF发生器、以及用于监控施加的峰－峰电压的反馈控制。还介绍了一种用于优化一个感应耦合等离子体腐蚀装置的操作的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 耦合 等离子体 腐蚀 系统 有效地 控制 高频 电压 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感应耦合等离子体腐蚀装置，包括：一个室；一个用于密封该室的顶部开口的窗口，窗口具有一个暴露到该室的内部区域的内表面；一个设置在窗口上方并与窗口有一定间距的金属板；一个设置在金属板上方的线圈，线圈与金属板有一定的间距，并且线圈在一个连接位置导电地连接到金属板上，其连接位置使得在金属板上产生的峰-峰电压能最佳地减少窗口内表面的溅射，同时基本上同时防止了腐蚀副产品在窗口内表面上的淀积。
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