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[发明专利]蒸发源、沉积设备以及用于蒸发有机材料的方法-CN201710018205.6有效
发明人： S·邦格特;U·舒斯勒;J·M·迭戈兹-坎波;D·哈斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-12-10 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：描述了一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括蒸发坩埚，其中所述蒸发坩埚配置成蒸发所述有机材料；具有一个或多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩埚流体地连通，并且其中所述分布管可在蒸发期间绕轴旋转；以及用于防护所述有机材料的至少一个侧面防护罩。
蒸发沉积设备以及用于有机材料方法

[发明专利]用于有机材料的蒸发源-CN201480077386.4有效
发明人： J·M·迭戈兹-坎波;S·邦格特;A·鲁普;U·舒斯勒 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-21 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：描述一种用于在基板上沉积两种或更多种有机材料的蒸发源阵列。所述蒸发源阵列包括：两个或更多个蒸发坩锅，其中所述两个或更多个蒸发坩锅被配置成蒸发所述两种或更多种有机材料；两个或更多个分配管道，所述两个或更多个分配管道具有沿所述两个或更多个分配管的长度而提供的出口，其中所述两个或更多个分配管道中的第一分配管道与所述两个或更多个蒸发坩锅中的第一蒸发坩锅流体连通；两个或更多个热屏蔽件，所述两个或更多个热屏蔽件包围所述第一分配管道；冷却屏蔽布置，所述冷却屏蔽布置提供在所述两个或更多个分配管道的至少一侧，其中所述至少一侧是提供所述出口的那侧；以及冷却元件，所述冷却元件提供在所述冷却屏蔽布置处或中，用于对所述冷却屏蔽布置的主动冷却。
用于有机材料蒸发

[发明专利]用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备及蒸发有机材料的方法-CN201380081500.6有效
发明人： S·邦格特;U·舒斯勒;J·M·迭戈兹-坎波;D·哈斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-12-10 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：描述了一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括蒸发坩埚，其中所述蒸发坩埚配置成蒸发所述有机材料；具有一个或多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩埚流体地连通，并且其中所述分布管可在蒸发期间绕轴旋转；以及用于所述分布管的支撑件，其中所述支撑件可连接至第一驱动器或包括所述第一驱动器，其中所述第一驱动器配置成用于所述支撑件和所述分布管的平移运动。
用于有机材料蒸发空腔沉积设备方法

[发明专利]用于有机材料的蒸发源-CN201480077377.5有效
发明人： S·邦格特;J·M·迭戈兹-坎波;U·舒斯勒;A·鲁普 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-21 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：描述一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩埚被配置成蒸发所述有机材料；分配管道，所述分配管道具有沿所述分配管道的长度而提供的一或多个出口，其中所述分配管道与所述蒸发坩锅流体连通，并且其中所述分配管道具有垂直于所述分配管道的长度的横截面，所述横截面是非圆形的，并且包括：出口侧，一或多个出口提供在所述出口侧处，其中所述横截面的所述出口侧的宽度是所述横截面的最大尺寸的30％或更小。
用于有机材料蒸发

[发明专利]溅射沉积源、溅射沉积的设备及其组装方法-CN201380080736.8有效
发明人： S·凯勒;U·舒斯勒;D·哈斯;S·邦格特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-11-05 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：描述了一种用于在真空腔室中溅射沉积的溅射沉积源。该源包括：真空腔室的壁部分；目标，在溅射沉积期间提供待沉积的材料；RF电源，用于向目标提供RF功率；功率连接器，用于将目标与RF电源连接；以及导体棒，穿过壁部分从真空腔室内部延伸至真空腔室外部，其中导体棒被连接至真空腔室内部的一个或多个部件，并且其中导体棒被连接至真空腔室外部的RF电源以生成穿过导体棒的定义的RF返回路径。
射频 rf 溅射沉积设备及其组装方法

[发明专利]用于处理器件的处理设备以及用于传送蒸发源的方法-CN201480066877.9有效
发明人： J·M·迭戈兹-坎波;S·邦格特;U·舒斯勒;D·哈斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-08-19 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种用于处理器件(特别是在所述器件中包含有机材料的器件)的处理设备被描述。所述处理设备包含处理真空腔室；用于有机材料的至少一个蒸发源，其中所述至少一个蒸发源包含至少一个蒸发坩锅，其中所述至少一个蒸发坩锅经配置以蒸发所述有机材料，及具有一个或多个出口的至少一个分布管路，其中所述至少一个分布管路与所述至少一个蒸发坩锅流体连通；及与所述处理真空腔室连接的维护真空腔室，其中所述至少一个蒸发源可从所述处理真空腔室被传送至所述维护真空腔室，及从所述维护真空腔室至所述处理真空腔室。
一种用于处理器件设备其中包含有机材料蒸发空腔传送维护方法

[发明专利]用于减少的热能传输的基板载体-CN201380081075.0有效
发明人： A·E·洛珀;S·凯勒;U·舒斯勒;S·邦格特;T·格贝勒;N·施帕茨 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-11-25 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：根据本公开案，提供一种半导体基板搬运系统和基板载体。用于支承待处理的基板并用于利用传输装置在处理区域中传输基板或将基板传输通过处理区域的所述基板载体包括：主要部分，所述主要部分用于支承所述基板；第一端部部分，所述第一端部部分适于由所述传输装置来支撑；以及至少一个第一中间部分，所述第一中间部分将所述主要部分与所述第一端部部分连接。所述至少一个第一中间部分包括一或多个切口，所述切口适于减少所述主要部分与所述第一端部部分之间的热能传递。
用于减少热能传输载体

[发明专利]在由载具支撑的基板上沉积一层或多层的系统及方法-CN201710383682.2在审
发明人： S·邦格特;U·舒斯勒;J·M·迭戈兹-坎波;D·哈斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-02-04 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：描述了一种用于沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的系统。所述系统包括第一装载锁定腔室；第一传递腔室和第二传递腔室，用于传送所述基板；包括两个或更多个沉积设备的直列式沉积系统部分，所述两个或更多个沉积设备设置在所述第一传递腔室与所述第二传递腔室之间，并且所述直列式沉积系统部分适用于将载具从一个沉积设备传送到相邻的沉积设备，其中所述沉积设备包括可移动且可转动的蒸发源；以及第二装载锁定腔室。
支撑基板上沉积一层多层系统方法

[发明专利]用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法-CN201480073071.2在审
发明人： S·邦格特;U·舒斯勒;J·M·迭戈兹-坎波;D·哈斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-02-04 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：描述了一种用于沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的系统。所述系统包含：装载锁定腔室，用于装载待处理的基板；传递腔室，用于传送所述基板；真空摆动模块，在所述装载锁定腔室和所述传递腔室之间提供；至少一个沉积设备，用于在所述至少一个沉积腔室的真空腔室中沉积材料，其中所述至少一个沉积设备连接至所述传递腔室；进一步的装载锁定腔室，用于卸载经处理的基板；进一步的传递腔室，用于传送所述基板；进一步的真空摆动模块，在所述进一步的装载锁定腔室和所述进一步的传递腔室之间提供；以及载具返回轨道，从所述进一步的真空摆动模块通往所述真空摆动模块，其中所述载具返回轨道被配置成在真空条件下和/或在受控的惰性气氛下传送所述载具。
用于有机材料蒸发具有设备带有沉积系统以及操作方法

[发明专利]用于平面矩形或方形基片的真空－处理设备-CN200410085683.1无效
发明人： R·林登伯格;F·富克斯;U·舒斯勒;S·班格特;T·斯托利 -专利权人：应用菲林股份有限两合公司
申请日： 2004-10-15 - 公布日： 2005-04-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一个真空－处理设备被设置用于大边缘长度的平面基片，该基片在一个至少基本垂直位置上被输送和处理。该设备包括：一个真空室并带有至少两个在其圆周上分布的向真空室侧开闸口的处理室，一个闸口系列和在真空室内基片夹持器(13)的一个可转动配置结构带有一个用于该基片夹持器(13)相对处理室的按顺序转动及径向运动的驱动机构(1)，其中为了减小该定位表面，室容积和抽真空时间，为了简化该“操作”以及为了首先减少通过剥落的层材颗粒对基片的污染特建议，该基片夹持器在其下边区域中通过操纵杆装置(8)与驱动机构连接并且至少该操纵杆装置的下边回转轴承被安置在该基片夹持器承载表面的高度(H)的一水平中心线(M)下方。
用于平面矩形方形真空处理设备

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