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[发明专利]一种用于光刻机器的集成传感器系统的电容式感测系统-CN201610064253.4有效
发明人： G.德波尔;J.J.J.范巴尔;K.P.帕德耶;R.莫赛尔;N.弗吉尔;S.W.H.K.斯廷布林克 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： G01D3/036 文献下载
摘要：一种用于光刻机器的集成传感器系统的电容式感测系统，该电容式感测系统包括用于测量所述电容式传感器与靶材之间的距离的两个或更多个电容式传感器、用于为所述电容式传感器供电的一个或多个AC电源、以及用于处理来自所述电容式传感器的信号的信号处理电路，其中所述传感器被成对配置，其中所述一个或多个AC电源被配置成以交流电流或电压为一对传感器中的第一传感器供电，该交流电流或电压与供应给该对传感器中的第二传感器的电流或电压相位相差180度，且其中所述信号处理电路配置成从该对传感器中的每一传感器接收输出信号，并基于接收到的输出信号产生有关于该对传感器与靶材间的平均距离的测量数值。
一种用于光刻机器集成传感器系统电容式感测

[发明专利]用于电容式测量系统的有源屏蔽-CN201280032762.9有效
发明人： C.沃伯格;R.莫赛尔;K.P.帕德耶;E.德科克;W.维斯 -专利权人：迈普尔平版印刷IP有限公司
申请日： 2012-07-02 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G01D5/24 文献下载
摘要：一种产生表示对一目标的测量位置或距离的测量信号的电容式测量系统。该系统具有第一电路，其包括薄膜电容式传感器(1a)，配置成提供取决于测量位置或距离的传感器电容；电缆(30a)，包括传感器接线(31a)和同轴屏蔽导体(32a)，电缆具有远程末端和本地末端，传感器接线在电缆的本地末端处电连接到电容式传感器；电压源(24a)，具有在电缆的远程末端处连接至传感器接线的输出端子，并被配置成供给电容式传感器能量，并以与传感器接线大致相同的电压供给屏蔽导体能量；以及电流测量电路(21a)，其具有第一和第二输入端子和一输出端子，电流测量电路与电压源和传感器接线串联连接，其中第一输入端子连接到电压源的输出端子并且第二输入端子在电缆的远程末端处连接到传感器接线，电流测量电路布置成测量在传感器接线中流动的电流并且在输出端子处产生测量信号。
用于电容测量系统有源屏蔽

[发明专利]用于测量输入电流的系统-CN201280032498.9无效
发明人： C.沃伯格;R.莫赛尔;K.P.帕德耶;E.德科克;W.维斯 -专利权人：迈普尔平版印刷IP有限公司
申请日： 2012-07-02 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： G01D5/24 文献下载
摘要：种用以测量来自电流源(CS)的输入电流(Ics)并且产生电流测量信号的测量系统，包括电流测量电路(70)，此电路具有连接至该电流源的第一输入终端(72)以及用以提供该电流测量信号的输出终端(74)。该电流测量电路还包括一个或多个电力供应终端(75、76)，其被布置成接收来自电力供应设备(77a、77b)的一个或多个电压以对该电流测量电路供电。该电流测量电路还包括第一电压源(VD)，其被耦接于该一个或多个电力供应终端，该第一电压源将扰动电压提供至该一个或多个电力供应终端，该扰动电压代表在该第一输入终端处的电压。
用于测量输入电流系统

[发明专利]具有差动对的电容式感测系统-CN201080065050.8有效
发明人： G.德波尔;J.J.J.范巴尔;K.P.帕德耶;R.莫赛尔;N.弗吉尔;S.W.H.K.斯廷布林克 -专利权人：迈普尔平版印刷IP有限公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： G01B7/02 文献下载
摘要：一种电容式感测系统，包括两个或更多个电容式传感器（30a、30b）、用于供电给该电容式传感器的一个或多个AC电源（306a、306b）、以及用于处理来自传感器的信号的信号处理电路。这些传感器被布置成对，其中一个或多个AC电源被配置成以交流电流（307）或电压供电给一对传感器中的第一传感器，该交流电流或电压与供给该对传感器中的第二传感器的电流或电压相位相差180度，且其中一对传感器提供针对单一测量距离数值的测量单元，该信号处理电路从该对传感器中的每一传感器接收输出信号，并产生有关于该对传感器与靶材（9）间的平均距离的测量数值。
具有差动电容式感测系统

[发明专利]曝光方法-CN201080065058.4无效
发明人： G.德波尔;J.J.J.范巴尔;K.P.帕德耶;R.莫赛尔;N.弗吉尔;S.W.H.K.斯坦布林克;J.J.科宁 -专利权人：迈普尔平版印刷IP有限公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种用于对系统中的靶材的表面进行曝光的方法，该系统包含一组用于测量距靶材的距离的传感器(30)。该方法包括将靶材箝制到可移动平台(134)、移动靶材至一个或多个传感器被定位于靶材上方的多个位置、接收来自被定位于靶材上方的一个或多个传感器的信号、依据接收自传感器的信号计算一个或多个倾斜度修正数值(Rx、Ry)、依据该一个或多个倾斜度修正数值调整平台的倾斜度、以及对靶材进行曝光。
曝光方法

[发明专利]集成传感器系统-CN201080065060.1无效
发明人： G.德波尔;J.J.J.范巴尔;K.P.帕德耶;R.莫赛尔;N.弗吉尔;S.W.H.K.斯廷布林克 -专利权人：迈普尔平版印刷IP有限公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种用于光刻机器的集成传感器系统，该系统包括用于将一个或多个曝光射束聚焦至靶材上的投射透镜系统(132)、用于承载靶材(9)的可移动平台(134)、用于进行有关投射透镜系统的最后聚焦组件(104)和靶材(9)的表面间的距离的测量的电容式感测系统(300)、以及控制单元(400)。该控制单元(400)用于至少部分地依据来自电容式感测系统的信号控制可移动平台(134)的移动而调整靶材(9)的位置。该电容式感测系统(300)包括多个电容式传感器(30)，每一个电容式传感器(30)均包括薄膜结构。该电容式传感器和投射透镜系统的最后聚焦组件(104)直接安装至共同基座(112)，且该传感器被放置于极为接近投射透镜系统的最后聚焦组件的边缘处。
集成传感器系统

[发明专利]电容式感测系统-CN201080063434.6有效
发明人： G.德波尔;J.J.J.范巴尔;K.P.帕德耶;R.莫赛尔;N.弗吉尔;S.W.H.K.斯坦布林克 -专利权人：迈普尔平版印刷IP有限公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： G01B7/02 文献下载
摘要：一种电容式感测系统，包括具有薄膜结构的传感器(30)，薄膜结构包括传感器，其具有第一绝缘层(34)，和包括在该第一绝缘层(34)的第一表面上形成的感测电极(31)的第一导电膜，以及包括背护电极(35)的第二导电膜。该背护电极可在单个平面上形成并包括在该同一平面上的周边部分，并且被部署在该第一绝缘层(34)的第二表面和第二绝缘层(43)或保护层(38)的第一表面上。该背护电极的周边部分可延伸超过该感测电极(31)，以形成侧护电极，该侧护电极大致上或完全地包围该感测电极。
电容式感测系统