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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]使用等离子体系统的高产量粒子生产-CN201480013645.7有效
发明人： M·A·比博格;D·利蒙;F·P·莱曼;P·勒菲弗 -专利权人： SDC材料公司
申请日： 2014-03-12 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： H05H1/42 文献下载
摘要：本发明是关于一种纳米粒子生产系统及使用所述系统的方法。所述纳米粒子生产系统包含等离子体枪，其包含凸形电极、凹形电极及工作气体供应器，所述工作气体供应器被配置为沿涡旋螺旋流方向跨等离子体产生区域而输送工作气体。所述系统亦包含连续供给系统、淬火腔室、包含层流扰动器的冷却导管、系统超压模组及调节流体净化及再循环系统。
使用等离子体系统产量粒子生产

[发明专利]用于半导体衬底的高压处理室-CN01813187.5无效
发明人： M·A·比伯格;F·P·莱曼;T·R·苏顿 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2001-07-24 - 公布日： 2007-05-23 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：高压处理室包括室外壳、工作台以及机械驱动机构。室外壳包括第一密封表面。工作台包括用于支撑半导体衬底的区域以及第二密封表面。机械驱动机构将工作台连接到室外壳。在操作中，机械驱动机构将工作台与室外壳分开，用于装载半导体衬底。在进一步的操作中，机械驱动机构使工作台的第二密封面以及室外壳的第一密封表面在半导体衬底的周围形成高压处理室。
用于半导体衬底高压处理

[发明专利]包含流量增强特征的半导体衬底高压加工室-CN02811658.5无效
发明人： M·A·比贝格;F·P·莱曼;T·R·苏顿 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2002-04-10 - 公布日： 2005-06-22 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于半导体衬底加工的高压室，它包含高压加工腔、多个注入喷嘴、以及第一和第二出口。高压加工腔在高压加工过程中夹持半导体衬底。多个注入喷嘴向着高压加工腔内取向成涡流角，且能够在半导体衬底表面上产生涡流。第一和第二出口位于多个注入喷嘴的中心附近，且能够在第一时间段提供第一出口的工作出口，并能够在第二时间段提供第二出口的工作出口。在一个备选实施方案中，高压加工腔的上表面包含高度变化。此高度变化对半导体衬底上流动的工艺流体产生了更为均匀的分子速度。
包含流量增强特征半导体衬底高压加工

[发明专利]用于多个半导体衬底的高压处理室-CN02819644.9无效
发明人： M·A·比伯格;F·P·莱曼 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2002-10-03 - 公布日： 2005-03-23 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：一种用于处理多个半导体衬底的高压处理室，该处理室包含室外壳、匣和封闭物。匣可拆卸地连接在室外壳上。该匣构成为至少容纳两个半导体衬底。封闭物连接在室外壳上。构成封闭物使得在操作中，封闭物与室外壳密封在一起，从而为半导体衬底的高压处理提供封闭室。
用于半导体衬底高压处理

[发明专利]工件的超临界处理的方法和装置-CN00815298.5有效
发明人： M·A·比伯格;F·P·莱曼;T·R·苏顿 -专利权人：东京威力科创股份有限公司
申请日： 2000-11-01 - 公布日： 2003-02-26 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于超临界处理和非超临界处理工件的装置包括一传送组件、一超临界处理组件、一非超临界处理组件和一机器人。该传送组件包括一入口。该超临界处理组件和非超临界处理组件连接到该传送组件上。该机器人最好与位于该传送组件内。在操作中，该机器人将工件从该传送组件的入口传送到该超临界处理组件中。在超临界处理后，该机器人将该工件从该超临界处理组件传送到该该非超临界处理组件中。在非超临界处理后，该机器人将该工件返回到该传送组件。作为选择，该非超临界处理可在该超临界处理之前实施。
工件临界处理方法装置

[发明专利]多个工件的超临界处理的方法和装置-CN00815299.3无效
发明人： M·A·比伯格;F·P·莱曼;T·R·苏顿 -专利权人：东京威力科创股份有限公司
申请日： 2000-11-01 - 公布日： 2002-12-25 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于超临界处理多个工件的装置包括一传送组件、第一和第二超临界处理组件和一机器人。该传送组件包括一入口。该第一和第二超临界处理组件连接到该传送组件上。该机器人最好位于与该传送组件内。在操作中,该机器人将第一工件从该传送组件的入口传送到该第一超临界处理组件中。接着该机器人将第二工件从该传送组件的入口传送到该第二超临界处理组件中。在该工件处理后,该机器人将该第一和第二工件返回到该传送组件的入口。作为选择,该装置包括连接到该传送组件上的附加的超临界处理组件。
工件临界处理方法装置

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