专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]阻抗匹配系统及其操作方法-CN201980022193.1在审
  • D·卡特;V·布劳克 - 先进工程解决方案全球控股私人有限公司
  • 2019-01-25 - 2020-11-10 - H01J37/32
  • 一种阻抗匹配系统包括阻抗匹配网络和控制器,所述阻抗匹配网络被耦合在交流(AC)发生器与等离子体腔室的电极之间,所述AC发生器生成具有不同幅度水平的循环重现的脉冲间隔的多水平脉冲信号,所述控制器识别每个重现的脉冲间隔;并且针对每个脉冲间隔:确定所述AC发生器与所述电极之间的阻抗失配水平,根据所确定的阻抗失配水平来调节所述阻抗匹配网络的配置,存储与经调节的配置相关联的信息。当接踵而来的脉冲间隔出现时,所述控制器从存储器中获得所存储的信息,根据所存储的信息来调节所述阻抗匹配网络的所述配置,确定所述AC发生器与所述电极之间的另一阻抗失配水平,并且调节所述阻抗匹配网络的所述配置以迭代减小所述阻抗失配水平。
  • 阻抗匹配系统及其操作方法

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