专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于垂直FET SRAM及逻辑单元微缩的金属层布线层级-CN201711182012.0有效
  • S·本利;B·C·保罗 - 格芯(美国)集成电路科技有限公司
  • 2017-11-23 - 2021-10-01 - H01L27/11
  • 本发明涉及用于垂直FET SRAM及逻辑单元微缩的金属层布线层级,提供形成具有与一个晶体管对的栅极以及另一个晶体管对的底部S/D连接的鳍片下层级金属布线层的VFET SRAM或逻辑装置的方法以及所得装置。实施例包括形成于衬底上的鳍片对;围绕该鳍片在该衬底上图案化的底部S/D层;形成于该衬底上方的共形衬里层;形成于衬里层上方的ILD;金属布线层,形成于该些鳍片对之间、该第一对之间的该衬里层上以及至少该第二对之间的该底部S/D层上,上表面形成于该主动鳍片部下方;围绕该第一对的各鳍片形成于介电间隙壁上的GAA;以及分别邻近该GAA或穿过该GAA形成于该金属布线层上的底部S/D接触xc(交叉耦接)或专门xc。
  • 用于垂直fetsram逻辑单元微缩金属布线层级

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