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[发明专利]一种气密性检测结构及检测方法-CN202210304282.9在审
发明人： 黎远成;杨鹏远;王建冲;张玉利 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01M3/06 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备中冷却器加工技术领域，具体为一种气密性检测结构及检测方法。该气密性检测结构包括由上、中、下三层结构焊接而成的焊接件或成品，焊接件或成品的中层结构内设有至少一条流体沟槽一，焊接件或成品的上层结构内设有至少一条流体沟槽二；流体沟槽一和流体沟槽二分别设有至少一个通孔；当检测焊接件时，还包括与焊接件一侧相连接的检测板一；当检测成品时，还包括分别与成品上下两侧相连接的检测板一和检测板二。采用该气密性检测结构进行，可在焊接后、机加工过程中的工序切换之间进行更多检测，及早发现问题。而且可进行全过程检测，提高了最终良品率，确保生产出满足半导体应用的冷却器。
一种气密性检测结构方法

[发明专利]一种废钢金属料液压打包设备及方法-CN202211399277.7在审
发明人：雷旨苑;韩波;邱晓玲;黎远成;吕京昌 -专利权人：江西铃瑞再生资源开发有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B30B9/32 文献下载
摘要：本发明提供的一种废钢金属料液压打包设备及方法，所述废钢金属料液压打包设备，包括：操作台，所述操作台上设置有液压机构，所述操作台上设置有动力机构，所述动力机构包括水平设置在所述操作台正上方的转动件和用于驱动所述转动件水平转动的动力部件。本发明提供的一种废钢金属料液压打包设备，通过设置操作台、液压机构、动力部件和废料成型机构之间配合使用，可实现连续的对废钢金属废料进行液压打包处理，其中，通过设置装料部件与底板部件构成可活动的废钢金属料成型容器，实现了自动卸料功能，无需接触推动机构推动卸料，降低了卸料难度和卸料成本，使得卸料时间大大缩短，进一步提高了工作效率。
一种废钢金属液压打包设备方法

[实用新型]钎焊装置-CN202220885190.X有效
发明人： 黎远成;杨鹏远;王建冲;张玉利 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： B23K3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械制造技术领域，特别是涉及一种钎焊装置。本实用新型的目的是提供一种焊接后的焊接件焊缝厚度均匀、焊缝缺陷少、成品率提高的钎焊装置，具体包括第一装置板、第二装置板及至少两组可拆卸连接件，所述第一装置板与所述第二装置板相互平行设置，所述可拆卸连接件连接于所述第一装置板与所述第二装置板之间，所述两组可拆卸连接件间隔设置，所述第一装置板与所述第二装置板之间用于夹持待焊接件，所述可拆卸连接件的热膨胀系数均小于所述待焊接件的热膨胀系数，相同温度下所述可拆卸连接件的机械强度不低于所述待焊接件的机械强度。
钎焊装置

[实用新型]一种废钢打包机-CN202220199000.9有效
发明人：吕京昌;刘嵩;刘敏;付广;蔡波凯;黎远成 -专利权人：江西铃瑞再生资源开发有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B30B9/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种废钢打包机,涉及环保回收技术领域，其技术方案要点是，打包机本体、气压伸缩杆、折叠装置，该种废钢打包机，通过该种废钢打包机，通过从进料口投入的废钢经过挤压轮的挤压将废钢进行压扁后，其电动推杆带动的凸型块可顺利将废钢挤压进挤压轮的间隔内的效果，继而不会使得废钢在挤压时脱离挤压轮的效果，落入挤压块的间隔中，随后挤压块被气压伸缩杆带动靠近被压扁的废钢后通过电动伸缩杆推动顶件块将废钢折叠推进槽口内，后从槽口出来继而达到挤压其体积继而可快速挤压的效果，从而脱离的废钢可快速的进行收集打包的效果。
一种废钢打包机

[发明专利]静电卡盘及其制造方法-CN202011546581.0在审
发明人：杨鹏远;王建冲;张玉利;侯占杰;王超星;黎远成;何宏庆;樊文凤;唐娜娜 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘及其制造方法，涉及半导体制造领域。该静电卡盘包括绝缘基板、电极层及介电层；绝缘基板开设有通孔，用于引出电极连接线；电极层固定设置于绝缘基板，电极层包括两个电极，两个电极均呈梳型，且两个电极的一级梳齿交错设置，各一级梳齿均设置有多个二级梳齿，相邻两个一级梳齿的二级梳齿亦交错设置；介电层固定设置于电极层以及绝缘基板设置有电极层的表面的裸露部分，介电常数范围为4‑6。该静电卡盘中，电极层能够产生交错分布的高密度的不均匀静电场，介电层能够承受较高的静电电压，所以，该静电卡盘能够以足够大的静电力对晶圆的多个不同位置进行吸附，从而能够较好地吸附高电阻材质和/或大翘曲的衬底的晶圆。
静电卡盘及其制造方法

[发明专利]静电卡盘保护结构、灌胶装置以及灌胶工艺-CN201810992501.0有效
发明人：张玉利;侯占杰;杨鹏远;王建冲;唐娜娜;韩玮琦;黎远成;荣吉平;姜鑫 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明静电卡盘保护结构涉及一种用于保护静电卡盘上的粘接剂的结构。其目的是为了提供一种提高对粘接层保护效果的保护结构。本发明保护结构用于对粘接层的粘接剂的保护，静电卡盘包括绝缘层、夹在绝缘层之间的金属电极以及金属基座，金属基座与绝缘层之间通过粘接层实现粘接连接，保护结构包括容置腔和填充于容置腔内的保护剂，保护剂在容置腔内形成具有一定厚度的保护层，容置腔位于靠近金属基座与绝缘层的外边缘处且位于金属基座与绝缘层的粘接面一侧的位置上，容置腔的高度大于粘接层的厚度，粘接层的外边缘预留有灌注口，保护剂通过灌注口灌注到容置腔内。本发明大大提高了对粘接剂的保护效果，可靠性高。
静电卡盘保护结构装置以及工艺

[发明专利]静电卡盘-CN201811048903.1有效
发明人：杨鹏远;张玉利;王建冲;侯占杰;唐娜娜;韩玮琦;黎远成;荣吉平;姜鑫 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及蚀刻设备领域，其目的是提供一种静电卡盘，用于待蚀刻晶片的载台。所述静电卡盘包括绝缘层、金属基座和介于绝缘层与金属基座之间的加热层，在所述绝缘层和金属基座相贴合面的至少其中之一上设有凹槽，借助凹槽使绝缘层与金属基座组装在一起后界定出一个容纳室，该容纳室内安装加热层、加热层与绝缘层之间的第一粘接材料层、以及加热层与金属基座之间的第二粘接材料层，所述容纳室具有侧壁。其中在加热层的周围与侧壁之间或者所述侧壁的外侧套设有陶瓷环。本发明利用容纳室的侧壁和陶瓷环对加热层上下面的粘接材料层起到保护作用，防止被蚀刻气体所腐蚀，导致静电卡盘表面温度不均匀，各层粘接部件翘曲等影响静电卡盘使用寿命的问题。
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘功能孔防堵装置-CN201811118943.9有效
发明人：张玉利;侯占杰;杨鹏远;王建冲;韩玮琦;唐娜娜;荣吉平;黎远成;姜鑫 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明静电卡盘功能孔防堵装置涉及一种用于静电卡盘集成工艺的装置。其目的是为了提供一种能够有效避免静电卡盘的各个功能孔在粘接剂加压过程中被堵塞的静电卡盘功能孔防堵装置。本发明静电卡盘功能孔防堵装置用于避免静电卡盘的粘接层在加压时堵塞静电卡盘上的功能孔，防堵装置可拆卸地连接到功能孔内，防堵装置包括第一防堵件和与第一防堵件配合使用的第二防堵件，第一防堵件的形状与功能孔的形状相适配，第一防堵件的外径不小于功能孔的直径且第一防堵件能够伸入到功能孔内以实现功能孔的封堵，第一防堵件上开设有容置腔，第二防堵件的形状与容置腔的形状相适配，第二防堵件能够插入到容置腔内且使得第一防堵件能够顺利伸入到功能孔内。
静电卡盘功能孔防堵装置

[发明专利]静电卡盘分离装置-CN201811117451.8有效
发明人：杨鹏远;黎远成;王建冲;姜鑫;张玉利;侯占杰;唐娜娜;韩玮琦;荣吉平 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明静电卡盘分离装置涉及一种用于分离静电卡盘的机械装置。其目的是为了提供一种能够无损、快速分离静电卡盘与卡盘底座的静电卡盘分离装置。本发明静电卡盘分离装置包括导向部件、安装在导向部件上方且能够随导向部件同步移动的旋转部件以及固定安装的切割部件，静电卡盘组件安装于旋转部件的上方且能够随旋转部件同步转动，切割部件在通电的情况下能够发热且产生能够使粘接层融化的热量，当导向部件带动旋转部件同步移动到一定位置时，随着静电卡盘移动与转动的同时进行，切割部件能够对粘接层进行切割以实现静电卡盘与静电卡盘组件上元件的分离。本发明静电卡盘分离装置的结构简单，易于制造，分离效率高，应用范围广，能够实现无损分离。
静电卡盘分离装置

[发明专利]同步紧固装置-CN201811381040.X有效
发明人： 黎远成;杨鹏远;王建冲;张玉利;侯占杰;韩玮琦;唐娜娜;荣吉平 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B25B17/00 文献下载
摘要：本发明同步紧固装置涉及一种用于能够同时对多个螺钉进行紧固的自动化装置。其目的是为了提供一种结构简单、调试方便的、可靠性高的同步紧固装置。本发明同步紧固装置包括动力源、基座、固定安装在基座一侧的固定轴、套装在固定轴上且能够相对固定轴转动的主动齿轮、若干个均能够与主动齿轮外啮合的从动齿轮以及若干个能够与从动齿轮同步转动的传动轴以及与传动轴的一端部相连接且能够随传动轴同步运动的紧固件，紧固件用于对被紧固件的紧固，紧固件的形状与紧固件的形状相适配，动力源用于向主动齿轮提供动力，还包括保护结构。本装置使用单一动力源实现同步拧紧螺钉，其装配调试简单,成本低廉，环境要求低，应用范围广。
同步紧固装置

[发明专利]同步紧固装置-CN201811381052.2有效
发明人： 黎远成;杨鹏远;王建冲;张玉利;侯占杰;韩玮琦;唐娜娜;荣吉平 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： F16H1/22 文献下载
摘要：本发明同步紧固装置涉及一种用于能够同时对多个螺钉进行紧固的自动化装置。其目的是为了提供一种结构简单、调试方便的、传动精度高的同步紧固装置。本发明同步紧固装置包括动力源、基座、固定安装在基座一侧的固定轴、套装在固定轴上且能够相对固定轴转动的主动齿轮、若干个均能够与主动齿轮外啮合的从动齿轮以及若干个能够与从动齿轮同步转动的传动轴以及与传动轴的一端部相连接且能够随传动轴同步运动的紧固件，紧固件用于对被紧固件的紧固，紧固件的形状与紧固件的形状相适配，动力源用于向主动齿轮提供动力。本装置使用单一动力源实现同步拧紧螺钉，其装配调试简单,成本低廉，环境要求低，应用范围广。
同步紧固装置

[实用新型]一种新型泳池清洁救援装置-CN202121470797.3有效
发明人：单阳;张腾;黎远成 -专利权人：大连交通大学
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： E04H4/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型泳池清洁救援装置，包括主体装置密封外壳，主体装置密封外壳的两侧均固定连接有半隐藏救援扶手，主体装置密封外壳顶端的一侧开设有排气口，主体装置密封外壳顶端的另一侧固定安装有救援警报器，主体装置密封外壳顶端的中部固定安装有太阳能充电板，主体装置密封外壳内壁的底部固定连接有安装底座，本实用新型一种新型泳池清洁救援装置，装置能够把小型垃圾、浮沫等污染物快速吸入到产品内部的过滤网中，对局部水质量进行一个清洁的作用，同时在泳池中假如有人溺水，装置能自动感应人溺水动作，从而发出警报并且伸出半隐藏救援扶手进行救援，提醒安全人员对溺水人员进行救援。
一种新型泳池清洁救援装置

[发明专利]同步紧固装置-CN201811381044.8有效
发明人：王建冲;杨鹏远;黎远成;张玉利;侯占杰;韩玮琦;唐娜娜;荣吉平 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B23P19/06 文献下载
摘要：本发明同步紧固装置涉及一种用于能够同时对多个螺钉进行紧固的自动化装置。其目的是为了提供一种结构简单、调试方便的、可靠性高且使得被紧固件受力均匀的同步紧固装置。本发明同步紧固装置包括动力源、基座、固定安装在基座一侧的固定轴、套装在固定轴上且能够相对固定轴转动的主动齿轮、若干个均能够与主动齿轮外啮合的从动齿轮、若干个能够与从动齿轮同步转动的传动轴以及与传动轴的一端部相连接且能够随传动轴同步运动的紧固件，紧固件用于对被紧固件的紧固，紧固件的形状与紧固件的形状相适配，动力源用于向主动齿轮提供动力，还包括过渡齿轮。本装置使用单一动力源实现同步拧紧螺钉，装配调试简单,成本低廉，环境要求低，应用范围广。
同步紧固装置

[发明专利]新型陶瓷塞及具有该新型陶瓷塞的静电卡盘装置-CN201810447100.7有效
发明人：唐娜娜;杨鹏远;王建冲;韩玮琦;侯占杰;张玉利;黎远成;荣吉平;姜鑫;李金亮 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型陶瓷塞及具有该新型陶瓷塞的静电卡盘装置，属于半导体晶片加工装置领域。所述新型陶瓷塞包括从上至下依次连接的陶瓷塞上部、多孔陶瓷柱和陶瓷套管，陶瓷塞上部包括圆柱部和设置在圆柱部的上部的环形凸台部，环形凸台部的中部设置有第一冷却气体孔，圆柱部的中部设置有第二冷却气体孔，陶瓷套管的中部设置有第三冷却气体孔。本发明能够避免静电卡盘冷却气体均布板的冷却气体孔处产生电弧现象。
新型陶瓷具有静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘性能检测装置及检测方法-CN201810916692.2有效
发明人：王建冲;韩玮琦;杨鹏远;唐娜娜;张玉利;侯占杰;荣吉平;黎远成;姜鑫 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-08-13 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电卡盘性能检测装置及检测方法，属于静电卡盘性能检测领域。所述静电卡盘性能检测装置包括真空腔室和测试气路，真空腔室上连接有真空泵，真空腔室内设置有转接盘，转接盘的上方设置有静电卡盘，静电卡盘的上表面用于放置被吸附物，静电卡盘与被吸附物之间存在吸附缝隙，静电卡盘和转接盘的中心处设置有与测试气路相连通的气孔；测试气路上依次设置有背吹气源、气体质量流量计和真空计，背吹气源与气体质量流量计之间设置有第一阀体，气体质量流量计与真空计之间设置有第二阀体。本发明既可以保证检测环境与超薄材料的镀膜工艺环境一致，又能使检测时被吸附物在其中心受力，根据该方法判断出的静电卡盘吸附性能也较准确。
静电卡盘性能检测装置方法

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