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[发明专利]静电卡盘保护结构、灌胶装置以及灌胶工艺-CN201810992501.0有效
发明人：张玉利;侯占杰;杨鹏远;王建冲;唐娜娜;韩玮琦;黎远成;荣吉平;姜鑫 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明静电卡盘保护结构涉及一种用于保护静电卡盘上的粘接剂的结构。其目的是为了提供一种提高对粘接层保护效果的保护结构。本发明保护结构用于对粘接层的粘接剂的保护，静电卡盘包括绝缘层、夹在绝缘层之间的金属电极以及金属基座，金属基座与绝缘层之间通过粘接层实现粘接连接，保护结构包括容置腔和填充于容置腔内的保护剂，保护剂在容置腔内形成具有一定厚度的保护层，容置腔位于靠近金属基座与绝缘层的外边缘处且位于金属基座与绝缘层的粘接面一侧的位置上，容置腔的高度大于粘接层的厚度，粘接层的外边缘预留有灌注口，保护剂通过灌注口灌注到容置腔内。本发明大大提高了对粘接剂的保护效果，可靠性高。
静电卡盘保护结构装置以及工艺

[发明专利]静电卡盘-CN201811048903.1有效
发明人：杨鹏远;张玉利;王建冲;侯占杰;唐娜娜;韩玮琦;黎远成;荣吉平;姜鑫 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及蚀刻设备领域，其目的是提供一种静电卡盘，用于待蚀刻晶片的载台。所述静电卡盘包括绝缘层、金属基座和介于绝缘层与金属基座之间的加热层，在所述绝缘层和金属基座相贴合面的至少其中之一上设有凹槽，借助凹槽使绝缘层与金属基座组装在一起后界定出一个容纳室，该容纳室内安装加热层、加热层与绝缘层之间的第一粘接材料层、以及加热层与金属基座之间的第二粘接材料层，所述容纳室具有侧壁。其中在加热层的周围与侧壁之间或者所述侧壁的外侧套设有陶瓷环。本发明利用容纳室的侧壁和陶瓷环对加热层上下面的粘接材料层起到保护作用，防止被蚀刻气体所腐蚀，导致静电卡盘表面温度不均匀，各层粘接部件翘曲等影响静电卡盘使用寿命的问题。
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘功能孔防堵装置-CN201811118943.9有效
发明人：张玉利;侯占杰;杨鹏远;王建冲;韩玮琦;唐娜娜;荣吉平;黎远成;姜鑫 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明静电卡盘功能孔防堵装置涉及一种用于静电卡盘集成工艺的装置。其目的是为了提供一种能够有效避免静电卡盘的各个功能孔在粘接剂加压过程中被堵塞的静电卡盘功能孔防堵装置。本发明静电卡盘功能孔防堵装置用于避免静电卡盘的粘接层在加压时堵塞静电卡盘上的功能孔，防堵装置可拆卸地连接到功能孔内，防堵装置包括第一防堵件和与第一防堵件配合使用的第二防堵件，第一防堵件的形状与功能孔的形状相适配，第一防堵件的外径不小于功能孔的直径且第一防堵件能够伸入到功能孔内以实现功能孔的封堵，第一防堵件上开设有容置腔，第二防堵件的形状与容置腔的形状相适配，第二防堵件能够插入到容置腔内且使得第一防堵件能够顺利伸入到功能孔内。
静电卡盘功能孔防堵装置

[发明专利]静电卡盘分离装置-CN201811117451.8有效
发明人：杨鹏远;黎远成;王建冲;姜鑫;张玉利;侯占杰;唐娜娜;韩玮琦;荣吉平 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明静电卡盘分离装置涉及一种用于分离静电卡盘的机械装置。其目的是为了提供一种能够无损、快速分离静电卡盘与卡盘底座的静电卡盘分离装置。本发明静电卡盘分离装置包括导向部件、安装在导向部件上方且能够随导向部件同步移动的旋转部件以及固定安装的切割部件，静电卡盘组件安装于旋转部件的上方且能够随旋转部件同步转动，切割部件在通电的情况下能够发热且产生能够使粘接层融化的热量，当导向部件带动旋转部件同步移动到一定位置时，随着静电卡盘移动与转动的同时进行，切割部件能够对粘接层进行切割以实现静电卡盘与静电卡盘组件上元件的分离。本发明静电卡盘分离装置的结构简单，易于制造，分离效率高，应用范围广，能够实现无损分离。
静电卡盘分离装置

[发明专利]同步紧固装置-CN201811381040.X有效
发明人：黎远成;杨鹏远;王建冲;张玉利;侯占杰;韩玮琦;唐娜娜;荣吉平 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B25B17/00 文献下载
摘要：本发明同步紧固装置涉及一种用于能够同时对多个螺钉进行紧固的自动化装置。其目的是为了提供一种结构简单、调试方便的、可靠性高的同步紧固装置。本发明同步紧固装置包括动力源、基座、固定安装在基座一侧的固定轴、套装在固定轴上且能够相对固定轴转动的主动齿轮、若干个均能够与主动齿轮外啮合的从动齿轮以及若干个能够与从动齿轮同步转动的传动轴以及与传动轴的一端部相连接且能够随传动轴同步运动的紧固件，紧固件用于对被紧固件的紧固，紧固件的形状与紧固件的形状相适配，动力源用于向主动齿轮提供动力，还包括保护结构。本装置使用单一动力源实现同步拧紧螺钉，其装配调试简单,成本低廉，环境要求低，应用范围广。
同步紧固装置

[发明专利]同步紧固装置-CN201811381052.2有效
发明人：黎远成;杨鹏远;王建冲;张玉利;侯占杰;韩玮琦;唐娜娜;荣吉平 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： F16H1/22 文献下载
摘要：本发明同步紧固装置涉及一种用于能够同时对多个螺钉进行紧固的自动化装置。其目的是为了提供一种结构简单、调试方便的、传动精度高的同步紧固装置。本发明同步紧固装置包括动力源、基座、固定安装在基座一侧的固定轴、套装在固定轴上且能够相对固定轴转动的主动齿轮、若干个均能够与主动齿轮外啮合的从动齿轮以及若干个能够与从动齿轮同步转动的传动轴以及与传动轴的一端部相连接且能够随传动轴同步运动的紧固件，紧固件用于对被紧固件的紧固，紧固件的形状与紧固件的形状相适配，动力源用于向主动齿轮提供动力。本装置使用单一动力源实现同步拧紧螺钉，其装配调试简单,成本低廉，环境要求低，应用范围广。
同步紧固装置

[发明专利]同步紧固装置-CN201811381044.8有效
发明人：王建冲;杨鹏远;黎远成;张玉利;侯占杰;韩玮琦;唐娜娜;荣吉平 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B23P19/06 文献下载
摘要：本发明同步紧固装置涉及一种用于能够同时对多个螺钉进行紧固的自动化装置。其目的是为了提供一种结构简单、调试方便的、可靠性高且使得被紧固件受力均匀的同步紧固装置。本发明同步紧固装置包括动力源、基座、固定安装在基座一侧的固定轴、套装在固定轴上且能够相对固定轴转动的主动齿轮、若干个均能够与主动齿轮外啮合的从动齿轮、若干个能够与从动齿轮同步转动的传动轴以及与传动轴的一端部相连接且能够随传动轴同步运动的紧固件，紧固件用于对被紧固件的紧固，紧固件的形状与紧固件的形状相适配，动力源用于向主动齿轮提供动力，还包括过渡齿轮。本装置使用单一动力源实现同步拧紧螺钉，装配调试简单,成本低廉，环境要求低，应用范围广。
同步紧固装置

[发明专利]新型陶瓷塞及具有该新型陶瓷塞的静电卡盘装置-CN201810447100.7有效
发明人：唐娜娜;杨鹏远;王建冲;韩玮琦;侯占杰;张玉利;黎远成;荣吉平;姜鑫;李金亮 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型陶瓷塞及具有该新型陶瓷塞的静电卡盘装置，属于半导体晶片加工装置领域。所述新型陶瓷塞包括从上至下依次连接的陶瓷塞上部、多孔陶瓷柱和陶瓷套管，陶瓷塞上部包括圆柱部和设置在圆柱部的上部的环形凸台部，环形凸台部的中部设置有第一冷却气体孔，圆柱部的中部设置有第二冷却气体孔，陶瓷套管的中部设置有第三冷却气体孔。本发明能够避免静电卡盘冷却气体均布板的冷却气体孔处产生电弧现象。
新型陶瓷具有静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘性能检测装置及检测方法-CN201810916692.2有效
发明人：王建冲;韩玮琦;杨鹏远;唐娜娜;张玉利;侯占杰;荣吉平;黎远成;姜鑫 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-08-13 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电卡盘性能检测装置及检测方法，属于静电卡盘性能检测领域。所述静电卡盘性能检测装置包括真空腔室和测试气路，真空腔室上连接有真空泵，真空腔室内设置有转接盘，转接盘的上方设置有静电卡盘，静电卡盘的上表面用于放置被吸附物，静电卡盘与被吸附物之间存在吸附缝隙，静电卡盘和转接盘的中心处设置有与测试气路相连通的气孔；测试气路上依次设置有背吹气源、气体质量流量计和真空计，背吹气源与气体质量流量计之间设置有第一阀体，气体质量流量计与真空计之间设置有第二阀体。本发明既可以保证检测环境与超薄材料的镀膜工艺环境一致，又能使检测时被吸附物在其中心受力，根据该方法判断出的静电卡盘吸附性能也较准确。
静电卡盘性能检测装置方法

[发明专利]制备纳米颗粒的方法及纳米颗粒的应用-CN201811358720.X有效
发明人：侯占杰;杨鹏远;王建冲;张玉利;韩玮琦;唐娜娜;荣吉平;黎远成 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B02C17/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备纳米颗粒的方法以及由该方法制得的纳米颗粒的应用。所述方法依次包括以下球磨步骤：步骤1：将第一磨料与待球磨颗粒按10:1～30:1的重量比进行第一干法球磨，分离出所述第一磨料，得到第一球磨颗粒；步骤2：将所述第一球磨颗粒与溶剂混合，得到第二湿法球磨浆料，并将第二磨料与所述第二湿法球磨浆料按10:1～30:1的重量比进行第二湿法球磨，分离出所述第二磨料并去除所述溶剂，得到第二球磨颗粒；步骤3：将第三磨料与所述第二球磨颗粒按10:1～30:1的重量比进行第三干法球磨，分离出所述第三磨料，得到所述纳米颗粒。所述纳米颗粒具有100～200nm的D0.5，可用于陶瓷与金属的钎焊。
制备纳米颗粒方法应用

[发明专利]静电卡盘表面形貌的制备方法-CN201810447179.3有效
发明人：杨鹏远;侯占杰;王建冲;唐娜娜;韩玮琦;张玉利;黎远成;荣吉平;姜鑫;李金亮 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电卡盘表面形貌的制备方法，属于静电卡盘领域。所述静电卡盘表面形貌的制备方法包括：步骤1：在静电卡盘的介电层表面涂覆或者贴合保护膜，所述保护膜包括曝光区域和不曝光区域；步骤2：对所述不曝光区域贴合光刻掩膜板，对所述曝光区域进行曝光、显影和清洗；步骤3：对清洗后的曝光区域进行凸点沉积；步骤4：对凸点沉积后的介电层的不曝光区域进行清洗。本发明不仅可以根据不同需求，制备出与介电层材料不同的一层或者多层凸点涂层，满足静电卡盘多方面性能需求，而且该方法工艺简单，易操作，效率高，制备过程更加环保。
静电卡盘表面形貌制备方法

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