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[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202211650253.4在审
发明人：金玟秀;朴相俊;朴周焕;赵炳哲;陈光善 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明提供一种利用了基板处理装置的基板处理方法，其包括：对基板支撑部和气体喷射部进行加热的步骤，使上述气体喷射部的温度，等于或低于上述基板支撑部的温度；向等离子体反应器供应包含含卤气体的反应气体的步骤；向上述等离子体反应器施加电力后将含卤气体激活使其生成自由基的步骤；通过上述气体喷射部将自由基供应至安装在上述基板支撑部上的上述基板上，并对多个第二绝缘层而言，有选择性地对多个第一绝缘层沿侧向至少进行部分蚀刻的步骤。
处理装置方法

[发明专利]原子层刻蚀方法及装置-CN202110940714.0在审
发明人： 陈光善;朴相俊;赵炳哲;权俊爀;安钟奇;韩天浩 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一实施例的原子层刻蚀方法可包括：提供形成有蚀刻对象材料的基板的步骤；改性步骤，将基板控制在第一温度，并且供应改性气体来改性去除对象材料的表面层；及蚀刻步骤，将基板控制在与第一温度不同的第二温度，并且供应蚀刻气体以去除改性的表面层。
原子刻蚀方法装置

[发明专利]一种雷达视频监测方法及装置-CN201811306702.7有效
发明人： 陈光善;邢彦华;王科富;石礼福;苏运发 -专利权人：浙江大华技术股份有限公司
申请日： 2018-11-05 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G01S13/86 文献下载
摘要：本发明涉及雷达技术领域，尤其涉及一种雷达视频监测方法及装置，所述方法包括：获取雷达监测范围内的目标的位置信息；根据所述位置信息，获得所述目标的球机坐标信息，其中，球机坐标为与所述雷达通信连接的摄像头所使用的坐标；向所述摄像头发送所述球机坐标信息，以使所述摄像头根据所述球机坐标信息确定所述目标所在位置，并对所述位置中的所述目标进行拍摄；获得所述摄像头拍摄的所述目标的视频图像，并对所述视频图像进行融合，获得雷达监测视频图像。
一种雷达视频监测方法装置

[发明专利]原子层蚀刻方法-CN202011416533.X在审
发明人：权俊爀;全镇晟;朴相俊;赵炳哲;陈光善 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明涉及利用原子层蚀刻装置蚀刻基板表面的原子层蚀刻方法。本发明公开了一种原子层蚀刻方法，包括：基板准备步骤(S10)，在基板支撑架上准备基板(100)；改性步骤(S20)，在基板准备步骤(S10)之后，将包含除了HF以外的卤素气体的改性气体通过结合于工艺腔室的远程等离子体发生装置自由基化来供应到基板(100)上，进而改性基板(100)的表面层(110)；第一吹扫步骤(S30)，用于吹扫表面层；表面层去除步骤(S40)，将包含金属的前体供应到表面层(110)以去除在改性步骤(S20)中改性的表面层(110)；第二吹扫步骤(S50)，吹扫基板(100)的表面。
原子蚀刻方法

[发明专利]基板处理方法-CN202011388789.4在审
发明人： 陈光善;全镇晟;朴相俊;赵炳哲;权俊爀 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：根据本发明一观点的种基板处理方法，利用基板处理装置，基板处理装置包括：工艺腔室，在内部限定处理空间；基板支撑架，设置在工艺腔室以在上部安装基板；气体喷射部，在处理空间内向基板支撑架上供应工艺气体；远程等离子体发生器，连接于工艺腔室。所述基板处理方法包括如下的步骤：在基板支撑架上安装基板；通过远程等离子体发生器将表面处理气体连续供应于基板支撑架上的基板上；将吹扫气体连续供应于基板支撑架上的基板上；对远程等离子体发生器供应等离子电源，以激活表面处理气体来供应于基板上；及切断对远程等离子体发生器供应的等离子电源，将蚀刻气体供应于基板支撑架上的基板上。
处理方法

[发明专利]一种灯状态检测电路及装置-CN201711129729.9有效
发明人：陈莹慧;邓志吉;陈光善 -专利权人：浙江大华技术股份有限公司
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： G01R31/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种灯状态检测电路及装置，以解决现有技术中灯状态检测电路功耗较大的问题。该灯状态检测电路包括：光敏模块、偏置模块、处理模块、第一比较器和第二比较器；所述光敏模块，用于根据照射到所述光敏模块上的灯光的光照强度输出光敏信号；所述偏置模块，用于在所述光敏模块输出的信号上增加偏置信号得到第一信号；所述处理模块，用于对所述第一信号进行处理得到第二信号、第三信号以及第四信号；所述第一比较器，用于比较所述第二信号和所述第三信号，得到第一输出结果，所述第一输出结果用于检测开灯事件；所述第二比较器，用于比较所述第一信号和所述第四信号，得到第二输出结果，所述第二输出结果用于检测关灯事件。
一种状态检测电路装置

[发明专利]一种会议室监控系统、传感器设备及会议室监控方法-CN201710854758.5有效
发明人： 陈光善;李志明 -专利权人：浙江大华技术股份有限公司
申请日： 2017-09-20 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种会议室监控系统、传感器设备及会议室监控方法，所述系统包括：服务器，还包括：无线网关和第一传感器设备；所述第一传感器设备与无线网关连接，用于将确定的自身所安装的会议室内当前是否有人的信息发送到无线网关；无线网关与服务器连接，用于将所述会议室内当前是否有人的信息发送到服务器；服务器与无线网关连接，用于接收并根据无线网关发送的所述会议室内当前是否有人的信息，监控所述会议室当前是否被使用。由于在本发明实施例中，第一传感器设备可以确定自身所安装的会议室内当前是否有人，并将会议室内当前是否有人的信息通过无线网关发送到服务器，使服务器监控会议室当前是否被使用，因此实现了会议室监控。
无线网关会议室室内第一传感器服务器会议监控传感器设备服务器监控服务器连接监控系统信息通过发送

[实用新型]一种墙壁开关设备-CN201721598319.4有效
发明人： 陈光善;李志明 -专利权人：浙江大华技术股份有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： H01H9/02 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种墙壁开关设备，以提高被控设备现场用户的主动性，减少墙壁开关设备被误操作的概率。该墙壁开关设备包括安装壳体、面板、关闭远程功能按键、微处理器、无线通信模块、开关模块和供电模块，其中：关闭远程功能按键与微处理器连接，向微处理器发送关闭远程功能指令；无线通信模块与微处理器连接，用于连接微处理器与远程操作装置；开关模块与微处理器连接，且与被控设备连接，用于调节被控设备的工作状态；供电模块与微处理器和无线通信模块连接，用于为微处理器和无线通信模块供电；微处理器用于根据远程操作装置的第一开关控制指令，控制开关模块的状态；用于根据关闭远程功能指令，关闭墙壁开关设备的远程控制功能。
微处理器墙壁开关设备无线通信模块远程功能微处理器连接被控设备远程操作装置供电模块开关模块按键控制开关模块远程控制功能指令本实用新型安装壳体第一开关控制指令现场用户误操作主动性发送供电概率

[发明专利]薄膜沉积方法-CN201711293365.8在审
发明人：赵炳哲;李相镇;李仁焕;陈光善 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明一实施例的薄膜沉积方法包括：提供形成图案的基板的步骤；表面处理步骤，利用沉积抑制气体形成沉积抑制层，所述沉积抑制气体用于抑制在所述图案上端的薄膜沉积；薄膜沉积步骤，利用工艺气体在包括所述表面处理的所述图案上沉积所述薄膜；其中，所述沉积抑制气体为包括氟的气体。
薄膜沉积沉积抑制图案薄膜沉积步骤表面处理步骤沉积抑制层工艺气体气体形成上端基板沉积薄膜

[实用新型]一种冲泡式饮品机-CN201420117873.6有效
发明人：王旭宁;廖曲军;詹永权;张正;陈光善 -专利权人：九阳股份有限公司
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： A47J31/44 文献下载
摘要：本实用新型公开一种冲泡式饮品机，包括具有冲泡腔的机座、置于机座内的控制单元、冲泡头、提供给冲泡头液体的供液机构及容置料包的冲泡杯，所述冲泡头一端与供液机构连接，另一端提供液体至料包内，所述供液机构包括水箱、与水箱连接的水泵、与水泵连接的锅炉，所述水箱、水泵及锅炉之间通过管道连接，所述管道的内径为2mm～6mm，所述锅炉的加热功率为600W～2000W。这样既保证了冲调效果；同时，加快了冲泡速度，提升了冲泡效率。
一种冲泡饮品

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