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[发明专利]探针型压力传感器及其制作方法-CN201310668841.5有效
发明人：樊英民;刘争晖;徐耿钊;钟海舰;黄增立;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G01L1/25 文献下载
摘要：本发明提供一种探针型压力传感器及其制作方法，所述探针型压力传感器包括声表面波延迟线及探针，所述声表面波延迟线包括压电衬底和制作在压电衬底上的声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面波接收器沿声表面波传播方向相对设置，所述探针制作在压电衬底上并设置在声表面波发生器与声表面波接收器之间，在探针受到力的作用的情况下，声表面波延迟线的相位或频率发生变化。本发明探针型压力传感器的优点在于，其能够实现具有微纳米空间分辨率的力的传感，且获得更高的灵敏度和精确度。
探针压力传感器及其制作方法

[发明专利]声表面波器件及其制备方法-CN201410036354.1有效
发明人： 钟海舰;樊英民;刘争晖;许耿钊;黄增立;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2014-01-26 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： H01L41/18 文献下载
摘要：本发明提供一种声表面波器件，包括压电基底、声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面接收器相对设置在压电基底上，所述声表面波发生器用于产生声表面波，所述声表面波接收器用于接收声表面波发生器产生的声表面波，所述声表面波发生器及声表面波接收器的材料为石墨烯。本发明的优点在于：在不改变现有的声表面波器件工作模式的前提下，能够适应高频、大功率声表面波器件，具有更强的功率承受力和机械承受力；能够减少对声波阻抗的影响，获得更高的灵敏度，可适应高频滤波的需求；增强声表面波器件的散热性能，延长声表面波器件的使用寿命，提高器件的工作稳定性；声表面波器件更容易进行刻蚀和加工。
表面波器件及其制备方法

[发明专利]石墨烯谐振器及其制作方法-CN201310668842.X有效
发明人：樊英民;刘争晖;许耿钊;钟海舰;黄增立;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2015-06-17 - 主分类号： H03H9/15 文献下载
摘要：本发明提供一种石墨烯谐振器及其制作方法，所述石墨烯谐振器包括衬底、声表面波发生器及石墨烯，所述声表面波发生器设置在衬底表面，用于产生声表面波，所述衬底在所述声表面波传播方向上设置有一凹槽，所述石墨烯设置在所述凹槽上方形成悬空的石墨烯，悬空的石墨烯能够在声表面波的作用下机械振动。本发明的优点在于：采用声表面波作为激振源，石墨烯作为机械振动结构，使得本发明石墨烯谐振器具有更小的自身质量和更高的谐振频率及品质因子，且易于实现集成化，可用于极小压力传感和极小质量探测的微机电系统。
石墨谐振器及其制作方法

[发明专利]石墨烯的制备方法-CN201310095447.7有效
发明人：张竞存;钟海舰;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2013-03-25 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： C01B31/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨烯的制备方法，该方法包括：在第一类金属催化剂层上制备石墨烯层；以及，在第一类金属催化剂层中掺入第二类金属形成合金，使所述合金的熔点低于第一类金属的熔点；通过在第一类金属催化剂层中掺入第二类金属形成合金，以降低催化剂层的熔点；在不破坏石墨烯结构的温度下，催化剂层可发生挥发，制备完成后的石墨烯层下方金属催化剂层变成一系列不连续的金属点，石墨烯层只与部分底层衬底的金属点接触，基本处于悬空状态，因而极易于转移。
石墨制备方法

[发明专利]制备金属针尖的装置及方法-CN201210313301.0有效
发明人：徐耿钊;刘争晖;钟海舰;樊英民;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2012-08-30 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： G01Q70/16 文献下载
摘要：本发明提供一种制备金属针尖的装置及方法，所述装置包括控制电路及电化学池，控制电路包括电源、开关、恒流源，恒流源用于维持装置电流恒定；电化学池包括对电极、待制备金属丝及电解液，对电极一端与控制电路负极端相连的，待制备金属丝一端与控制电路正极端相连。闭合开关，恒流源维持装置电流恒定，电化学池进行反应，直至待制备金属丝与电解液液面接触面附近待制备金属丝断裂。本发明制备金属针尖的装置及方法在控制电路中设置恒流源，使得在整个电化学腐蚀过程中维持恒定电流，从而使电荷到达金属丝表面的速率维持恒定，使电化学反应进程更加稳定，可以以更高的重复性获得尖端曲率半径小且表面光滑的针尖，该制备方法操作简单，成功率高。
制备金属针尖装置方法

[发明专利]发光二极管-CN201110416204.X无效
发明人：樊英民;王建峰;刘争晖;钟海舰;任国强;蔡德敏;徐耿钊;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;苏州纳维科技有限公司
申请日： 2011-12-14 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： H01L33/40 文献下载
摘要：一种发光二极管，包括具有第一导电类型的半导体衬底、半导体衬底表面的有源层、以及有源层表面的具有第二导电类型的半导体覆盖层，所述半导体覆盖层与有源层相对的一表面上设置有电极；所述半导体覆盖层表面上的电极包括石墨烯层与金属层，所述石墨烯层设置在金属层与半导体覆盖层之间，用以改善金属层与半导体材料之间的欧姆接触。本发明的优点在于，通过插入石墨烯层，不需要退火或刻蚀等工艺处理即可极大地改变半导体材料的表面电子态，从而减小任意金属或合金与半导体之间接触势垒。
发光二极管

[发明专利]一种扫描近场光学显微镜-CN201210116669.8有效
发明人： 钟海舰;刘争晖;徐耿钊;樊英民;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2012-04-20 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明涉及显微成像领域。本发明提供一种扫描近场光学显微镜，包括真空腔体和光纤探针扫描装置系统，所述光纤探针扫描装置系统位于真空腔体中，所述光纤探针扫描单元包括一光纤探针，一支撑架和一光纤定位槽，所述光纤定位槽位于支撑架上，所述光纤探针的尾端固定于光纤定位槽上，所述光纤探针扫描装置系统包括多个光纤探针扫描单元。本发明的优点在于，通过在真空腔体内设置多个光纤探针扫描单元，从而避免更换光纤探针所面临的巨大的人力、物力和时间的浪费。
一种扫描近场光学显微镜

[发明专利]界面势垒测量装置及测量界面势垒的方法-CN201110416217.7有效
发明人：樊英民;钟海舰;徐耿钊;刘争晖;曾雄辉;周桃飞;邱永鑫;王建峰;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2011-12-14 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明提供多层半导体材料界面势垒测量装置及测量多层半导体界面势垒方法，属于半导体测试领域，该半导体装置包括一真空腔、一导电样品台、一扫描探针显微镜、一金属气源产生装置和一聚焦离子束显微镜系统；并且在该方法中，对多层结构的半导体样品，可以利用该半导体装置的聚集离子显微镜系统进行部分表面剥离，再原位沉积电极，然后用扫描探针显微镜进行测量；本发明解决了现有技术中只能测量表层缺陷而无法测量多层异质界面缺陷的问题，本发明采用逐层解剖，逐层测量的方法，极大的提高了工作效率。
界面测量装置方法

[发明专利]材料表面局部光谱测量装置及测量方法-CN201110416229.X有效
发明人：徐耿钊;刘争晖;钟海舰;樊英民;曾雄辉;周桃飞;邱永鑫;王建峰;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2011-12-14 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明提供材料表面局部光谱测量装置及测量方法，属于半导体测试技术领域。装置包括反应腔、光源和光谱仪，光源和光谱仪均与反应腔相连，反应腔又包括第一真空腔、第二真空腔、真空阀门、真空传递装置、聚焦离子束刻蚀装置和光路耦合装置；其方法步骤为：将待测样品置于样品台上；关闭真空阀；将探针插入至第一针尖台；去除探针的污染物和氧化物；对探针刻蚀，形成天线结构；打开真空阀；将探针从第一针尖台传递并插入至第二针尖台；关闭真空阀；测量待测样品的表面光谱。本发明解决了针尖在刻蚀加工和使用之间的传递过程中的表面的污染和氧化，扩展了用于针尖镀膜的金属材料的选择范围。
材料表面局部光谱测量装置测量方法

[发明专利]多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法-CN201110416216.2有效
发明人：刘争晖;徐耿钊;钟海舰;樊英民;曾雄辉;王建峰;周桃飞;邱永鑫;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2011-12-14 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：本发明提供多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法，属于半导体测试领域。装置包括反应腔室、原子力显微镜、电子显微镜和样品台，样品台、原子力显微镜、电子显微镜均位于反应腔内；所述减薄待测样品的方法步骤为：将一样品置于反应腔室内；测量待测样品的第一裸露表面的第一接触电势差V1；移开原子力显微镜的导电探针；刻蚀第一裸露表面一深度X，露出第二表面；测量待测样品的第二裸露表面的第一接触电势差V2；比较V1与V2大小，判断是否继续刻蚀。本发明解决了现有技术无法进行精确解剖的问题，本发明做到精确解剖异质结器件，对半导体器件的制备和性质研究有重要意义。
多层材料装置薄待样品方法

[发明专利]材料界面的原位加工测试装置-CN201110416190.1有效
发明人：徐耿钊;刘争晖;钟海舰;樊英民;曾雄辉;王建峰;周桃飞;邱永鑫;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2011-12-14 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： G01Q30/16 文献下载
摘要：本发明提供材料界面的原位加工测试装置，属于半导体测试技术领域。测试装置包括一第一真空腔室、一第二真空腔室、一真空管、一光路耦合装置和一传递装置；第一真空腔室与第二真空腔室通过真空管相连；真空管包括一真空阀门，用于控制第一真空腔室与第二真空腔室的连通和隔绝；光路耦合装置和第二真空腔室连接；传递装置用于在第一真空腔室和第二真空腔室连通时传递样品和探针。本发明解决了纳米材料在加工和测试之间的传递过程中的表面的污染和氧化，实现室温和低温下的局域电学、光学和光电表征，以及原子级分辨率的表面形貌和表面结构表征。
材料界面原位加工测试装置

[发明专利]半导体材料测量装置及原位测量界面缺陷分布的方法-CN201110416227.0有效
发明人：曾雄辉;徐耿钊;黄凯;刘争晖;邱永鑫;钟海舰;樊英民;王建峰;周桃飞;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2011-12-14 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：本发明提供半导体材料测量装置及原位测量界面缺陷分布的方法，属于半导体测试领域，该半导体材料测量装置包括一反应腔室、一样品平台、一聚焦离子束显微镜系统与一电子束诱导感生电流测量装置；并且在该方法中，对多层异质结构的半导体样品，可以利用该半导体材料测量装置的聚焦离子显微镜系统剥离部分表面，接着在原位沉积电极，然后用电子束诱导感生电流测量装置进行测量；本发明解决了现有技术中测量多层异质界面缺陷时采用单层测量的问题，本发明做到逐层解剖，逐层测量，极大的提高了工作效率。
半导体材料测量装置原位界面缺陷分布方法

[发明专利]微流通道及其制备方法-CN201110248442.4有效
发明人：弓晓晶;刘争晖;徐耿钊;钟海舰;徐科;杨辉 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2011-08-26 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种微流通道，包括一具有原子台阶的支撑面，以及覆盖于所述支撑面的石墨烯覆盖层；所述微流通道由支撑面表面的原子台阶和石墨烯覆盖层所围拢的空间构成。本发明的优点在于，通过在具有原子台阶的晶体表面覆盖石墨烯片层来获得和晶体表面原子台阶之间构成的纳米孔道，并且可以通过控制退火时间和温度来改变表面原子台阶层数来控制纳米孔道的有效直径。
流通及其制备方法

[发明专利]导电原子力显微镜的探针以及采用此探针的测量方法-CN201110182011.2有效
发明人：徐耿钊;刘争晖;钟海舰;樊英民;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2011-06-30 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： G01Q60/40 文献下载
摘要：一种导电原子力显微镜的探针，包括悬臂探针基底、针尖和设置在针尖表面的导电薄膜，所述导电薄膜的材料是石墨烯。本发明进一步提供了采用上述探针测量半导体局域导电性质的方法以及测量太赫兹波段无孔针尖近场光学探测的方法。本发明利用了石墨烯是由碳原子组成的可薄至单原子层的，零带隙、半金属的二维层状薄膜材料的特点，其导电性好，电子迁移率高，并且费米面可随充放电自我调节，具有较低的载流子注入势。此外，石墨烯的电子等离激元震荡频率正好位于太赫兹波段，材质柔软，热力学稳定性强。这些都是利用其替代传统金属材料作为原子力显微镜探针表面镀膜，从而突破上述两点局限的物理基础。
导电原子显微镜探针以及采用测量方法

[发明专利]材料的表面局域电子态的测量装置以及测量方法-CN201110179440.4有效
发明人：刘争晖;徐耿钊;樊英民;钟海舰;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2011-06-30 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：一种材料的表面局域电子态的测量装置，包括样品台、直流信号发生器、交流信号发生器、可调波长的单色光光源以及镀金属膜的探针；所述样品台是导电的；探针设置在样品台表面，并与样品台保持一距离以放置待测样品；所述直流信号发生器与交流信号发生器的两个输出端中的一个连接在样品台上，另一个连接在探针上；可调波长的单色光光源所发出的光束为聚焦光束，聚焦光束能够聚焦至探针的针尖处。
材料表面局域电子测量装置以及测量方法