专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体结构的形成方法-CN201911391524.7有效
  • 蔡巧明;魏兰英;金美晨 - 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2019-12-30 - 2022-12-23 - H01L23/64
  • 本申请提供半导体结构的形成方法,所述方法包括:提供形成有多个沟槽的半导体衬底,所述沟槽侧壁,沟槽底部以及半导体衬底表面形成有交替分布的多层绝缘层和多层电极层,所述多层绝缘层和多层电极层填满所述沟槽;在所述多层绝缘层和多层电极层的顶面上形成光刻胶层;在所述光刻胶层中形成第一开口,所述第一开口的开口尺寸从开口顶端至开口底端逐步减小;将所述第一开口的图形转移至位于半导体衬底上的多层绝缘层和多层电极层,形成贯穿所述多层绝缘层和多层电极层并暴露出半导体衬底的第二开口;沿所述第二开口进行选择性刻蚀,去除部分暴露出的电极层,使所述第二开口侧壁的电极层呈阶梯状分布。所述方法节约了工艺步骤和成本,减少了电容器面积。
  • 半导体结构形成方法
  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202010752555.7在审
  • 蔡巧明;张云香;金美晨 - 中芯北方集成电路制造(北京)有限公司
  • 2020-07-30 - 2022-02-18 - H01L29/78
  • 一种半导体结构及其形成方法,所述半导体结构包括:基底,基底中形成有阱区,所述基底包括:用于形成沟道区的预设区域;漂移区,沿沟道区长度的方向,位于预设区域两侧且与预设区域相邻接;环绕所述预设区域和漂移区的阱区接触结构,沿所述沟道区长度的方向,所述阱区接触结构与相邻的漂移区之间具有第一间隔;包覆所述阱区接触结构的阱区连接区,沿所述沟道区长度的方向,所述阱区连接区与相邻的漂移区之间具有第二间隔,所述第二间隔比第一间隔小0nm至300nm;栅极结构,位于所述预设区域上且延伸覆盖部分的漂移区;源漏掺杂区,位于所述栅极结构露出的漂移区中。本发明实施例有利于提高LDMOS器件的性能。
  • 半导体结构及其形成方法

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