专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]处理系统对准器站的校准-CN202080068130.2在审
  • 尼古拉斯·迈克尔·伯甘茨;安德烈亚斯·施密德;利昂·沃尔福夫斯基;金相谦;达蒙·考克斯;保罗·沃思 - 应用材料公司
  • 2020-08-18 - 2022-05-17 - B25J11/00
  • 校准电子处理系统的对准器站的方法。通过传送腔室的第一机械臂从连接传送腔室的处理腔室取回校准。校准物体在处理腔室具有目标取向。通过第一机械臂将校准放置在连接传送腔室的装载锁定。通过连接装载锁定的工厂接口的第二机械臂从装载锁定取回校准。通过第二机械臂将校准物体放置在容纳在工厂接口或连接工厂接口的对准器站。校准物体在对准器站具有第一取向。确定对准器站的第一取向与对准器站的初始目标取向之间的差。对准器站的初始目标取向与处理腔室的目标取向相关联。基于第一取向与初始目标取向的差确定与处理腔室相关的第一特征误差值记录在存储介质中。对准器站使用第一特征误差值对准要放置在处理腔室的物体。
  • 处理系统对准校准

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