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[发明专利]一种通过多次成膜避免短接的阵列基板的制造方法-CN202310228567.3在审
发明人：陈伟;金剑辉 -专利权人：华映科技（集团）股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：一种通过多次成膜避免短接的阵列基板的制造方法，包括：在玻璃基板上形成TFT器件，所述TFT器件的绝缘层均采用的是SiOx，并在所述TFT器件上方形成相应的有机平坦层，所述有机平坦层上形成第一绝缘层；图案化出公共电极层；在所述公共电极层上采用PECVD方式沉积一层第二绝缘层作为像素电容，所述第二绝缘层分两次成膜，第一次成膜SiOx绝缘层，第二次成膜SiNx绝缘层，第二次干蚀刻第二绝缘层进行图案化，蚀刻掉未被SiNx保护的下方SiOx。本发明的绝缘层变更膜质搭配，并分两次曝光显影蚀刻，避开同一位置的光阻气泡，可有效避免此制程异常，提高产品良率。
一种通过多次避免阵列制造方法

[发明专利]一种减少光罩的LCD电路结构及制造方法-CN202310527266.0在审
发明人：潜垚;金剑辉;陈伟 -专利权人：华映科技（集团）股份有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H05K1/14 文献下载
摘要：本发明提供一种减少光罩的LCD电路结构及制造方法，所述结构包括设置在玻璃基板上表面的M1层以及能够覆盖在M1层上的第一绝缘层，所述第一绝缘层上表面设置有第一透明电极层和SE层，所述第一透明电极层和SE层上表面共同连接有M2层，所述M2层上表面连接有第二绝缘层，且所述第二绝缘层覆盖第一透明电极层和SE层，所述第二绝缘层上表面设置有第二透明电极层。本发明中的LCD电路结构将第一透明电极层设置在第一绝缘层和第二绝缘层之间，减少第三绝缘层的设置，且第一透明电极层是通过SE离子化处理直接得到，在LCD电路结构的生产上可比现有生产方式减少两道光罩，提高了生产效率，降低了生产成本。
一种减少 lcd 电路结构制造方法

[发明专利]一种金属氧化物薄膜晶体管的阵列基板的制造方法-CN202310228571.X在审
发明人：陈伟;金剑辉 -专利权人：华映科技（集团）股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：一种金属氧化物薄膜晶体管的阵列基板的制造方法，包括：经成膜、曝光、显影、蚀刻及剥膜后在玻璃基板上图案化出第一金属层；在已图案化好的第一金属层上沉积一层IGZO层，并共用第一金属层的光罩进行曝光、显影、蚀刻及剥膜；用绝缘层的光罩曝光显影第一金属层上方的IGZO层，仅曝光出绝缘层需要开孔的地方；对显影后的IGZO层进行第二次草酸蚀刻，蚀刻掉绝缘层开孔位置的IGZO，随后再去除光阻；采用PECVD方式沉积绝缘层，隔绝覆盖在第一金属层之上；采用PVD方式沉积半导体层IGZO，并进行图案化处理，形成TFT器件的有源层。本发明是在第一金属层上加镀一层半导体层IGZO，阻隔两金属短接，并降低面板寄生电容。
一种金属氧化物薄膜晶体管阵列制造方法

[发明专利]一种通过多次光阻涂布避免短接的阵列基板的制造方法-CN202310228570.5在审
发明人：陈伟;金剑辉 -专利权人：华映科技（集团）股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：一种通过多次光阻涂布避免短接的阵列基板的制造方法，包括：在玻璃基板上经成膜、曝光、显影、蚀刻及剥膜后图案化出第一金属层；采用PECVD方式沉积一层绝缘层；在绝缘层上涂布一层光阻，其厚度为原有设计的1/2，并进行VCD、软烤制程，去除光阻内的溶剂；在第一次软烤后的光阻上继续涂布一层光阻，其厚度也是为原有设计的1/2；对已涂布好的第一层光阻和第二层的光阻进行正常的曝光，显影制程；进行干蚀刻制程，蚀刻掉未被光阻保护的绝缘层，并剥膜去掉光阻，绝缘层上正常沉积第二金属层。本发明基于现有光罩、制程情况下，仅变更光阻的涂布次数及厚度，可有效避免此制程异常，提高产品良率。
一种通过多次光阻涂布避免阵列制造方法

[发明专利]一种避免上下两层电极短接的阵列基板的制造方法-CN202310228565.4在审
发明人：陈伟;金剑辉 -专利权人：华映科技（集团）股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：一种避免上下两层电极短接的阵列基板的制造方法，包括：在玻璃基板上形成TFT器件，TFT器件中的绝缘层均采用SiOx，并在TFT器件上方形成相应的有机平坦层，有机平坦层上形成第一绝缘层；在第一绝缘层上图案化出公共电极层；在所述公共电极层上采用PECVD方式沉积一层第二绝缘层SiOx作为像素电容膜层；在所述第二绝缘块通上采用PVD方式沉积一层透明电极ITO层，其厚度在100～200A之间。本发明在第二绝缘层即像素电容膜层成膜后沉积一层薄薄的透明ITO，用于阻挡因光阻气泡破洞渗入的干蚀刻气体，就可避免因光阻气泡而造成的制程不良，从而提高产品良率，增加产品效益。
一种避免上下电极阵列制造方法

[实用新型]摇臂推杆机构-CN201620454542.0有效
发明人：刘文超;金剑辉;张作军;代迎桃;兰双文 -专利权人：安徽大华半导体科技有限公司
申请日： 2016-05-17 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： B65G47/82 文献下载
摘要：一种摇臂推杆机构，包括基座、第一底板、第二底板、用于将IC产品从分离模中推出的推杆组件以及安装在第一底板上的伺服电机，第一底板装在基座上部，第二底板与第一底板垂直连接，推杆组件与第二底板可滑动连接，伺服电机转轴上安装有曲臂连杆组件，其中，曲臂连杆组件与推杆组件之间连接有能够推动推杆组件前移，并在推杆组件碰到分离模产品滑道中的异物或脏污时，能够迅速与推杆组件脱离，并随后发出警报的过载保护机构。本实用新型不但反应速度快，而且具有过载保护功能，当分离模产品滑道中有异物或脏污时，能够立马停止取出动作，并及时向操作工人发出警报。
摇臂推杆机构

[实用新型]一种袋式除尘器进风整流结构-CN201320456263.4有效
发明人：李伟忠;金剑辉;荣华 -专利权人：上海西尔除尘设备有限公司
申请日： 2013-07-29 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： B01D46/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种袋式除尘器进风整流结构，其特征在于，袋式除尘器的进风口内设有至少一块Z型折边板，折边板的排列方向与进入进风口的气流方向垂直。本实用新型在进风口管道内焊接布置多块垂直于迎风面的Z型折边板，通过多次改变气体的流向，降低了含尘气体的风速，避免了含尘气体对灰斗壁板和滤袋底部的冲刷。由于含尘气体流速的降低，使得含尘气体在进入扩容空间更大的灰斗内部空间时，由于滤袋内外表面的压差作用，能够在不受进入灰斗初始速度的影响下，均匀分配至过滤空间。加强了对滤袋的保护和保证了滤袋的使用寿命。
一种除尘器整流结构

[实用新型]一种进风均衡器-CN201320456254.5有效
发明人：李伟忠;金剑辉;荣华 -专利权人：上海西尔除尘设备有限公司
申请日： 2013-07-29 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： C21B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种进风均衡器，其特征在于，包括设于除尘器筒体内的渐缩半圆筒管道，渐缩半圆筒管道的直边面对除尘器出口设置，渐缩半圆筒管道较大的一端连接进风口，另一端连接除尘器筒体的内壁；渐缩半圆筒内设有至少一块在渐缩半圆筒管道方向上排列的整流板；在渐缩半圆筒管道的两侧设有π形侧边。本实用新型的结构避免了荒煤气对滤袋底部的直接冲刷；整流板降低了荒煤气的流速，避免对筒体壁板的冲刷。
一种均衡器

[实用新型]一种用于安装带双纽线输出管的模具-CN201320404680.4有效
发明人：李伟忠;金剑辉;荣华 -专利权人：上海西尔除尘设备有限公司
申请日： 2013-07-08 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于安装带双纽线输出管的模具，其特征在于，包括底板及顶板，底板的中心上设有连杆，连杆穿设于顶板的中心，顶板下侧设有与双纽线相配合的圆形凹槽；顶板上设有紧固装置。本实用新型将双纽线与输出管用模具组装在一起加以固定后，可以保证双纽线与输出管轴线在同一条直线上，可以保证双纽线上平面保持水平，保证与气包上脉冲阀膜片保持密封，清灰介质无泄漏；同时可以防止将双纽线与输出管焊接过程中出现焊接气孔，造成清灰介质泄漏。从而保证除尘器气包内清灰介质的有效利用，不会损失能量，提高了除尘器的清灰效果。
一种用于安装带双纽线输出模具

[实用新型]一种带有加热装置的大容量气包-CN201320404676.8有效
发明人：李伟忠;金剑辉;荣华 -专利权人：上海西尔除尘设备有限公司
申请日： 2013-07-08 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： B01D46/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有加热装置的大容量气包，包括气包体，气包体上设有进口管，其特征在于，所述的气包体为筒状，进口管的中心轴位于气包体的半径上；气包体内设有至少一个电加热装置，电加热装置的连接接口从气包体的体内露出，电加热装置的中心轴位于气包体的半径上。本实用新型加大了气包的直径，包括气包进口管的管径，容积增加到原有气包的2倍，可在瞬间补充入大量清灰介质，大幅增加了脉冲喷吹进入滤袋的清灰介质量，缩短清灰间隔时间，从而提高了袋式除尘器的清灰能力，增强了滤袋的清灰效果；在气包内设电加热装置，可在冬季将气包内清灰介质加热到露点以上，利于喷吹。
一种带有加热装置容量

[实用新型]一种快开型淹没式脉冲阀-CN200920286174.3无效
发明人：李伟忠;金剑辉;荣华 -专利权人：上海西尔除尘设备有限公司
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： F16K7/17 文献下载
摘要：本实用新型的技术方案是提供了一种快开型淹没式脉冲阀，包括电磁阀、小阀体、小膜片、大阀体、大膜片及输出管组成，其特征在于，小阀体下部阀盘通过螺栓与大阀体的上部圆柱体相接，小阀体与大阀体之间设有小膜片，大阀体下面设有大膜片压住输出管，小膜片与小阀体形成第一气室，大膜片与大阀体形成第二气室，在小阀体的圆柱体中心开有排气通道与第一气室相通，在小阀体的圆形阀盘的边缘开有导气孔与第一气室相通，在大阀体的圆柱体上部凹槽内开有排气通道，在大阀体的圆柱体边缘开有导气孔与导气孔和第二气室相通。本实用新型的优点在于简化了脉冲阀的外部结构，加快了膜片的启闭速度，降低了脉冲阀内部的阻力，增加了一次喷吹的气量。
一种快开型淹没脉冲阀

[实用新型]一种双扭曲线输出管-CN200920286172.4无效
发明人：李伟忠;金剑辉;荣华 -专利权人：上海西尔除尘设备有限公司
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： B05B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种双扭曲线输出管，包括输出管，其特征在于，在输出管的端部设有双扭曲线底座，双扭曲线底座紧贴脉冲阀膜片。本实用新型的优点在于能够大大降低压缩空气从气包进入输出管的阻力，极大的增加了进入输出管的气量。
一种扭曲输出

[实用新型]一种负压诱导喷嘴-CN200920286176.2无效
发明人：李伟忠;金剑辉;荣华 -专利权人：上海西尔除尘设备有限公司
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： B05B1/34 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种负压诱导喷嘴，包括管体，管体的底部外侧设有喷嘴，其特征在于，喷嘴的两侧各设有一个诱导孔。本实用新型在喷嘴直管负压区设置两个诱导孔，使参与喷吹的气量大大增加，大幅增加了脉冲喷吹进入滤袋的气量，从而提高了袋式除尘器的清灰能力，增强了滤袋的清灰效果。
一种诱导喷嘴

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