“郭连俊”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果47个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种光学检测装置及光学检测方法-CN201710439179.4有效
发明人：颜圣佑;朱志飞;郭连俊;许玉佩 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及光学检测技术领域，具体地指一种光学检测装置及光学检测方法。包括用于承载显示面板的面板载台和采集显示面板图像信息的图像摄取单元；所述的图像摄取单元悬置于面板载台上方，可沿平行显示面板的方向行进对显示面板进行扫描，其特征在于：所述的面板载台上设置有可驱动面板载台旋转使承载于面板载台上的显示面板转动一预设角度的旋转控制单元；所述的预设角度与图像摄取单元的行进扫描方向和转动后的显示面板的中轴线之间的夹角相等。本发明的光学检测方法简单、准确，能够快速的将制程异常和光学噪声造成的异常等区分开来，为后续工作提供了有效的指导，具有极大的推广价值。
一种光学检测装置方法

[发明专利]一种晶圆检测方法-CN201810980210.X有效
发明人：朱志飞;舒文宾;杨慎东;郭连俊 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2018-08-27 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明属于电子产品加工生产技术领域，且公开了一种晶圆检测方法，其包括S1、提供一晶圆检测设备，晶圆检测设备至少设置有宏观检测工位和微观检测工位；S2、将待检测晶圆搬运至所述宏观检测工位和/或微观检测工位，并对所述待检测晶圆进行宏观检测和/或微观检测；S3、将完成检测的晶圆移出所述晶圆检测设备。本发明的晶圆检测方法通过提供一种晶圆检测设备设置宏观检测工位和微观检测工位，可以对晶圆进行宏观和微观检测，其中宏观检测工位主要观测晶圆上存在肉眼可见的缺陷；微观检测工位主要通过显微镜设备观测晶圆上肉眼观测不到的缺陷，从而可以全面检测分析加工工艺导致晶圆存在的缺陷，以便及时进行改进。
一种检测方法

[发明专利]一种判定线性制程不均匀的方法及装置-CN201711261274.6有效
发明人： 郭连俊;杨慎东;颜圣佑 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2017-12-04 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种判定线性制程不均匀的方法及装置，所述方法包括：获取检测对象的图像；基于所述图像识别所述检测对象的不均匀区域；根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度；基于所述线性偏移角度以及设定过滤尺寸将所述特定方向上的不均匀区域过滤掉；对未过滤掉的不均匀区域进行不均匀判定。本发明实施例提供的一种判定线性制程不均匀的方法，提高了线性制程不均匀判定的准确度。
一种判定线性不均匀方法装置

[发明专利]一种快速光学校正方法-CN201711188120.9有效
发明人：杨慎东;郭连俊;颜圣佑 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明涉及光学光源的校正技术领域，具体地指一种快速光学校正方法。方法包括以下步骤，提供一校正板，其上设置复数个第一标示，且复数个第一标示在一条直线上；将多颗CCD相机中沿其排列方向的第一颗CCD相机获取校正板上的至少两个第一标示的位置信息，第二颗CCD相机获取校正板(4)上的另外至少两个第一标示的位置信息，通过获取的上述位置信息调整第一颗CCD相机和第二颗CCD相机，使得两颗CCD相机的中心连线与第一标示的连线平行；依该方法依次调节其余颗CCD相机。本发明校正方便、快速，能够精确调整CCD相机和光源是两者精确配合，提高了面板检测的效率，降低了面板漏检和错检的概率，且校正方式极为简单，具有极大的推广价值。
一种快速光学校正方法

[发明专利]一种日志管理方法及系统-CN201711376214.9有效
发明人：张良羽;郭连俊;杨慎东 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2017-12-19 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G06F16/23 文献下载
摘要：本发明涉及一种日志管理方法和系统，独立于产品生产方法和产品生产主程式，日志管理方法和系统能够接受主程式的调用，主程序调用时将日志信息存入共享内存，由日志读取模块将日志信息从共享内存中读出并记录，必要时进行日志的显示和分析，由日志更新模块对日志信息进行更新。当主程式出现异常不能正常运行，日志管理系统正常进行记录，解决了主程式异常而出现的日志记录不完整的问题。
一种日志管理方法系统

[发明专利]一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统-CN201710682116.1有效
发明人：杨慎东;郭连俊;颜圣佑 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2017-08-10 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明涉及ELA制程质量量测技术领域，特别是一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统。将刻度尺置于ELA装置下方，使ELA装置输出的线激光落于刻度尺的刻度上，并保证刻度尺上的刻度与线激光垂直；采集激光照射于刻度尺所产生的光信号，并将所述光信号显示输出；观测电信号一段时间，根据电信号的异常与否判断输出激光是否稳定。本发明的准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统成本低廉，不仅能判断输出激光是否稳定，还能判断出导致输出激光不稳定的因素。
刻度尺输出激光量测制程准分子激光退火线激光光信号显示激光照射系统成本输出垂直观测采集保证

[实用新型]一种晶圆检测设备-CN201821388048.4有效
发明人：朱志飞;舒文宾;杨慎东;郭连俊 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2018-08-27 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型属于电子产品加工生产技术领域，且公开了一种晶圆检测设备，其包括工作平台，所述工作平台上至少设置有宏观检测工位和微观检测工位，并且所述工作平台上还设置有搬运装置，所述搬运装置能将待检测晶圆搬运至所述宏观检测工位和所述微观检测工位。本实用新型的晶圆检测设备通过在晶圆检测设备上至少设置宏观检测工位和微观检测工位，可以对晶圆进行宏观和微观检测，从而可以全面检测分析加工工艺导致晶圆存在的缺陷，以便及时进行改进。并且通过设置搬运装置实现晶圆能够在不同检测工位之间的搬运，避免了在人工搬运过程中对晶圆造成损伤，导致检测结果受影响，进而对加工工艺做出错误调整的现象发生。
工位晶圆微观检测搬运装置工作平台检测晶圆检测设备本实用新型检测设备宏观种晶搬运电子产品加工错误调整检测结果全面检测人工搬运生产技术损伤分析改进

[实用新型]一种基板夹紧定位机构及基板检测装置-CN201820550830.5有效
发明人：杨云仙;郭连俊;杨慎东 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基板夹紧定位机构，利用两个固定组前后夹紧单元和两个活动组前后夹紧单元可在面板水平放置后，将面板在前后方向进行夹紧定位，利用两个固定组靠位单元和两个活动组靠位单元，可将面板在左右方向进行夹紧定位，利用升降夹紧单元可将定位好的面板进行夹紧，如此，在翻转面板时，面板不会从水平方向滑出，且翻转后便于相机对面板拍照找原点。
夹紧单元定位机构夹紧定位固定组活动组基板夹位单元翻转基板检测装置本实用新型原点面板水平前后方向滑出夹紧升降拍照相机

[发明专利]一种膜上膜内缺陷的判定方法-CN201710676406.5在审
发明人： 郭连俊;杨慎东;颜圣佑 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及光学检测技术领域，具体地指一种膜上膜内缺陷的判定方法。驱动缺陷扫描单元对待测基板扫描，获取待测基板的缺陷部分；驱动图像摄取单元摄取所述缺陷部分的图像；将所述缺陷与待测基板上标准膜上缺陷对比，若两者相似度大于设定值，则所述缺陷位于待测基板上方；若相似度小于设定值，则所述缺陷位于待测基板内部。本发明通过透明膜和空气折射率不同，且图像摄取单元对膜内缺陷和膜上缺陷的聚焦位置不同这一基本原理，使位于膜上的缺陷和位于膜内的缺陷在摄取影像上呈现不同的灰阶影像，然后通过对比确定缺陷是位于膜上还是膜内，提高了关键缺陷的检出率，同时节约大量拍照时间和判定时间，提高了面板的检测效率。
待测基板图像摄取单元判定相似度摄取上膜光学检测技术缺陷扫描单元空气折射率驱动关键缺陷灰阶影像基板扫描聚焦位置检出率透明膜拍照影像图像检测节约

[发明专利]一种膜上膜内缺陷的检测方法-CN201710675809.8在审
发明人： 郭连俊;杨慎东;颜圣佑 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： G01N21/958 文献下载
摘要：本发明涉及光学检测技术领域，具体地指一种膜上膜内缺陷的检测方法。驱动缺陷扫描单元对透明的待测基板进行扫描，获取待测基板缺陷部分；将缺陷部分的最大或最小灰阶值与第一标准值进行对比，通过将两者的差值与设定值进行比较，判断该缺陷部分是位于膜内还是膜上。本发明通过待测基板和空气折射率不同这一基本原理，位于膜上和膜内的缺陷在摄取影像上呈现不同的灰阶图像，然后通过对比确定缺陷是位于膜上还是膜内，能够大幅度提高缺陷部位的检测效率，节约大量的时间，具有极大的推广价值。
待测基板上膜检测光学检测技术缺陷扫描单元空气折射率灰阶图像缺陷部位最小灰阶透明的摄取影像扫描驱动节约

[实用新型]一种回转机构及宏观检查装置-CN201820822847.1有效
发明人：杨云仙;杨慎东;郭连俊 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2018-05-30 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： F16M11/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种回转机构，包括移载座、旋转座、回转支撑件及驱动单元，其中，回转支撑件连接移载座和旋转座，驱动单元与回转支撑件传动连接并驱动旋转座绕旋转座的中心线旋转0°至150°或0°至‑150°。本实用新型的回转机构将驱动单元安装于移载座上，输出端的齿轮与回转支撑件的齿相啮合，驱动单元输出端齿轮转动带动回转支撑件的外圈转动，外圈转动带动旋转座转动从而实现回转功能，驱动单元无需承受轴向载荷，可以使用小号的减速机，成本低，且回转支撑件易安装，使用寿命高。
回转支撑驱动单元转动回转机构旋转座移载本实用新型啮合宏观检查装置输出端齿轮传动连接带动旋转回转功能驱动旋转使用寿命轴向载荷减速机易安装齿轮输出

[实用新型]一种回转装置及宏观检查装置-CN201820823276.3有效
发明人：杨云仙;郭连俊;杨慎东 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2018-05-30 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种回转装置，包括移载座、设置在所述移载座上的回转轨道、位于所述移载座上方并与所述移载座转动连接的旋转座、安装在所述移载座上以驱动所述旋转座沿所述回转轨道旋转0°～45°或0°～‑45°的驱动单元。本实用新型的回转装置利用回转轨道支撑旋转座并对旋转座进行导向，从而确保旋转座平稳的旋转，使得固定在旋转座上的显示面板平稳的旋转，确保了显示面板的制程精度。本申请还提供一种宏观检查装置。
旋转座移载回转轨道回转装置宏观检查装置本实用新型显示面板驱动单元转动连接制程驱动支撑申请

[发明专利]一种晶圆检测设备-CN201810982460.7在审
发明人：朱志飞;舒文宾;杨慎东;郭连俊 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2018-08-27 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于电子产品加工生产技术领域，且公开了一种晶圆检测设备，其包括工作平台，所述工作平台上至少设置有宏观检测工位和微观检测工位，并且所述工作平台上还设置有搬运装置，所述搬运装置能将待检测晶圆搬运至所述宏观检测工位和所述微观检测工位。本发明的晶圆检测设备通过在晶圆检测设备上至少设置宏观检测工位和微观检测工位，可以对晶圆进行宏观和微观检测，从而可以全面检测分析加工工艺导致晶圆存在的缺陷，以便及时进行改进。并且通过设置搬运装置实现晶圆能够在不同检测工位之间的搬运，避免了在人工搬运过程中对晶圆造成损伤，导致检测结果受影响，进而对加工工艺做出错误调整的现象发生。
工位晶圆微观检测搬运装置工作平台检测晶圆检测设备检测设备宏观种晶搬运电子产品加工错误调整检测结果全面检测人工搬运生产技术损伤分析改进

[实用新型]一种旋转工作台及面板检测装置-CN201820224135.X有效
发明人：朱志飞;郭连俊;杨慎东 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转工作台及面板检测装置，包括固定座、第一驱动机构及第二驱动机构，当第一驱动机构和第二驱动机构分别在第一动力装置和第二动力装置的带动下沿水平X方向做同向运动时，带动玻璃基板平移；当第一驱动机构静止，第二驱动机构通过第二动力装置在水平X方向上输出水平作用力时，该水平作用力施加在第二支承体上，使得第二支承体在第二直线轨道上做水平运动，但是玻璃基板与第一驱动机构接触处的移动自由度被限制，此时玻璃基板做绕其与第一驱动机构接触处为圆心的圆做旋转运动，所以需要设置可沿第三直线轨道运动的第三支承体，作为其在Y方向上的补偿，有效解决了现有技术中遇到的问题，能够实现玻璃基板的位置调整。
第一驱动机构玻璃基板动力装置驱动机构支承体面板检测装置旋转工作台直线轨道接触处本实用新型水平作用力移动自由度平移圆心输出水平水平运动同向运动位置调整有效解决固定座下沿静止施加

[发明专利]一种基板夹紧定位机构及基板检测装置-CN201810347748.7在审
发明人：杨云仙;郭连俊;杨慎东 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板夹紧定位机构，利用两个固定组前后夹紧单元和两个活动组前后夹紧单元可在面板水平放置后，将面板在前后方向进行夹紧定位，利用两个固定组靠位单元和两个活动组靠位单元，可将面板在左右方向进行夹紧定位，利用升降夹紧单元可将定位好的面板进行夹紧，如此，在翻转面板时，面板不会从水平方向滑出，且翻转后便于相机对面板拍照找原点。
夹紧单元定位机构夹紧定位固定组活动组基板夹位单元翻转基板检测装置原点面板水平前后方向滑出夹紧升降拍照相机

1
2
3
4
下一页»
尾页
共 47 条