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[发明专利]槽轮及具有其的线切割装置-CN202310974187.4在审
发明人：李晓宝;刘姣龙;袁祥龙;郝小辉;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-08-03 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请提供一种槽轮及具有其的线切割装置，槽轮包括有本体，本体上设置有槽体，槽体具有开口且包括第一部段，开口位于第一部段的一侧；第二部段，第二部段位于第一部段背离开口的一侧，第一部段与第二部段连接；定位部，定位部位于第二部段远离第一部段的一侧，定位部与第二部段连接，定位部被配置对线切割装置的切割线进行定位；其中，沿槽轮的第一方向，第一部段的第一内壁之间具有第一尺寸W1，第二部段的第二内壁之间具有第二尺寸W2，第二尺寸W2小于等于第一尺寸W1。本申请通过对槽轮的改进，可提有效升产品质量。
具有切割装置

[发明专利]一种改善CIS产品纳米形貌改进工艺-CN202310319792.8在审
发明人：常雪岩;杜金生;张坤;叶建;王超;杨振域;武卫;郝小辉;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善CIS产品纳米形貌改进工艺，其改善的方法包括以下步骤：S1、首先需要进行实时准备好相应的针脚和与针脚相适配的基座，通过更改针脚的材质以及在新材质的基础上优化功率配比，使针脚和基座的接触位置的热传导接近，进而实现消除针脚和基座中间的温差，从而减弱对纳米形貌的影响；S2、然后具体的更换操作是将针脚材质由常规的玻璃碳改为碳化硅，从而进行实现优化功率配比，最终优化后将纳米形貌在针脚位置的亮点进行实时的消除，有效的改善了纳米形貌整体效果。本发明通过更改针脚的材质以及在新材质的基础上优化功率配比，使针脚和基座的接触位置的热传导接近，消除温差，从而减弱对纳米形貌的影响。
一种改善 cis 产品纳米形貌改进工艺

[发明专利]一种改变自掺杂的工艺-CN202310310592.6在审
发明人：叶建;徐婧;杜金生;周明;陈勇;吕亚辉;杨振域;武卫;郝小辉;郭红慧 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种改变自掺杂的工艺，其工艺方法包括以下步骤：S1、首先需要进行实时检查硅片基座和灯泡以及相应设备的线路连接情况，保证设备之间能够进行有效的通电，并且需要实时进行调节加工时灯泡的电力的分配比，从而实现进行提高边缘温度，加快来自基座表层的杂质的溢出速度；S2、然后通过使更多的杂质在内腔加工时被带走，在后续的外层加工时，因为提高了边缘温度。本发明通过调节加工时电力的分配比，增加内腔加工时带出基座边缘的杂质，降低杂质对硅片工艺时硅片边缘的掺杂浓度的影响，有效的改善了边缘自掺杂现象，来改善边缘的自掺杂现象，不会增加额外的成本，也不会造成产能损失。
一种改变掺杂工艺

[发明专利]一种改善CIS产品SFQR和ESFQR工艺-CN202310310778.1在审
发明人：常雪岩;杜金生;张坤;叶建;杨阳;李强;王超;杨振域;刘园;郝小辉;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善CIS产品SFQR和ESFQR工艺，其改善的方法包括以下步骤：S1、首先需要进行实时准备好相应的CIS产品器件，并且将CIS产品器件的线路进行实时准确的连接固定，并且检查线路的导通情况后进行实时操作，通过优化CIS产品器件功率配比，控制CIS产品边缘的外延层的生长速率，以及控制CIS产品衬底前置的形貌。S2、然后实现对CIS产品边缘进行实时管控，使得CIS产品边缘的外延层和衬底的配合度能够达到更高，通过使衬底和外延层达到高度匹配，从而优化CIS产品几何参数SFQR/ESFQR。本发明通过控制功率配比从而控制边缘外延层的生长速率，控制衬底形貌，使衬底和外延层达到高度匹配，有效的优化了几何参数。
一种改善 cis 产品 sfqr esfqr 工艺

[发明专利]一种大直径晶圆专用理片器-CN202310398096.0在审
发明人：李晓宝;刘建伟;雍琪浩;葛涛;袁祥龙;郝小辉;祝斌;孙晨光;王彦君;武卫 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种大直径晶圆专用理片器，包括支撑立板，所述支撑立板相对的一侧表面皆设置有支撑侧板，所述支撑侧板内侧的两端皆设置有横柱，所述支撑侧板之间形成有V槽，所述V槽靠近底部的位置处通过转轴转动设置有晶圆旋转主轴，所述晶圆旋转主轴的一侧设置有V槽限位轴，所述V槽的顶部设置有片篮。该一种大直径晶圆专用理片器，在进行晶圆放置整理使用的过程中，通过利用硅片V槽限位轴将晶圆V位置定位在同一轴线上,达到同一篮硅片V槽方向保持一致的理片目的，通过使用大直径晶圆专用理片器，可以高效整理硅片的方位，为观察硅片的整体特征提供了便捷的工具，对实际生产以及硅片研究有着重要的意义。
一种直径专用理片器

[发明专利]外接式精抛液交叉回收装置-CN202310053865.3在审
发明人：张睿;夏威;张宏杰;叶成玉;孙晨光;郝小辉;叶星;杨晶莹;王彦君;郭红慧 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-03 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了外接式精抛液交叉回收装置，包括底板，所述底板的顶部横向等距排布设置有框架，所述框架的内侧设置有抛光液桶，所述底板顶部一侧的抛光液桶内部设置有冷却管路，所述抛光液桶的顶部设置有输送壳，所述输送壳的内侧设置有输液泵，所述输液泵的一端通过管道与抛光液桶连接，所述输液泵一侧的管道上设置有液位传感器，所述框架的顶部设置有pvc盒，所述pvc盒的内部设置有过滤器，且过滤器的一侧表面设置有透明门。该外接式精抛液交叉回收装置，通过安装一套精抛液回收装置，在保证回收液水液配比不受影响的同时，确保产品不出现划伤，颗粒增多等异常，有效的降低了回收液中的杂质对产品造成的异常影响，提高了硅片生产加工的质量。
外接式精抛液交叉回收装置

[发明专利]一种外延安全管控的方法-CN202211332145.2在审
发明人：龚赛;杨振域;王超;郑岳亮;吴志豪;王瀚;杜金生;郝小辉;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种外延安全管控的方法，其管控方法包括以下步骤：S1、首先将主机产生的尾气进行导送进入湿式洗涤器去除尾气中的TCS、HCL，剩余可燃气体进入到燃烧洗涤器进行燃烧，燃烧后进入酸排，该处理方式可以达高效且高纯度的尾气气体处理能力，对机台和环境有效进行保护；S2、然后将主机和附属设备fault信号进行实时串联联动，当出现问题的时候立马能够进行shutdown，同时当主机台和附属设备发生报警停机，均会停止特气的使用，且当环境监测和酸排监测特气含量超标也均会有报警提醒。能够实现高效率处理尾气和对外延气体安全管控，达到12寸外延没有发生过特气泄露事故，大大提高了外延加工的整体安全性。
一种外延安全方法

[发明专利]一种通过检测震动触发电机减速停止的装置-CN202211293196.9在审
发明人：秦鹏程;夏逸风;高亮;李鑫;叶星;杨晶莹;武卫;郝小辉;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H02P21/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种通过检测震动触发电机减速停止的装置，包括中间继电器，所述中间继电器的一侧通过导线连接有伺服电机驱动器，所述中间继电器的另一侧通过导线连接有震动模块，所述震动模块的一侧设置有电源模块，且电源模块的输出端通过连接导线与中间继电器、伺服电机驱动器和震动模块的输入端电性连接。该一种通过检测震动触发电机减速停止的装置，能够实现设备发生震动时，第一时间报警停机，不影响Port口正在加工状态中的OC及硅片，也不影响正在左右工位研削的硅片，减少异常报废，避免因震动影响设备的精度和稳定性。
一种通过检测震动触发电机减速停止装置

[发明专利]一种处理外延紧急事故的方法-CN202211347934.3在审
发明人：龚赛;郑岳亮;杨振域;王超;王瀚;杜金生;郝小辉;李江;王彦君;孙晨光 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G06Q50/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种处理外延紧急事故的方法，其处理方法包括以下步骤：S1、首先需要挑选相应数量和标准的ERT队员，且可以定期组织ERT项目内容的实时学习和ERT实践操作的培训，并且对防护用具和安全知识进行学习，进而能够使ERT队员充分熟悉和掌握理论和实操，达到出现问题时能够快速进行反应和安全使用工具；S2、然后进行设定应急跑位卡描述机台的位置、EMO的位置、对应的水电气一级开关和二级开关的位置。本发明通过制定应急跑位系统、制定应急跑位卡和制定事故发生的上报系统，方便ERT队员进行实时定位寻找准确的位置，能够实现通知发生事故后每个ERT队员能在10分钟内找到对应位置进行有效处理，大大提高了常压外延设备使用的整体安全性。
一种处理外延紧急事故方法

[发明专利]光器件超微量点胶自动贴装平台及点胶方法-CN202210748837.9在审
发明人：韩国英;闫耀军;田世玉;郝小辉 -专利权人：珠海光翊智能科技有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种光器件超微量点胶自动贴装平台及点胶方法。贴装平台包括底座，所述底座上设置有移动机构和工作平台，所述移动机构上配合设置有移动座，所述移动座上设置有点胶模组、吸取模组及用于器件定位的第一相机模组，所述工作平台上设置有器件定位载具、用于器件二次定位的第二相机模组及用于识别点胶高度的第三相机模组；点胶方法包括将吸取模组移动至器件上方，通过第一相机模组对器件进行定位；通过吸取模组将器件抓取至第二相机模组处进行二次定位，并将器件放置在器件定位载具上；通过点胶模组对器件进行点胶，并通过第三相机模组控制点胶模组的点胶高度。本发明应用于点胶的技术领域。
器件微量自动平台方法

[实用新型]一种用于竹笋的挖采工具-CN202020380568.1有效
发明人：徐运海;张群;贾翠兰;黄继文;张保祥;袁恒星;张立华;郝小辉;王光辉 -专利权人：山东省水利科学研究院
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： A01D11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于竹笋的挖采工具，包括扶杆，所述扶杆的内部安装有伸缩杆，所述伸缩杆的一端安装有把套，所述扶杆的一端端口处设置有螺头。本实用新型的扶杆的一端安装有插头，通过插头方便与挖采头的一侧的安装套镶嵌连接，且扶杆的内部安装有伸缩杆，通过其可以调节扶杆的长短，且在扶杆的端口处设置有螺头，在伸缩杆的一端安装有把套，把套的一端安装有螺纹套，且当伸缩杆缩入到扶杆内可以使把套与螺头螺纹固定，方便调节,挖采头上设置有后刀刃和前刀刃，通过其可以根据需求进行内外切割使用，增大其通用性，当伸缩杆缩短后通过前刀刃作为切割端，使其当做镰刀时候，方便对竹笋的切割。
一种用于竹笋工具

[实用新型]一种集成式养殖水槽-CN202020389603.6有效
发明人：徐运海;董新美;王玉太;张保祥;杜兴华;张立华;袁恒星;郝小辉;巩向峰 -专利权人：山东省水利科学研究院
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： A01K63/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种集成式养殖水槽，包括设置环形设置的水槽，水槽中心位置设有用于增氧的振动装置，包括浮板，浮板上方设有电机，电机的转轴上连接有半齿齿轮，半齿齿轮上方配合设有齿条，齿条滑动连接在左立柱上；齿条的左端连接有第一挤压块，第一挤压块上设有第一斜面；第一挤压块下方配合设有第二挤压块，第二挤压块上设有与第一斜面相接触的第二斜面；第二挤压块底部连接有桨叶，第二挤压块滑动连接在浮板上；第二挤压块与浮板之间设有第二复位弹簧；第一挤压块通过第一复位弹簧与左立柱相连。本实用新型占地面积小，提高了空间利用率，便于工作人员进行日常维护和清理；同时利用振动装置可增加氧含量，提高养殖成活率。
一种集成养殖水槽

[发明专利]一种防窃电计量装置-CN201810009590.2在审
发明人：王普辉;石振东;王兆燕;郝小辉;吕晓晨;曲翔;高歌 -专利权人：国网山西省电力公司;山西海煜盛世科技有限公司
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： G01R11/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种防窃电计量装置，包括电能表、高压组合互感器、防窃电电表箱和防窃电电盒，所述高压组合互感器的一次接线连接所需计量电能的电路，高压组合互感器的二次计量连接线接入电能表，所述电能表设在防窃电电表箱内，所述高压组合互感器设在柜体上部的防窃电盒内，所述防窃电盒底座上设有互感器插口，所述高压组合互感器设置在互感器插口内。本发明通过将电能表与主回路的有效分离，避免了电器装置事故引起的电能计量装置故障，解决了防窃电可靠性低的问题。
高压组合互感器电能表互感器防窃电计量装置插口防窃电盒防窃电电能计量装置防窃电电表箱防窃电电表连接线接入电器装置二次计量柜体上部计量电能有效分离主回路电盒底座接线电路

[发明专利]配电室无线数控安防系统-CN201310742514.X无效
发明人：李栋斌;王兆燕;郝小辉;吕晓晨 -专利权人：国家电网公司;国网山西省电力公司
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： G08B13/12 文献下载
摘要：本发明配电室无线数控安防系统，属于门禁装置技术领域；解决的技术问题是：提供一种使用方便，造价较低的配电室门禁装置；采用的技术方案是：配电室无线数控安防系统，包括配电室管理人员通讯的手机、无线门禁设备和防盗报警窗；所述无线门禁设备包括有：信号接收放大模块、中央处理器模块、驱动模块、电控锁具、视频采集处理模块、摄像头和电源模块；本发明适用于电力部门。
配电无线数控系统

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