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[实用新型]晶圆运送盒-CN202020175029.4有效
发明人：邱铭隆;陈湘萦 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2020-02-17 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆运送盒，包括：一外壳，包括一底座及一上盖；一卡匣件，可分离地设在底座内，卡匣件的两相对侧壁分别设有多个晶圆容置槽，每两个相邻的晶圆容置槽间以一凸肋分隔；以及一上辅助限位单元，一体成型地连设在上盖内，并包括两排彼此相对突伸且分别与一晶圆容置槽对应的上保持件，及两排分别由上盖底侧朝向卡匣件内侧突伸的导引件，且每一导引件的至少末端部分邻近于一晶圆容置槽一侧的凸肋表面。通过这些导引件的导引，可确保晶圆运送盒在盖合过程中，上保持件与晶圆能相对正，以正确持稳晶圆并提供缓冲而降低晶圆损伤及破裂的风险。
运送

[实用新型]晶圆运载盒及用于晶圆运载盒的下保持件-CN201721440177.9有效
发明人：黄世钦;陈湘萦;陈延方;陈昶玮 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆运载盒及用于晶圆运载盒的下保持件，该晶圆运载盒包含外壳及限位单元。外壳包括底座及可分离地盖合于底座的盖体，且界定出容置空间。限位单元位于容置空间内，并包括一设于底座的下保持件、一设于盖体的上保持件，及一位于上、下保持件之间的卡匣件。卡匣件具有两个固持壁，且固持壁形成多个侧限位槽。上保持件形成多个上限位槽，下保持件形成多个下限位槽，各下限位槽由两个在顶侧相间隔而在底侧相接的壁面所界定并于两壁面的相接处形成一槽底，且槽底的位置相对于其上方对应的侧限位槽的中心位置较往前后方向上的一侧偏离。借此，位于卡匣件内的多个晶圆能够朝同一侧倾斜，而使晶圆之间保持等间距以方便机器夹取并降低破片的风险。
保持件晶圆运载盒底座侧限位槽容置空间下限位槽限位单元固持壁盖体界定卡匣可分离地前后方向上限位槽位置相对相接处壁面顶侧盖合夹取两壁破片匣件种晶偏离