专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]双面压印光刻系统-CN200810130342.X有效
  • 赵恩亨;左圣熏;孙镇昇;李斗铉 - 三星电子株式会社
  • 2008-07-11 - 2009-03-04 - G03F7/00
  • 本发明提供一种双面压印光刻系统,该双面压印光刻系统包括:介质支撑单元,支撑介质,其中,所述介质的两个表面涂覆有紫外(UV)硬化树脂;第一模具支撑单元和第二模具支撑单元,分别支撑第一模具和第二模具,并分别设置在介质支撑单元之上和之下;竖直运动装置,使介质支撑单元、第一模具支撑单元和第二模具支撑单元中的至少一个竖直地运动;第一UV照射装置,安装在第一模具支撑单元之上,以照射UV光线;第二UV照射装置,安装在第二模具支撑单元之下,以照射UV光线。
  • 双面压印光刻系统

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