专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶圆对准方法及对准装置-CN202211185792.5在审
  • 田陈陈;司伟;张昊;谭永旭 - 北京华卓精科科技股份有限公司
  • 2022-09-27 - 2023-01-20 - H01L21/68
  • 本发明提供了一种晶圆对准方法及对准装置,该装置包括:使承载有第一晶圆的第一载片机构与承载有第二晶圆的第二载片机构处于彼此相对的对准位;透过第一载片机构的载片盘识别第一晶圆上的第一标记,确定第一标记在目标坐标系中的坐标;透过第一载片机构的载片盘以及第一晶圆,识别第二晶圆上的第二标记,确定第二标记在目标坐标系中的坐标;根据由第一标记与第二标记的坐标所确定的第一位置偏差数据,移动第一载片机构和/或第二载片机构,以使第一标记与第二标记对准。基于本发明的技术方案,对准过程中两个晶圆始终正对,不必再为了使位置错开来进行标记识别而反复移动,避免了移动机构反复移动引入的额外的移动误差。
  • 对准方法装置
  • [发明专利]一种晶圆对准装置及对准方法-CN202210528470.X在审
  • 张昊;司伟;田陈陈;谭永旭 - 北京华卓精科科技股份有限公司
  • 2022-05-16 - 2022-07-29 - H01L21/68
  • 本发明涉及半导体加工技术领域,具体为一种晶圆对准装置及对准方法。该装置包括基座,所述基座上方设有下运动台和上运动台,所述基座上装有校准标记,所述上运动台上设有上承载台,所述下运动台上设有下承载台;所述上承载台的上方及下承载台的下方分别设有两套视觉系统。本发明的晶圆对准装置取消了C型臂视觉系统,使用独立的视觉系统实现测量功能,该视觉系统无悬臂结构,且显微部分的移动量可以直接测量。在最终上下晶圆贴合之前,上下晶圆的相对位置变化始终可以测量,用于最终补偿。
  • 一种对准装置方法

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