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[实用新型]一种高电子迁移率晶体管-CN202321208481.6有效
发明人：王晓波 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L23/373 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体电子信息技术领域，具体为一种高电子迁移率晶体管，所述基底的本体上侧设置有开孔区，所述开孔区的内侧设置有N型半导体离子注入区，所述N型半导体离子注入区包括N型区和耗尽区，所述N型区位于耗尽区的内侧，所述基底位于耗尽区的外侧；所述N型半导体离子注入区的上方左右侧均设置有金属层，所述基底的上方左右侧均设置有Si3N4层，两侧所述Si3N4层在靠近N型区的一端分别与对应侧的金属层连接；本装置简化晶体管的设计及制造工艺，通过结构的简化不但可以降低生产成本，还可以降低导通电阻，导通电阻的降低不仅提升了载流子迁移速率，还提升了工作频率。
一种电子迁移率晶体管

[实用新型]一种光电芯片导电层结构-CN202321208370.5有效
发明人：王晓波 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L33/44 文献下载
摘要：本实用新型公开的属于半导体电子信息技术领域，具体为一种光电芯片导电层结构，包括芯片本体，所述芯片本体的下侧设置有封装反射层，所述芯片本体的上侧设置有石墨烯层；所述芯片本体包括外延层、n型电极区、限制层和p型电极区，所述n型电极区位于外延层与限制层之间，所述限制层位于n型电极区与p型电极区之间，本装置基于垂直UVC光电子芯片的基础，应用在垂直UVC光电子芯片上可以极大的提升电流扩展及UVC光的分布和透射，通过垂直芯片结构使得芯片电流可以上下导通，减小电流的堵塞和增大扩展面积，通过加入石墨烯层，可以提升电极的导电和电流扩展均匀性。
一种光电芯片导电结构

[发明专利]一种量子微纳结构光电子芯片及其制造方法-CN202110501408.7有效
发明人：王晓波;沈洋;王楠 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01L33/04 文献下载
摘要：本发明公开的属于半导体电子信息领域技术领域，具体为一种量子微纳结构光电子芯片及其制造方法，包括基底，所述基底的上方设置有发光区，所述发光区的上方设置有量子微纳结构区，所述量子微纳结构区的上方设置有覆盖区，所述发光区从下到上依次包括AlN层、AlGaN层、SL底层和光亮层，所述量子微纳结构区包括组合包层，所述组合包层的上下侧均设置有量子限制包层，下侧所述量子限制包层的下侧设置有限制层，通过采用量子三维微纳结构和特殊设计的限制层和量子限制包层，然后利用先进的电子束直写技术结合特殊外延生长结构，能够极大的优化和提升光电子芯片发光区的光子复合效率，进而提升电光效率和发光功率。
一种量子结构光电子芯片及其制造方法

[实用新型]一种基于多芯片混合的环境处理装置-CN202022772847.5有效
发明人：王晓波;王楠 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： A61L2/10 文献下载
摘要：本实用新型公开的属于环境改善技术领域，具体为一种基于多芯片混合的环境处理装置，包括过滤机构和杀菌消毒组件，所述杀菌消毒组件包括安装基层和封装模块，所述封装模块等距离排布在安装基层上，所述封装模块包括封装基板和罩在封装基板外部的石英玻璃罩，所述封装基板上且位于石英玻璃罩的内侧集成有电气组件，所述电气组件包括紫外光LED芯片、红光LED芯片，蓝光LED芯片、绿光LED芯片和传感器组件。通过封装模块的设置，能够显示不同颜色，起到照明和装饰的效果；能够用于空气净化、水体净化等方面，适用范围广。
一种基于芯片混合环境处理装置

[发明专利]一种紫外LED外延结构及其制备方法-CN202110523507.5有效
发明人：王晓波 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L33/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种紫外LED外延结构，包括衬底、及从下至上依次位于衬底上的低温AlN层、高温AlN层、本征AlGaN层、掺杂硅烷的n型AlGaN层、掺杂硅烷的n掺杂AlGaN/AlN超晶格层、量子阱区‑1、超晶格SL区‑1、量子阱区‑2、超晶格SL区‑2、量子阱区‑3、超晶格SL区‑3、量子阱区‑n、超晶格SL区‑n、p型AlGaN层和掺杂镁的p++型BAlGaN层，通过本发明的设计和生长方法，能够满足现实应用中对于各种紫外波段需求的集成统一，很大程度简化了后续封装步骤，并且提高了芯片的整体可靠性，实现了一芯多用的功能。
一种紫外 led 外延结构及其制备方法

[发明专利]一种基于化合物半导体材料紫外VCSEL芯片及制作方法-CN202110347187.2有效
发明人：王晓波 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01S5/183 文献下载
摘要：本发明公开的属于半导体电子信息技术领域，具体为一种基于化合物半导体材料紫外VCSEL芯片及制作方法，包括基底，所述基底的上方设置有外延层，所述外延层的上方设置有发光层，所述外延层包括低温AlN层，所述低温AlN层的上方设置有高温AlN层，所述高温AlN层的上方设置有含硅层，所述含硅层的上方设置有重硅层，所述发光层包括掺硅层，所述掺硅层的上方设置有超晶格层，本发明设计的芯片通过外延和芯片生长制作技术进行制造，能够得到波长在200～280nm的UVC波段紫外光VCSEL，突破和克服了200nm以上的UVC波段VCSEL芯片制作难题和发光效率难题。
一种基于化合物半导体材料紫外 vcsel 芯片制作方法

[实用新型]一种便携智能多用紫外线LED杀菌消毒仪-CN202120506576.0有效
发明人：王晓波 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： A61L2/10 文献下载
摘要：本实用新型公开的属于紫外线杀菌消毒技术领域，具体为一种便携智能多用紫外线LED杀菌消毒仪，包括手柄，所述手柄的外侧设置有总开关，所述手柄的外侧设置有二号开关，所述手柄的外侧设置有一号开关，所述手柄的外侧设置有三号开关，所述手柄的上侧设置有灯条板，所述手柄的上侧设置有透明外壳，所述灯条板在透明外壳的内腔中，所述灯条板为三棱柱型，所述灯条板的三个侧面均安装有深紫外LED灯，手柄的底部安装有可拆卸的移动底盘，移动底盘下面安装有轮子，移动底盘内部安装有电机和控制装置，可以通过遥控开工来控制移动底盘移动，通过控制移动底盘移动，可以将消毒仪移动到想要杀菌消毒的位置。
一种便携智能多用紫外线 led 杀菌消毒

[发明专利]一种碳化硅基石墨烯材料的HEMT芯片及其制备方法-CN202111399628.X在审
发明人：王晓波;王楠;黄永;毛宏颖;吴旗召;商毅博 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L29/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳化硅基石墨烯材料的HEMT芯片及其制备方法，该芯片包括：基底、石墨烯层、离子注入区、S/D电极区和G电极；石墨烯层位于所述基底上方，且与所述基底连接；离子注入区位于所述基底内部中心位置，且向上贯穿至所述石墨烯层上表面；S/D电极区位于所述石墨烯层上方且与所述石墨烯层连接；G电极位于所述离子注入区上方，且与所述离子注入区连接。本发明采用石墨烯材料作为导电通道代替传统的异质界面2DEG,实现超高速的电子迁移和导电速率，采用金属半导体接触的肖特基势垒作为栅电源控制整个晶体管的开关，采用SiC作为基底材料，通过半导体工艺现实不同材料的生长集成，构成全新的具有优良特性的晶体管。
一种碳化硅基石材料 hemt 芯片及其制备方法

[发明专利]一种大功率垂直结构紫外LED芯片的设计和制作方法-CN202110162460.4有效
发明人：王晓波 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明公开的属于半导体电子信息技术领域，具体为一种大功率垂直结构紫外LED芯片的设计和制作方法，该大功率垂直结构紫外LED芯片的设计如下：采用蓝宝石衬底作为生长基底，进行异质外延生长，运用MOCVD技术来完成整个外延过程，蓝宝石衬底采用图像化衬底，即PSS衬底,本衬底采用特殊设计，为顶角120°三棱锥结构，可以极大程度的提升光的发射效率，以及特殊的表面纳米压印和双层图形化微纳处理，极大的提升紫外光LED的辐射功率和出光效率，改善电流扩散效率和芯片的散热能力，从而可以提升芯片的制作尺寸，有效的改善了紫光LED器件的可靠性，能够大规模适合工业级应用。
一种大功率垂直结构紫外 led 芯片设计制作方法

[发明专利]一种大功率紫外LED的外延生长方法-CN202110163226.3有效
发明人：王晓波 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开的属于半导体电子信息技术领域，具体为一种大功率紫外LED的外延生长方法，采用蓝宝石作为生长基底，进行异质外延生长，运用MOCVD技术来完成整个外延过程，在蓝宝石上生长一层低温AlN层，继续生长一层高温AlN层，接着生长一层低温BAlN，再生长一层高温BAlN层，然后再生长几个周期BAlN/BAlGaN超晶格结构，继续生长一层n型掺杂的AlGaN,接着生长一层AlGaN/BAlN量子阱结构有源区,接着生长一层p型BAlGaN层，再生长一层p型BAlN层，继续生长一层超薄的p型BN,生长一层p型BAlN层，继续生长一层超薄的p型BN，有效提高了发光效率、降低了制备成本和难度，提高了成品率。
一种大功率紫外 led 外延生长方法

[发明专利]一种半导体晶体管及其制备方法-CN202111188640.6在审
发明人：王晓波 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-10-12 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶体管及其制备方法，采用第三代半导体氮化镓及其化合物为外延材料，通过掺杂形成P型和N型区，利用异质结材料表面的2DEG作为导电通道，同时利用金属和二氧化硅来作为栅极，在栅极未施加电压时，源极和漏极之间相当于N‑i‑P‑i‑N结构，无法导通，通过在栅极施加电压，使得源极和漏极下方的N‑AlGaN中的电子被电场吸引到表面层，于源极和漏极两处的AlGaN/GaN所形成的2DEG形成导电通道，N‑i‑P‑i‑N结构可以增大击穿电压，提升产品电压特性，2DEG的导电通道可以提升电子迁移率，相比半导体本身的多子导电通道，提升了开关相应速率和频率。
一种半导体晶体管及其制备方法

[发明专利]一种化合物半导体材料的HBT外延结构及其制备方法-CN202111045271.5在审
发明人：王晓波;王楠;黄永;沈洋 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种化合物半导体材料的HBT外延结构及其制备方法，其包括基底，以及依次位于其上方的集电区、基区和发射区。解决了材料生长过程异质结面晶格适配问题，引入和GaN晶格匹配的Al0.82In0.18N作为发射区异质结材料，可以减小材料表面异质缺陷，亦可以实现抑制流向基区不必要的空穴电流；通过在N‑P‑N型HBT外延层各区材料的接触界面引入本征材料层i形层，可以减小结电容和势垒电容等非线性电容，增强器件线性度，利于高频微波工作；通过引入P/N梯度掺杂层结构，既然可以使得界面耗尽区增强，减小结电容，同时梯度掺杂可以保证器件小的电阻率，较小发射电阻，增强频率特性，实现优化性能。
一种化合物半导体材料 hbt 外延结构及其制备方法

[发明专利]一种集成混合材料高电子迁移率晶体管及其制备方法-CN202110998908.6在审
发明人：王晓波;王楠 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-08-28 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01L29/778 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成混合材料的高电子迁移率晶体管及其制备方法，通过利用石墨烯材料作为导电通道代替传统的异质界面2DEG,实现超高速的电子迁移和导电速率，采用金属半导体接触的肖特基势垒作为栅电源控制整个晶体管的开关，采用碳化硅(SiC)或者硅(Si)或者锗硅(Ge/Si)或者其他可选半导体材料作为基底材料，通过半导体工艺现实不同材料的生长集成，构成全新的具有优良特性的高电子迁移率晶体管。
一种集成混合材料电子迁移率晶体管及其制备方法

[发明专利]一种紫外LED光电芯片的封装结构及制备方法-CN202110654576.X在审
发明人：王晓波;王楠;黄永;商毅博 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种紫外LED光电芯片的封装结构，基底和侧壁的结构设置，可以改善紫外LED光的反射角度，优化光束分布，结合金属反射层和增强反射层，可使更多的光在腔体内反射，且更易反射到盖板的内表面；当反射光线遇到盖板表面的纳米槽时，直接自盖板外表面射出，减少反射过程中的损耗，进而提升光的提取效率。本发明公开了一种紫外LED光电芯片的封装结构制备方法，基板和盖板制作完成后，置于低压环境下封装，取出放在标准大气压下，受大气压力的作用盖板和基板贴合更紧密，同时，封装胶水在压力作用下会流入楔形口内，使卡扣和卡槽粘合更紧密。本发明封装成本低，工艺简单，设置双重保护避免基板和盖板分离，有效的保证了芯片的稳定性。
一种紫外 led 光电芯片封装结构制备方法

[实用新型]一种用于中央空调的杀菌消毒和净化装置-CN202022254564.1有效
发明人：王晓波 -专利权人： 西安瑞芯光通信息科技有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： F24F3/16 文献下载
摘要：本实用新型公开的属于杀菌消毒和净化技术领域，具体为一种用于中央空调的杀菌消毒和净化装置，所述进风口的右侧依次安装五个固定框架、十个卡槽固定板，两个所述矩形固定板的相视侧壁对应位置均设置有五个卡槽固定板，两个所述矩形固定板之间设置有五个固定框架，所述固定框架的上下侧均开设有凹槽，中央空调的杀菌消毒和净化装置设置了超级过滤网膜、一号紫外线LED灯、二号紫外线LED灯、光触媒过滤网、三号紫外线LED灯层层过滤，可以有效的过滤和杀死细菌、病毒、粉尘、过敏原、等有害物，中央空调的杀菌消毒和净化装置设置过滤循环的内部空间没有死角空间使得细菌、病毒和细菌这些微生物寄生繁殖。
一种用于中央空调杀菌消毒净化装置

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