专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]P型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的制备方法-CN200710119718.2无效
  • 张铭;董国波;兰伟;董培明;严辉 - 北京工业大学
  • 2007-07-31 - 2008-04-09 - C30B25/06
  • 本发明涉及一种P型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的制备方法。该方法的步骤为:将化学纯的Cu2O粉和分析纯的Al(OH)3粉经500~550℃预烧1~1.5h,在1050~1150℃保温8~12h,生成纯相的CuAlO2粉末,将CuAlO2粉末压制成型后,经1050~1150℃烧结4~10h,制成CuAlO2陶瓷靶材;采用上述制成的CuAlO2陶瓷靶材,利用磁控溅射方法,以Si(100)单晶或石英为衬底,衬底温度300~600℃,以高纯氩气与氧气组成的混合气体为工作气体,工作气压0.8~1.0Pa,氧分压10~40%,溅射功率100~200W,薄膜沉积后,于900~1100℃经氮气气氛保护,在管式炉内退火2~5h,制成P型CuAlO2薄膜。其厚度为100~500nm。本发明方法薄膜沉积面积大,生产成本低,且适于工业化生产。
  • 透明导电氧化物cualosub薄膜制备方法

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