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- [发明专利]一种通信方法及装置-CN202210334251.8在审
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酉春华;王珏;范强;娄崇
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华为技术有限公司
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2022-03-30
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2023-10-24
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H04W76/15
- 本申请涉及通信技术领域，公开了一种通信方法及装置。其中方法包括：第一网络设备接收来自第二网络设备的M个小区的节能信息，并根据M个小区的节能信息，向第二网络设备发送第二请求信息，第二请求信息用于请求将M个小区中的N个小区添加到终端设备的辅小区组中。采用该种方法，第一网络设备可以根据第二网络设备的M个小区的节能信息，决定是否请求添加第二网络设备为终端设备的辅网络设备；如此，由于第一网络设备在为终端设备添加辅网络设备时，考虑了候选辅网络设备管理的小区的节能信息，从而便于添加合适的网络设备为终端设备的辅网络设备。
- 一种通信方法装置
- [发明专利]载片台及反应腔室-CN202211669627.7有效
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刘建生;管长乐;闫瑞鑫;薛俊辉;范强
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北京屹唐半导体科技股份有限公司
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2022-12-25
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2023-10-24
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H01L21/687
- 本公开提供了一种载片台及反应腔室。载片台包括台本体、柱体、分隔部和支撑部。台本体包括第一端面和第二端面。柱体设置于第一端面的中心与第二端面的中心之间。分隔部环设于柱体的外壁且与台本体的内壁连接。分隔部与第一端面之间形成射频区域，分隔部与第二端面之间形成非射频区域。支撑部设置于台本体的外部。支撑部的内部形成有第一通道和第二通道。第一通道与射频区域连通。第二通道与非射频区域连通。根据本公开的方案，通过分隔部将载片台的内部分隔为射频区域和非射频区域，以及支撑部的第一通道和第二通道对载片台内部的管路的规划，使载片台内部形成对称的射频电势，有利于消除晶圆的刻蚀形貌的不对称性，提高晶圆刻蚀厚度的均匀性。
- 载片台反应
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