“茂德科技股份有限公司”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果199个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]溅镀清洗室的晶座设计及应用该设计的金属化制造过程-CN00131766.0无效
发明人：吴孝哲 -专利权人： 茂德科技股份有限公司
申请日： 2000-10-17 - 公布日： 2002-05-15 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本案为一种溅镀清洗室,应用于一半导体制造过程中。该溅镀清洗室包括一晶座,用以承载一晶片,以及一冷却管线,装置于该晶座内,藉以避免该晶片温度升高。藉由该晶座设计,可在钛金属沉积于晶片之前藉由一冷却晶片的步骤,以改善铝的孔隙填补能力。
清洗设计应用金属化制造过程

[发明专利]光阻涂布机的回吸系统的状态显示装置-CN00130660.X无效
发明人：施智辉 -专利权人： 茂德科技股份有限公司
申请日： 2000-10-09 - 公布日： 2002-05-01 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：将光阻涂布机中的光阻回吸系统加以改良,通过压力表显示于一回吸系统之中进气管、开关阀及止回阀的压力大小,并显示该压力大小与时间的关系。可以了解节流阀压力相对于时间的起点与终点,且操作者可以经此了解作业的参数状态,并观察时间、压力与光阻喷涂的关系,得到最佳化的回吸系统,进而降低因为光阻涂布不均所造成的光阻成形的不良率。
光阻涂布机系统状态显示装置

[发明专利]金属导线的制造方法-CN00130455.0无效
发明人：颜俊耀;李惠民 -专利权人： 茂德科技股份有限公司
申请日： 2000-10-11 - 公布日： 2002-05-01 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：一种金属导线的制造方法,先提供半导体基底,其形成有导电区域。接着,全面形成一绝缘层,以覆盖半导体基底。然后在绝缘层表面形成牺牲层。其次选择蚀刻牺牲层及绝缘层,以形成露出导电区域的镶嵌结构。之后全面形成金属层,其填入镶嵌结构。然后化学机械研磨金属层,来去除牺牲层表面的金属层,留下当作金属导线的金属结构。本发明避免在化学机械研磨过程中导致金属凹陷及绝缘层被磨掉所产生的腐蚀,并提高曝光的分辨率。
金属导线制造方法

[发明专利]去除光致抗蚀剂后残留物质的清除方法-CN00118797.X无效
发明人：张宏隆;龚明丽;吕泓岳;刘芳妃 -专利权人： 茂德科技股份有限公司;台湾茂矽电子股份有限公司;亿恒科技公司
申请日： 2000-06-27 - 公布日： 2002-01-09 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：本发明提供一种去除光致抗蚀剂后残留物质的清除方法,适用于金属图案或是接触孔图案的限定,在进行蚀刻与剥除光致抗蚀剂步骤之后,利用磁场加强型反应离子蚀刻法清除残留物质,其反应条件如下以含氟与氧的气体当作反应气体、采用10～50mtorr的压力、采用20～100高斯的磁场。根据本发明的光致抗蚀剂后残留物质的清除方法,能够有效地去除残留物质,并且减少金属腐蚀的可能性以及避免缺陷产生。
去除光致抗蚀剂后残留物质清除方法

首页
«上一页
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
共 199 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top