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[发明专利]结构色显示器件及其制作方法-CN202310730730.6在审
发明人：潘如豪;李俊杰;耿广州;李晨圣 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G09F9/30 文献下载
摘要：本发明提供一种结构色显示器件的制作方法、制作装置以及结构色显示器件，该方法包括在测试衬底层上制作多个纳米柱阵列单元以获得纳米柱的高度、线宽和周期与显示颜色对应的加工参数表；确定目标图像的每个像素对应的结构色，由此根据加工参数表确定与每个像素对应的纳米柱阵列单元的加工量；在目标衬底层上制作超表面层以制成显示目标图像的结构色显示器件。该方法通过对纳米柱阵列单元高度、线宽与周期的多维控制，从而扩展了像素颜色丰富度和控制精确度，同时大幅缩小了像素面积。
结构显示器件及其制作方法

[发明专利]微纳米尺寸的灰度显示器件及其加工方法-CN202310730714.7在审
发明人：潘如豪;李俊杰;耿广州;李晨圣 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种微纳米尺寸的灰度显示器件及其制作方法，灰度显示器件包括衬底和布置在衬底上的高度梯度纳米结构，高度梯度纳米结构包括显示单元，其包括多个衬底上的纳米柱；其中显示单元能够接收外部入射信号并以一定占空比反射以使显示单元呈现相应的灰度显示，其中占空比至少部分地根据显示单元的高度确定；所述方法包括将制备件通过电子束曝光方法按照预定深度梯度曝光光刻胶涂层；将其显影以形成光刻胶纳米孔；由介质材料层填充光刻胶纳米孔；剥离形成光刻胶模板‑介质材料薄膜；转移到所述目标衬底并形成灰度显示器件。本发明的灰度显示器件具有像素尺寸小、灰度显示阶次多、超高分辨率的优点。
纳米尺寸灰度显示器件及其加工方法

[发明专利]具有亚波长结构的超宽带吸波器及其制备方法和应用-CN202210717641.3有效
发明人：李俊杰;李晨圣;潘如豪;耿广州;郭海明 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种具有亚波长结构的超宽带吸波器，其包括：衬底；位于所述衬底之上的反射层；位于所述反射层之上的第一吸收层；位于所述第一吸收层之上的第二吸收层；其中，所述第一吸收层为薄膜结构，并且所述第二吸收层具有由锗锑碲合金形成的亚波长结构。本发明还提供制备本发明的吸波器的方法。本发明还提供本发明的具有亚波长结构的超宽带吸波器或者本发明的方法制得的具有亚波长结构的超宽带吸波器在光电器件中的应用。本发明的吸波器既具有高的光吸收效率又具有宽的吸收带。本发明的吸波器不依赖入射电磁波的偏振状态，对于TE波、TM波以及非偏振光，均能实现完美吸收。本发明的吸波器对于大角度入射的电磁波，也能保持较高的吸收率。
具有波长结构宽带吸波器及其制备方法应用

[发明专利]具有复合薄膜结构的相变存储器件及其制备方法-CN202211228323.7在审
发明人：李俊杰;李晨圣;潘如豪;郭海明 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H10N70/20 文献下载
摘要：本发明提供一种具有复合薄膜结构的相变存储器件，其包括：衬底、位于所述衬底之上的反射层、位于所述反射层之上的第一保护层、位于所述第一保护层之上的介质层、位于所述介质层之上的第二保护层、位于所述第二保护层之上的半透明半反射层，以及任选的位于所述半透明半反射层之上的第三保护层。本发明还提供制备本发明的具有复合薄膜结构的相变存储器件的方法。本发明的相变存储器件可以实现三进制和二进制信息的存储，具有较高的信息存储密度和存储寿命。
具有复合薄膜结构相变存储器件及其制备方法