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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]多周期晶圆清洁方法-CN201510770505.0有效
发明人：蔡颖颉;周柏玮;高世兴;杨世贤;李姿旻;俞台勇;练文政 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2015-11-12 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体制造中清洁晶圆的方法。该方法包括提供晶圆。该方法进一步包括通过顺序供给清洁溶液，以及供给与净化气体混合的第一清洗液，在第一清洁周期中清洁晶圆。该方法也包括通过顺序供给清洁溶液和与净化气体相混合的第二清洗液，在第二清洁周期中清洁晶圆。在第一清洁周期完成之后启动第二清洁周期。本发明还提供了多周期晶圆清洁方法。
周期清洁方法

[发明专利]多阻障板-CN201711293100.8在审
发明人：林秉泽;林群智;练文政;何亦晨 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种多阻障板，包括具有实质上平坦的上表面及实质上平坦的下表面的板、形成在板中并且从板的上表面延伸穿过至下表面的多个窗、以及安装在板上的多个蒸气阻障，这些蒸气阻障的各个蒸气阻障配置以防止蒸气穿过这些窗中的一对应窗。多阻障板包括形成在板中的孔，孔沿着对应于上表面的轴与多个窗的第一窗对准。
上表面多个窗下表面平坦延伸穿过从板对准穿过配置

[发明专利]快速热退火的方法-CN03123664.2有效
发明人：张耀元;周世良;李若玺;林宗德;曾国佑;练文政 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2003-05-12 - 公布日： 2004-11-24 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明是关于一种快速热退火的方法，其制程是在快速热退火装置中对一晶圆进行第一快速热退火步骤，并监测一制程参数，判断该制程参数的实测值是否超出一第一制程参数范围，其中第一制程参数范围是为第一快速热退火制程正常进行时的制程参数加减一第一预定数值，接着进行一第二快速热退火步骤，并监测该制程参数，判断制程参数的实测值是否超出一第二制程参数范围，其中该第二制程参数范围是为此制程参数加减一第二预定数值，且第一制程参数范围大于第二制程参数范围。本发明制程能够在快速热退火步骤的初期检测出该快速热退火制程的制程稳定性；并能够在热退火制程不稳定时，在快速热退火步骤的初期就停止快速热退火制程，而可避免晶圆报废。
快速退火方法

[发明专利]沉积温度的检测方法-CN03101847.5有效
发明人：周世良;吴琮钦;林宗德;洪天爵;曾国佑;练文政 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2003-01-22 - 公布日： 2004-08-11 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种沉积温度的检测方法，适用于检测化学气相沉积机台的反应室的沉积温度，包括：于反应室中置入待沉积物；于待沉积物上形成金属硅化物层；测量金属硅化物层的硅/金属原子比；以及将硅/金属原子比代入硅/金属原子比对温度的关系式以求得沉积温度。通过上述方法可实时检测并监控机台的沉积温度。
沉积温度检测方法

[发明专利]浅沟渠隔离结构的制造方法-CN03101848.3有效
发明人：林宗德;王啸刚;洪天爵;周世良;练文政 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2003-01-22 - 公布日： 2004-08-11 - 主分类号： H01L21/76 文献下载
摘要：一种浅沟渠隔离结构的制造方法，此方法提供一基底，并于基底上已依序形成有垫氧化层、罩幕层与第一沟渠，接着于第一沟渠内与基底上形成绝缘层以填满第一沟渠，且在第一沟渠上方的绝缘层具有第二沟渠。然后，于绝缘层上形成共形的帽盖层，且在第二沟渠上方的帽盖层具有第三沟渠，再于帽盖层上形成反转罩幕以覆盖第三沟渠，接着移除反转罩幕之外的帽盖层与绝缘层至暴露出罩幕层表面，再移除反转罩幕。其后移除残留的帽盖层与沟渠外的残留的绝缘层至暴露出罩幕层表面，再移除罩幕层及垫氧化层。
沟渠隔离结构制造方法

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