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[发明专利]扫描型探针显微镜-CN202110422491.9有效
发明人： 繁野雅次;渡边和俊;山本浩令 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本发明提供扫描型探针显微镜及其探针扫描方法。扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；判定部，其在所述分开动作中根据所述悬臂的振动的振幅的变化或所述振动的振动频率的变化判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
扫描探针显微镜

[发明专利]扫描型探针显微镜-CN202211464852.7在审
发明人： 繁野雅次;渡边和俊;山本浩令 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本发明提供扫描型探针显微镜，其使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；激振部，其在所述分开动作中使所述悬臂以谐振频率进行激振；判定部，其在所述分开动作中，根据所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的振动的相位与通过所述激振部进行激振的谐振频率的相位之间的相位差，判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
扫描探针显微镜

[发明专利]扫描型探针显微镜-CN202211464524.7在审
发明人： 繁野雅次;渡边和俊;山本浩令 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本发明提供扫描型探针显微镜，其使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；激振部，其在所述分开动作中使所述试样和所述悬臂以规定的频率相对振动；判定部，其在所述分开动作中根据所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的所述规定的频率的振幅的变化判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
扫描探针显微镜

[发明专利]探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法-CN202110687515.3在审
发明人：小野田有吾;繁野雅次;上野利浩 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明提供一种探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法。能够缩短光轴调整时间。探针显微镜(1)具有悬臂(3)、第一激光器(11)、照相机(25)、无限远光学系统(PL)、第一转动部(31)以及控制部(35)。无限远光学系统(PL)形成于悬臂(3)与照相机(25)之间，供第一激光(D1)入射。第一转动部(31)使第一激光器(11)转动，使第一激光(D1)相对于无限远光学系统(PL)的第一入射角变化。控制部(35)根据在无限远光学系统(PL)中由所述第一激光(D1)产生的第一幻影光的第一幻影光像的位置，在照相机(25)拍摄的图像中取得第一激光(D1)的第一激光像的位置。控制部(35)驱动移动机构(30)和第一转动部(31)中的至少一方使得第一激光像的位置接近悬臂(3)的规定位置。
探针显微镜以及光轴调整方法

[发明专利]扫描型探针显微镜及其扫描方法-CN201810182105.1有效
发明人： 繁野雅次;渡边和俊;山本浩令 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其能够提高试样表面的凸凹形状的测定效率。该扫描型探针显微镜具有：悬臂，在其前端具有探针；驱动部，其从所述探针与试样表面接触的状态起以超过所述悬臂的响应速度的速度进行使所述试样向从所述探针分开的方向动作的分开动作；判定部，其在所述分开动作中，在该悬臂的(包含高阶频率的)谐振频率下检测到所述悬臂的规定振幅的振动的情况下，判定为所述探针相对于所述试样表面分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
扫描探针显微镜及其方法

[发明专利]扫描型探针显微镜以及设定方法-CN202110284276.7在审
发明人： 繁野雅次;山本浩令;鹿仓良晃;比嘉邦人 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明提供扫描型探针显微镜以及设定方法。提供有助于测定时间的缩短的扫描型探针显微镜以及设定方法。扫描型探针显微镜具备：移动驱动部，其使所述悬臂与所述试样至少能够在Z方向上相对地进行移动；以及控制装置，其通过对所述移动驱动部进行控制而执行使所述悬臂与所述试样以规定的速度接近的接近动作，并在判定为所述探针和所述试样已接触的情况下，使所述接近动作停止，所述规定的速度被设定为，在执行了使所述接近动作停止的控制时，因所述探针与所述试样的接触而对所述试样施加的力不超过预先设定的第1力。
扫描探针显微镜以及设定方法

[发明专利]三维微动测定装置-CN201510397370.8有效
发明人： 繁野雅次;渡边和俊;渡边将史 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2015-07-08 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本发明提供一种三维微动装置，其利用在相比于移动体的微动相对不动的基体部或粗动部上固定的移动量检测单元直接检测固定有悬臂等移动体的固定部件的三维位置，由此能够简易且正确地测定固定部件以至移动体的位置。该三维微动装置(200A)具备：移动体(1)；固定部件(101)，所述移动体固定在该固定部件上；三维微动部(111)，所述固定部件固定在该三维微动部上，该三维微动部能够隔着该固定部件使移动体三维地微动；基体部(13)，三维微动部固定在该基体部上；以及移动量检测单元(130)，其固定于基体部来检测固定部件的移动量。
三维微动测定装置

[发明专利]扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法-CN201710178412.8有效
发明人： 繁野雅次;渡边和俊;渡边将史;山本浩令;茅根一夫 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其在探针接触的试样表面是斜面的情况下能改善检测出探针与试样表面的接触的压接力的值相比于水平面产生变化的现象。该扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用上述探针扫描上述试样表面，具备：悬臂，其在前端具有上述探针；位移检测部，其检测上述悬臂的挠曲量和扭曲量；以及接触判定部，其根据由上述位移检测部检测到的无变形的悬臂中的全方位的挠曲量和扭曲量，判定上述探针对于上述试样表面的一次接触。
扫描探针显微镜及其接触检测方法

[发明专利]扫描型探针显微镜及其扫描方法-CN201910226947.7在审
发明人： 繁野雅次;山本浩令;渡边和俊 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： G01Q10/00 文献下载
摘要：本发明提供扫描型探针显微镜及其扫描方法。在进行间歇测定方法时，避免探针和试样表面相互成为过负荷，并且缩短试样表面的凸凹形状的测定时间。扫描型探针显微镜具有安装有探针的悬臂，通过使所述探针与试样表面间歇地接触而对所述试样表面进行扫描，其中，所述扫描型探针显微镜具有控制装置，该控制装置进行使所述探针和所述试样表面接触的第1动作、以及在所述第1动作后使所述探针和所述试样表面分离的第2动作，所述控制装置通过使所述悬臂进行热变形来执行所述第2动作。
试样表面探针探针显微镜扫描型控制装置扫描悬臂间歇测定凸凹形状过负荷热变形

[发明专利]悬臂的振动特性测定方法以及悬臂的振动特性测定装置-CN201510110234.6有效
发明人： 繁野雅次;鹿仓良晃 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G01Q20/02 文献下载
摘要：本发明提供悬臂的振动特性测定方法以及悬臂的振动特性测定装置，不依据Q曲线的测定条件就能够高精度地测定扫描型探针显微镜的悬臂的振动特性即Q值。该悬臂的振动特性测定方法测定对扫描型探针显微镜(200)的悬臂(1)施加谐振频率f1(Hz)的振动时的该悬臂的振动振幅V，求出振动振幅V成为稳定振幅V0的0.90以上时的时间Th(秒)，利用下式1来算出Q值：Q值＝f1×Th (1)。
悬臂振动特性探针显微镜测定装置振动振幅扫描型测定条件稳定振幅谐振频率施加

[发明专利]致动器的位置计算装置和位置计算方法-CN201410109862.8有效
发明人： 繁野雅次;胁山茂;渡边将史;渡辺和俊 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2014-03-24 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本发明提供一种致动器的位置计算装置和位置计算方法，即使移动量检测传感器的分辨率比移动机构的最小移动量小，也可以高精度地计算移动机构的位置，可以实现致动器的成本降低。具有与每最小移动量ΔM生成的控制信号Ma～Mc、M0～M11成比例地朝一个方向移动的移动机构和以最小分辨率ΔS（其中，Ａ＝ΔＳ／ΔＭ≥2）检测移动机构的移动量的移动量检测传感器的致动器的位置计算装置具有位置计算单元，其在设移动机构的目标位置处的控制信号为M0且设传感器信号为S0时，根据传感器信号为（Ｓ0＋ｍ×ΔＳ）或者（Ｓ0－ｍ×ΔＳ）的时刻T1时的控制信号（其中，m是1以上的自然数）计算在目标位置处的移动机构的位置SA。
致动器位置计算装置计算方法

[发明专利]软化点测定装置及热传导测定装置-CN201410217170.5有效
发明人：安藤和德;岩佐真行;繁野雅次;百田洋海;渡边和俊 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2010-08-12 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： G01N25/04 文献下载
摘要：提供一种软化点测定装置及热传导测定装置，以在使用具有发热部的悬臂来对样品局部加热以测定样品的软化点或热传导时，通过仅在探针与样品的接触部进行热交换，不给测定点的周边部带来热影响，而可以进行仅在接触部的软化点测定及热传导测定。在以探测显微镜为基础的局部的软化点测定装置及热传导测定装置中，通过使探针和样品面的环境为1/100气压（103Pa）以下、或者将探针侧面由绝热材料涂敷至热逃逸为1/100以下的厚度，降低来自探针侧面的热逃逸，仅在大约探针与样品面的接触部进行热交换。
软化测定装置热传导

[发明专利]悬臂的振动特性测定方法-CN201210080424.4有效
发明人： 繁野雅次;鹿仓良晃 -专利权人：精工电子纳米科技有限公司
申请日： 2012-03-23 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： G01Q40/00 文献下载
摘要：悬臂的频率/振动特性检测需要长时间，由此，存在设定测定条件时产生误差的问题。并且，可能产生一次谐振频率的检测错误。为此，本发明提供一种悬臂的振动特性测定方法，其特征在于，由施振信号发生器在包含悬臂的谐振频率的范围的频带中发生往复的高速扫频信号，使悬臂振动，计测去路和回路各自的振幅最大值的频率，检测其中间值作为悬臂的谐振频率。进而，通过在检测一次谐振频率时确认是否存在6.3倍的二次谐振频率，能够将谐振频率的检测错误防患于未然。
悬臂振动特性测定方法

[发明专利]软化点测定装置及热传导测定装置-CN201010258421.6有效
发明人：安藤和德;岩佐真行;繁野雅次;百田洋海;渡边和俊 -专利权人：精工电子纳米科技有限公司
申请日： 2010-08-12 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： G01N25/04 文献下载
摘要：提供一种软化点测定装置及热传导测定装置，以在使用具有发热部的悬臂来对样品局部加热以测定样品的软化点或热传导时，通过仅在探针与样品的接触部进行热交换，不给测定点的周边部带来热影响，而可以进行仅在接触部的软化点测定及热传导测定。在以探测显微镜为基础的局部的软化点测定装置及热传导测定装置中，通过使探针和样品面的环境为1/100气压(103Pa)以下、或者将探针侧面由绝热材料涂敷至热逃逸为1/100以下的厚度，降低来自探针侧面的热逃逸，仅在大约探针与样品面的接触部进行热交换。
软化测定装置热传导

[发明专利]振动型悬臂支架和扫描探针显微镜-CN200610164651.X有效
发明人： 繁野雅次;伊与木诚人 -专利权人：精工电子纳米科技有限公司
申请日： 2006-11-10 - 公布日： 2007-05-16 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：一种用于固定与样品相对的悬臂的振动型悬臂支架，其仅在其底端处被支撑在主体部分上并在其前端上具有探针。该支架包括：悬臂附着台，主体部分放置在其上并且利用相对于样品以预定角度倾斜的悬臂来固定；第一振动源，其被固定到悬臂附着台并以依赖于预定波形信号的相位和幅度振动；支架主体，第一振动源被固定到该支架主体；和第二振动源，其被固定到支架主体上的至少一个位置并产生振动以抵消从第一振动源行进到悬臂附着台和支架主体的振动。通过抵消另外的振动，根据仅仅悬臂的振动特性该支架允许该悬臂振动。
振动悬臂支架扫描探针显微镜

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