[发明专利]扫描型探针显微镜以及设定方法在审

专利信息
申请号: 202110284276.7 申请日: 2021-03-17
公开(公告)号: CN113495171A 公开(公告)日: 2021-10-12
发明(设计)人: 繁野雅次;山本浩令;鹿仓良晃;比嘉邦人 申请(专利权)人: 日本株式会社日立高新技术科学
主分类号: G01Q60/00 分类号: G01Q60/00
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 崔成哲;黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供扫描型探针显微镜以及设定方法。提供有助于测定时间的缩短的扫描型探针显微镜以及设定方法。扫描型探针显微镜具备:移动驱动部,其使所述悬臂与所述试样至少能够在Z方向上相对地进行移动;以及控制装置,其通过对所述移动驱动部进行控制而执行使所述悬臂与所述试样以规定的速度接近的接近动作,并在判定为所述探针和所述试样已接触的情况下,使所述接近动作停止,所述规定的速度被设定为,在执行了使所述接近动作停止的控制时,因所述探针与所述试样的接触而对所述试样施加的力不超过预先设定的第1力。
搜索关键词: 扫描 探针 显微镜 以及 设定 方法
【主权项】:
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  • 傅强;谭大力;包信和 - 中国科学院大连化学物理研究所
  • 2019-11-18 - 2021-05-18 - G01Q60/00
  • 本发明公开了一种扫描化学反应显微成像的方法及应用,属于材料测试仪器技术领域。利用可以精确扫描和定位的中空纳米探针进行样品表面化学反应物种的微区采样,结合采样物种的精准转移和高灵敏质谱探测分析,实现固体表面化学反应性能的显微成像研究。该系统包括中空纳米探针精确定位和扫描功能、中空纳米探针的微区采样功能、微区采样的精准转移功能、高效和高选择性采样物种的电离功能、高灵敏和高分辨离子分析和探测功能、样品表面环境和反应气氛控制功能。这是一种对表面化学反应物种包括原子、分子、自由基等在表面X、Y、Z三个维度上的分布进行空间分辨探测的方法,实现具备几百到几十纳米分辨的表面或界面化学反应性能的显微成像功能。
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