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[发明专利]一种晶圆膜厚测量方法和化学机械抛光设备-CN202310820146.X在审
发明人：路新春;窦华成;田芳馨;王同庆 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆膜厚测量方法和化学机械抛光设备，所述晶圆膜厚测量方法包括：在抛光初始阶段采集反射光谱，获取所述反射光谱的光谱波峰或者波谷的数量；依据所述光谱波峰或者波谷的数量，选择使用FFT算法或光谱拟合算法解算晶圆膜厚。
一种晶圆膜厚测量方法化学机械抛光设备

[发明专利]一种用于CMP的光学测量装置和化学机械抛光设备-CN202310820151.0在审
发明人： 窦华成;田芳馨;王同庆 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于CMP的光学测量装置和化学机械抛光设备，所述光学测量装置包括：在线光学测量组件和参考光学测量组件，所述在线光学测量组件包括用于测量晶圆的非金属膜厚的第一光学传感器和第一窗口，所述参考光学测量组件包括用于获得校准光强的第二光学传感器、第二窗口、校准片和遮挡组件。
一种用于 cmp 光学测量装置化学机械抛光设备

[实用新型]一种化学机械抛光系统-CN202321060845.0有效
发明人： 窦华成;田芳馨;王同庆 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种化学机械抛光系统，包括：前置单元，其内部储存有晶圆；设备主体，用于对晶圆进行抛光作业；机械手，在所述前置单元与所述设备主体之间进行交互以传递晶圆；前值量测单元，用于在晶圆传递过程中对抛光前的晶圆的厚度进行量测；后值量测单元，用于在晶圆传递过程中对抛光后的晶圆的厚度进行量测。本实用新型将晶圆厚度量测模块集成于化学机械抛光系统中，在晶圆传输过程中即可实现抛光前后晶圆表面的膜层厚度的实时量测，依据历史晶圆抛光前后表面沉积层厚度的变化关系以及下一片来料初始厚度对抛光工艺进行调整。
一种化学机械抛光系统

[发明专利]用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法-CN202310505303.8在审
发明人： 窦华成;李丹;吴英明;田芳馨;王同庆 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本公开提供一种用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法，其中，测量方法用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪。测量仪包括：承载盘，用于承载晶圆，其中，晶圆的上表面覆盖金属薄膜；电涡流传感器，设置在承载盘的上方，配置成利用涡流效应在晶圆的金属薄膜内激发涡流磁场，并且检测涡流磁场的强度以产生对应的输出信号；以及测距传感器，设置在承载盘的上方，用于测量电涡流传感器距离晶圆的提离高度。测量方法包括：在承载盘承载待检测晶圆时，分别获取电涡流传感器产生的目标输出信号以及测距传感器测量到的目标提离高度；以及根据目标输出信号以及目标提离高度确定待检测晶圆的金属薄膜的厚度。
用于金属薄膜厚度测量仪测量方法

[发明专利]一种化学机械抛光系统-CN202310500740.0在审
发明人： 窦华成;田芳馨;王同庆 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种化学机械抛光系统，包括：前置单元，其内部储存有晶圆；设备主体，用于对晶圆进行抛光作业；机械手，在所述前置单元与所述设备主体之间进行交互以传递晶圆；前值量测单元，用于在晶圆传递过程中对抛光前的晶圆的厚度进行量测；后值量测单元，用于在晶圆传递过程中对抛光后的晶圆的厚度进行量测。本发明将晶圆厚度量测模块集成于化学机械抛光系统中，在晶圆传输过程中即可实现抛光前后晶圆表面的膜层厚度的实时量测，依据历史晶圆抛光前后表面沉积层厚度的变化关系以及下一片来料初始厚度对抛光工艺进行调整。
一种化学机械抛光系统

[发明专利]一种高速公路改扩建勘测方法-CN201210154490.1有效
发明人： 窦华成;邓世军;江宇;李建平;王国飞;李新武;何航;程三胜;闫继扬;李文棋;陈春明;周泽兵 -专利权人：天津市星际空间地理信息工程有限公司
申请日： 2012-05-17 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： G01C5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高速公路改扩建勘测方法，涉及测绘和公路工程设计领域，布设地面靶标控制点，获取三维空间坐标；进行车载移动激光扫描测量，获取车载测量原始数据成果；以地面靶标控制点的三维空间坐标为参考，对车载测量原始数据成果中的车载点云进行数据处理，获取高精度车载地面点云；对高精度车载地面点云构建第一三角网，生成高速公路路面数字高程模型；进行测区机载LIDAR航测，获取机载测量原始数据成果；根据机载测量原始数据成果获取1∶2000比例尺数字高程模型和高精度中桩横断面图；以机载测量原始数据成果为基础，通过集成机载地面点云和数码航片进行高速公路两侧各300米范围内1∶2000比例尺数字线划图的制作。
一种高速公路扩建勘测方法

[发明专利]一种数字线划图测图方法-CN201110009483.8有效
发明人： 窦华成;邓世军;江宇;李建平;王力;程良勇 -专利权人：天津市星际空间地理信息工程有限公司
申请日： 2011-01-17 - 公布日： 2011-08-10 - 主分类号： G01C11/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种数字线划图测图方法，涉及测绘遥感领域，通过机载LIDAR设备校验飞行，实现对设备参数检校；根据机载LIDAR点云生成原理建立点云数据误差模型，根据整体平差获取参数改正值，实现对点云数据精度整体优化，获取精度优化后点云；进行地面和建筑物的滤波分类处理，获取地面点云和建筑物点云，根据地面点云构建数字地面模型；根据数字地面模型和POS辅助定位信息对航片进行空三加密，实现对航片定位定姿数据精度的整体优化，获取精度优化后的航片；精度优化后的点云和航片进行精确匹配；构建点云和航片融合模式测图环境，在融合模式测图环境下实现对矢量线划的半自动提取及剩余地物要素的全手工提取，生成数字线划图产品。
一种数字线划图测图方法

[发明专利]一种城市部件自动化测量方法-CN201110001906.1有效
发明人： 窦华成;邓世军;江宇;王力;程良勇 -专利权人：天津市星际空间地理信息工程有限公司
申请日： 2011-01-06 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： G01S17/89 文献下载
摘要：本发明公开了一种城市部件自动化测量方法，属于激光雷达测量领域，包括：采用车载激光雷达测量设备，对城市街道及城市街道两侧进行高密度的外业扫描和相机拍照，获取原始激光扫描点云数据和数码照片数据；对原始激光扫描点云数据进行滤波分类处理，获取城市部件点云数据；采用自适应空间聚类分析手段，对城市部件点云数据进行类别细分处理，获取同一物体点云集数据；根据同一物体点云集数据进行规则几何形状的三维数字化模拟与重构，计算出城市部件平面几何中心位置，将城市部件平面几何中心位置作为城市部件平面测量坐标值；将数码照片数据和同一物体点云集数据进行叠加，根据城市部件平面测量坐标值在属性库中对相应的点位值进行信息标注。
一种城市部件自动化测量方法

[发明专利]一种高精细城市三维建模方法-CN201110001883.4有效
发明人： 窦华成;邓世军;江宇;王国飞;王力;程良勇 -专利权人：天津市星际空间地理信息工程有限公司
申请日： 2011-01-06 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： G06T17/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精细城市三维建模方法，涉及三维数字城市建设领域，采用机载LIDAR获取原始航测数据成果，在此基础上制作城市高精度的数字高程模型、数字正射影象和建筑物三维体框模型，形成城市三维场景的基础框架；再次，通过车载移动激光扫描设备获取车载移动激光扫描原始数据成果，在三维建模环境下，根据地物参数模型库，进行精度优化后车载点云和照片融合模式下的地物高精细三维建模，获取城市各类小品地物高精细模型；对城市三维场景的基础框架和城市各类小品地物高精细模型进行集成，获取城市高精细的三维虚拟城市场景。该方法提高了生产效率、降低了项目成本、缩短了开发周期以及提高了建模精细度，满足了实际应用需要。
一种精细城市三维建模方法

[发明专利]一种数字城市模型库的构建与调度方法-CN201110001909.5有效
发明人： 窦华成;邓世军;程良勇;韩晓晖;王永杰;王力;江宇 -专利权人：天津市星际空间地理信息工程有限公司
申请日： 2011-01-06 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： G06T17/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种数字城市模型库的构建与调度方法，涉及测绘与地理信息系统领域，获取城市原始的点云和航片数据，根据获取到的点云和所述航片数据，按照标准比例尺图幅范围进行分幅三维模型建设，获取各分幅三维模型；对各分幅三维模型进行内容划分，获取分层的各分幅三维模型；将分层的各分幅三维模型数据按照第一预设规则进行分块，生成原始模型库；对原始模型库中的数据进行分级处理，获取分级后模型；对分级后模型按照第三预设规则进行命名，并对命名后的分级后模型进行入原始模型库管理，生成第二模型库；对第二模型库进行分页调度、浏览与应用。本发明实现了数字城市高精度海量数据模型的大范围流畅浏览与应用。
一种数字城市模型库构建调度方法

[发明专利]一种测算经营性土地收购成本的计算器及其控制方法-CN201110001884.9无效
发明人： 窦华成;邓世军;王力;江宇;程良勇 -专利权人：天津市星际空间地理信息工程有限公司
申请日： 2011-01-06 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： G06F15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种测算经营性土地收购成本的计算器及其控制方法，属于3S技术领域，包括：PDA、无线通讯模块、发送模块、计算模块和接收模块，PDA进行踏勘路径跟踪，获取购地范围，通过无线通讯模块和发送模块将购地范围发送给计算模块；计算模块接收购地范围并进行计算，生成土地收购的总费用和经营性土地收购各项费用的明细表，PDA通过无线通讯模块和接收模块接收计算模块发送的土地收购的总费用和经营性土地收购各项费用的明细表，并在显示屏上显示。通过该计算器及其控制方法，可以在踏勘现场实时、快速和自动计算出土地收购成本，节省了大量的内业计算工作；明显降低了现场踏勘工作强度以及提高了计算结果的准确度。
一种测算经营土地收购成本计算器及其控制方法

[发明专利]一种机载LIDAR单片模式下的数字线划图半自动测图方法-CN201010279245.4无效
发明人： 窦华成;邓世军;江宇;李建平;王力;王国飞 -专利权人：天津市星际空间地理信息工程有限公司
申请日： 2010-09-13 - 公布日： 2011-02-16 - 主分类号： G01S17/89 文献下载
摘要：本发明公开了一种机载LIDAR单片模式下的数字线划图半自动测图方法。在获取机载LIDAR航测原始成果并进行数据预处理后，构建激光点云集成模式下的航片单片测图环境，在人工辅助下通过高效的算法设计，实现建筑物、道路、水系、植被等地物要素的半自动测图，在航片单片模式下人工完成对剩余地物线划的绘制，并通过高密集的激光点云实现对等高线和高程注记点的自动提取，可提高数字线划图测图的质量和工作效率，大大降低项目开发成本。
一种机载 lidar 单片模式数字线划图半自动方法

[发明专利]一种集成机载LIDAR和车载移动激光扫描技术的高精细三维城市场景构建方法-CN201010279249.2无效
发明人： 窦华成;邓世军;江宇;李建平;王力;王国飞 -专利权人：天津市星际空间地理信息工程有限公司
申请日： 2010-09-13 - 公布日： 2011-02-16 - 主分类号： G06T17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成机载LIDAR和车载移动激光扫描测量技术的高精细城市三维建模方法。首先，采用机载LIDAR获取测区高精度的三维激光点云和高分辨率的数码航片，快速提取高精度的数字高程模型、数字正射影象产品，并进行建筑物的高精细建模，制作城市三维电子沙盘和三维建筑物体框模型场景；其次，采用车载移动激光扫描测量完成测区道路两侧城市场景的高密集激光点云和高分辨率数码照片获取，参考机载LIDAR成果进行车载数据质量优化，之后可对城市各类小品要素快速进行三维建模；最后，对机载LIDAR和车载移动激光扫描测量获取的三维数字模型成果进行集成，从而大大提高了城市三维建模的质量和工作效率，可大大降低项目开发成本。
一种集成机载 lidar 车载移动激光扫描技术精细三维城市场景构建方法

[发明专利]一种海量三维数字城市模型组织管理方法-CN201010279241.6无效
发明人： 窦华成;邓世军;程良勇;王力 -专利权人：天津市星际空间地理信息工程有限公司
申请日： 2010-09-13 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： G06F17/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种海量三维数字城市模型组织管理方法。按照城市大比例尺地形图分幅范围，以每一幅作为数据制作、存储和归档以及后期的更新单元；数据导入到数据库时，以数据范围进行四叉树分块，并使所有数据块文件小于一定的阈值；建立空间四叉树的数据索引结构，每一个节点记录包含该节点的外接立方体；在三维数据场景显示时，可以通过四叉树的节点索引方式快速判断节点的立方体是否满足当前视角和距离的显示要求，从而确保数据的一致性，便于数据更新与维护，提高了数据加载与显示的效率。
一种海量三维数字城市模型组织管理方法

[发明专利]一种建设项目快速选址方法-CN201010279242.0无效
发明人： 窦华成;邓世军;王力 -专利权人：天津市星际空间地理信息工程有限公司
申请日： 2010-09-13 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： G06Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种建设项目快速选址方法，综合考虑土地现状用途、开发利用强度、规划控制要求和土地权属四方面因素，在土地利用现状中自动搜索符合选址条件的地块或者地块组合，得到建设项目选址的备选方案，可提高建设项目选址结果与选址条件的符合度，有助于领导科学决策，在规划领域应用前景非常大。
一种建设项目快速选址方法

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