专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]单晶硅片的COP评价方法-CN200780021544.4有效
  • 稻见修一 - 上睦可株式会社
  • 2007-05-22 - 2009-06-24 - C30B29/06
  • 将作为评价对象的晶片的评价区域沿半径方向以同心圆状分割,设定各分割而成的评价区域的COP个数的上限值,以该上限值为基准进行单晶硅片的合格与否的判定,从而能定量并客观地评价COP,能在明确的基准下给予正确的判定。通过使用该评价方法,能充分适应COP评价(检检测)的自动化、未来晶片的高品质化,能在单晶硅片的制造、半导体器件的制造中得到广泛应用。
  • 单晶硅cop评价方法
  • [发明专利]单晶硅片的COP产生原因的判定方法-CN200780020983.3无效
  • 稻见修一 - 上睦可株式会社
  • 2007-05-22 - 2009-06-17 - C30B29/06
  • 将对象晶片的判定区域沿半径方向以同心圆状分割,求出各分割而成的判定区域的COP密度,将其中的最大值作为COP密度半径MAX,最小值作为COP密度半径MIN,将由“(COP密度半径MAX-COP密度半径MIN)/COP密度半径MAX”算得的值与预定的设定值比较,根据明确的基准来区分非结晶引起的COP和结晶引起的COP,可进行COP产生原因的判定。由此,能挽救是非结晶引起的COP却被判定为结晶引起的COP而成为不合格的晶片,能提高晶片的生产合格率。
  • 单晶硅cop产生原因判定方法

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