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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]光刻掩膜版缺陷的修复方法及光刻掩膜版-CN201910026204.5有效
发明人：王杰;秦学飞;薛粉;丛林娜 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G03F1/72 文献下载
摘要：一种光刻掩膜版缺陷的修复方法及光刻掩膜版，其中，光刻掩膜版缺陷的修复方法包括：提供基底，所述基底包括相互分立的第一区和第二区，所述基底表面具有掩膜版；在所述第一区的掩膜版内，形成第一开口，所述第一开口的底部暴露出基底的顶部表面；在所述第一开口的侧壁形成第一保护层；形成所述第一保护层之后，在所述第二区的掩膜版内形成第二开口，所述第二开口底部暴露出基底的顶部表面。所述方法对光刻掩膜版缺陷的修复效果较好。
光刻掩膜版缺陷修复方法

[发明专利]掩膜版修复方法及掩膜版-CN202011429542.2在审
发明人： 秦学飞;李德建;田明静;陈明;卢聪 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G03F1/72 文献下载
摘要：一种掩膜版修复方法及掩膜版，其中，修复方法包括：形成掩膜版，所述掩膜版包括透光基板和遮光层，所述透光基板包括透光区和遮光区，所述遮光层位于所述遮光区表面并暴露出所述透光区的透光基板表面，所述透光区的透光基板表面具有凹坑；在所述凹坑内形成透光修复层。通过在所述凹坑内形成透光修复层，增加了在透光区的凹坑及周围处的透光率，提高了曝光工艺中转移的图形精度。
掩膜版修复方法

[发明专利]掩膜版、掩膜版缺陷修复方法、掩膜版的使用方法以及半导体结构-CN201910753709.1在审
发明人： 秦学飞;王杰;薛粉;凌文君;李德建 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2019-08-15 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： G03F1/72 文献下载
摘要：一种掩膜版、掩膜版缺陷修复方法、掩膜版的使用方法以及半导体结构，其中掩膜版缺陷修复方法包括：提供基底，所述基底包括第一区和包围所述第一区的第二区，所述基底表面具有遮光膜；对所述遮光膜进行一次以上第一刻蚀，形成遮光层，所述遮光层内具有开口，且所述开口暴露出第一区表面；所述第一刻蚀包括：在所述遮光膜表面形成保护层；对所述第一区上的保护层和遮光膜进行第一电子束刻蚀工艺。所述方法降低掩模版缺陷的修复成本的同时，能够减小刻蚀偏差，提高掩膜缺陷修复成功率。
掩膜版缺陷修复方法使用方法以及半导体结构

[发明专利]一种pH敏感型无机高聚物杂化水凝胶的制备方法-CN201210460744.2有效
发明人：倪才华;王诗卉;张秀丽;秦学飞;许升;李世尧 -专利权人：江南大学
申请日： 2012-11-16 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： C08F222/14 文献下载
摘要：本发明是制备一种pH敏感型无机/高聚物杂化水凝胶。首先将八-氨丙基笼型齐聚倍半硅氧烷(POSS-NH₂)与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应，引入功能化双键，再与甲基丙烯酸-N，N-二甲氨基乙酯(DMAEMA)进行共聚合，共聚与交联反应同时发生，一步法合成了无机/聚合物杂化水凝胶。在制得的杂化水凝胶中，其中无机纳米粒子POSS在体系中分布均匀，由于其纳米效应，使得杂化水凝胶比起均聚的DMAEMA水凝胶力学强度增加，具有酸敏感性。本发明所制备的水凝胶用做药物载体，具有载药率高、突释效应弱、能够通过聚合物的pH敏感性进行控制释放。
一种 ph 敏感无机高聚物杂化水凝胶制备方法

[发明专利]一种新型烷基笼型倍半硅氧烷纳米杂化物的制备及其应用-CN201110335297.3无效
发明人：倪才华;丁一;王诗卉;张秀丽;秦学飞;许升;李世尧 -专利权人：江南大学
申请日： 2011-10-28 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： C07F7/21 文献下载
摘要：本发明在碱性溶液中制备了一种新型的烷基化笼型倍半硅氧烷杂化物，该杂化物分子直径有1-2纳米。分子中心具有立方的笼型结构，八个顶点连接有丙氨基与异辛基缩水甘油醚开环加成的产物。该杂化物呈强疏水性。将杂化物通过乳化和高速搅拌法分散到1.5w％的海藻酸纳水溶液中，然后滴入到3％的氯化钙水溶液中，制得纳米杂化物改性的海藻酸纳水凝胶。所得到的改性水凝胶比起纯粹海藻酸纳水凝胶，力学强度、稳定性增强，用作药物载体时，疏水性药物包埋率增加，药物释放速度变缓。
一种新型烷基笼型倍半硅氧烷纳米杂化物制备及其应用

[实用新型]铣边机铣削头角度调节装置-CN201020690557.X有效
发明人：韩军;杨冰;何建超;秦学飞 -专利权人：北京广厦环能科技有限公司
申请日： 2010-12-21 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： B23C9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种铣边机铣削头角度调节装置，其包括箱体，所述箱体内设置有减速电动机，所述减速电动机的动力输出端连接设置于箱体下方的铣削头，所述箱体通过连接板固定于扇形齿条之上，配合扇形齿条设置有丝杠，所述扇形齿条和丝杠设置于安装板之上，所述安装板组装于传动箱上，所述传动箱内设置有与扇形齿条连接的蜗轮蜗杆，上述铣边机铣削头角度调节装置将设置有铣削头的箱体通过连接板固定于扇形齿条之上，通过蜗轮蜗杆对铣削头进行角度调节，不仅结构简单，调整操作简单；而且调整角度范围大，通用性好。
铣边机铣削角度调节装置

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