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[发明专利]一种芯片夹具、芯片清洗装置及芯片刻蚀装置-CN202110139329.6有效
发明人： 王东铭;许忠晖;陈嘉勇 -专利权人：泉芯集成电路制造(济南)有限公司
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片夹具、芯片清洗装置及芯片刻蚀装置，涉及芯片制造技术领域。芯片夹具包括支撑平台以及设置在支撑平台上的多个卡盘，多个卡盘围合形成了芯片的固定空间，芯片的边缘同时与多个卡盘的侧壁接触以固定在固定空间内，芯片与支撑平台之间存在间隙。芯片被多个卡盘的侧壁共同卡紧在固定空间内并与下方的支撑平台间存在一定的距离。卡盘的侧壁仅与芯片的边缘接触，同时，芯片的背面与支撑平台之间具有间隙，使得芯片的背面被完全暴露，不与其他物体接触。上述芯片夹具在进行芯片背面清洗或微刻蚀时，有效避免了芯片背面因被覆盖而产生水痕或刻蚀厚度不均匀的现象，提高了芯片的良品率。
一种芯片夹具清洗装置刻蚀

[实用新型]一种园林绿化用环保型育苗装置-CN202220433623.8有效
发明人：唐晓婷;王东铭;刘晶丽 -专利权人：唐晓婷
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： A01G9/029 文献下载
摘要：本实用新型涉及园林绿化技术领域，公开了一种园林绿化用环保型育苗装置，包括安装座，所述安装座的顶部安装有水箱，所述水箱的外侧连接有连接管，所述连接管的一端连接有安装架，所述安装架的底部安装有育苗喷头；本装置设置有转动自锁机构，可方便地完成连接板位置的固定，并能够辅助转动座和育苗座位置锁死，避免了育苗座停止浇灌后仍可能小幅度转动的情况，提升了放置稳定性并确保育苗正常进行；本装置设置有扶手机构，当扶手板安装在育苗座外侧时，可将扶手板的一端贯穿限位套，并可确保扶手板安装稳定，扶手板安装过程较为简单方便，且便于使用者推动扶手板并带动育苗座转动，达到了较为节省能源和较为环保的目的。
一种园林化用环保育苗装置

[实用新型]一种园林用具有护根功能的移栽装置-CN202220433585.6有效
发明人： 王东铭;刘晶丽;唐晓婷 -专利权人： 王东铭
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： A01G23/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及园林设备技术领域，公开了一种园林用具有护根功能的移栽装置，包括第一移栽保护套，所述第一移栽保护套的外侧铰接有第二移栽保护套；本装置设置有闭合机构，当使用者需要将第一移栽保护套和第二移栽保护套套在对应包裹有泥土的树根外侧时，可方便地完成第一移栽保护套与第二移栽保护套之间的固定，第一移栽保护套和第二移栽保护套能够对包裹有泥土的树根外侧进行保护，起到了具有护根功能的目的，便于移栽地进行，且可重复使用；本装置设置有收紧机构，当安装套套在对应树苗外侧后，防滑垫的一端贴合在松紧套的外侧，起到了对松紧套固定的作用，便于本装置与树干之间固定，操作简单方便。
一种园林用具有护根功能移栽装置

[实用新型]一种园林给排水用增压自动浇灌装置-CN202122884976.8有效
发明人： 王东铭 -专利权人： 王东铭
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： A01G25/09 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种园林给排水用增压自动浇灌装置，属于园林技术领域，其技术方案要点包括底板，所述底板底部的四角均固定连接有万向轮，所述底板的后侧固定连接有扶手，所述底板的顶部固定连接有第一连接杆，所述底板的内壁活动连接有固定销，所述固定销的数量为四个，所述底板顶部的前侧固定安装有供水机构；所述供水机构包括进水管、出水管、安装板、增压水泵和连接管，解决了现有的园林浇灌方式是使用者通过手动的方式，对园林中的植物进行浇灌，由于林园中的植物较多，在浇灌时非常的费时费力，浇灌的效率同样不佳，给使用者带来了一定的工作压力，影响了工作时的效率的问题。
一种园林排水增压自动浇灌装置

[实用新型]一种方便使用的样品均质装置-CN202122125353.2有效
发明人：朱伟志;王东铭;袁舟;吴曙霞;祝聪聪;黄苏庆 -专利权人：浙江公正检验中心有限公司
申请日： 2021-09-04 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B01F33/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种方便使用的样品均质装置，包括装置主体，装置主体内部前端有备用室、水箱室、废液室、干燥室、工具室和设备室，其中，设备室内部安装有变压器、变频器和蓄电瓶；装置主体前端上方设置有控制面板，装置主体上方位于控制面板的一侧设置有清洗槽，装置主体上方位于清洗槽的一侧安装有水龙头，装置主体上方可拆卸的安装有均质釜，本实用新型适用于均质装置，该装置通过在装置主体内设置备用室、水箱室、废液室、干燥室、工具室和设备室，以及在装置主体上方可拆卸的安装有均质釜，这样的结构设置使得该装置可以根据需要携带至实地进行均质采样，使用方便，功能齐全。
一种方便使用样品装置

[实用新型]一种硅片支撑装置及化学槽-CN202120485332.9有效
发明人： 王东铭;许忠晖;陈嘉勇 -专利权人：泉芯集成电路制造(济南)有限公司
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片支撑装置及化学槽，涉及硅片制造技术领域。硅片支撑装置包括相对设置的两个支撑导轨和设置在两个支撑导轨之间的升降导轨，两个支撑导轨的支撑面相对设置，支撑面上设有支撑槽，支撑槽的槽底呈弧形，支撑槽的槽底包裹硅片的边缘以对硅片进行支撑，升降导轨驱动硅片升降或在硅片承载于支撑槽内的状态下与硅片分离。上述硅片支撑装置的支撑导轨与硅片的接触较为紧密，有效减少了硅片在加工过程中的摆动，进而减少了硅片的损伤，也减少了硅片损伤对支撑导轨的损坏，另外，上述硅片支撑装置的升降导轨能够与硅片分离，减少了因硅片损伤造成的升降导轨的损坏。
一种硅片支撑装置化学

[实用新型]晶圆背面清洗装置-CN202022807121.0有效
发明人：许忠晖;王东铭;陈嘉勇;杨昱霖 -专利权人：泉芯集成电路制造（济南）有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆背面清洗装置，包括清洗室，所述清洗室内设置有一旋转件，所述旋转件的中部为能够全部露出晶圆背部的待清洗区域的镂空部，所述旋转件的上表面设置有用于承托并夹紧晶圆边缘的卡盘销；所述旋转件的下方至少设置有一组间隔分布且用于喷射清洗剂的喷嘴，同一组所述喷嘴的连线在所述晶圆背部的投影过所述晶圆的旋转中心，且所述投影至少有一端抵达所述晶圆背部的待清洗区域的边缘。本实用新型所公开的晶圆背面清洗装置能够有效提高晶圆背部杂质的清洗效果，同时还能够有效提升晶圆背部杂质的清洗效率。
背面清洗装置

[实用新型]硅片清洗室清洗系统-CN202022808084.5有效
发明人：许忠晖;王东铭;陈嘉勇;李嘉伦 -专利权人：泉芯集成电路制造（济南）有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗室清洗系统，包括至少一根设置在硅片清洗室顶部且带有开关的第一清洗管道，所述第一清洗管道上设置有第一清洗液喷头，且所述第一清洗液喷头的喷射范围至少覆盖所述硅片清洗室内的载体、排气间隙以及机械臂。当进行硅片清洗室的清洗时，开关打开，清洗液通过第一清洗管道进入喷头内，然后将清洗液喷射在载体、排气间隙以及机械臂上，从而完成对载体、排气间隙以及机械臂的清洗，这可以有效避免盐结晶掉落在硅片上，从而提升芯片加工的良率。
硅片清洗系统

[发明专利]一种去除芯片表面氧化硅的装置及方法-CN202011257581.9在审
发明人： 王东铭;许忠晖;陈嘉勇 -专利权人：泉芯集成电路制造(济南)有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种去除芯片表面氧化硅的装置及方法，涉及半导体技术领域。去除芯片表面氧化硅的装置包括加热机构，加热机构包括上加热器和下加热器，上加热器和下加热器的加热面平行且相对设置，用于分别对芯片的上表面和下表面加热。上述去除芯片表面氧化硅的装置通过上加热器和下加热器同时对芯片的上下表面进行加热，可以提高加热速度，使芯片尽快升温并保证上下表面温度均匀，达到精确的温度控制，减少了产品缺陷，提高了良品率。同时，还可以避免上加热器和下加热器长时间在高功率条件下工作，有效提高了上加热器和下加热器的寿命，节省了电能。
一种去除芯片表面氧化装置方法

[发明专利]单硅片清洗机腔室内压的自动控制系统及自动控制方法-CN202010837534.5在审
发明人：许忠晖;王东铭;陈嘉勇;杨昱霖 -专利权人：泉芯集成电路制造（济南）有限公司
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种单硅片清洗机腔室内压的自动控制系统及自动控制方法，通过将数值比对控制子系统、压差计、风机组和排气装置进行联动控制，实现了自动化控制腔室内压的目的。避免因内压不稳或变成负压，导致大气未经过滤进入腔室造成产品缺陷的问题发生，进而可极大程度的提高产品良率。并且，可有效掌握腔室内压稳定度以及硬体变异，可提前预防硬体变异导致内压不稳定而造成产品缺陷的问题，进而可极大程度的提高产品良率。以及，可自动控制腔体内压，极大程度的降低了人力成本以及提高产出。
硅片清洗室内自动控制系统自动控制方法

[发明专利]一种光刻胶去除装置-CN202010841196.2在审
发明人：许忠晖;王东铭;陈嘉勇;苏财宝 -专利权人：泉芯集成电路制造(济南)有限公司
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明提供一种光刻胶去除装置，涉及半导体设备技术领域，用于去除待加工芯片上的光刻胶，包括：第一喷嘴、第二喷嘴和基座，待加工芯片设置于基座；第一喷嘴和第二喷嘴分别位于待加工芯片相对的两侧，第一喷嘴朝向待加工芯片的上表面喷洒清洁液；第二喷嘴朝向待加工芯片的下表面喷洒加热后的氮气以加热待加工芯片至预设反应温度。实现将氮气的温度传递至待加工芯片，使得待加工芯片的表面温度升高，通过控制氮气的温度，即可实现对待加工芯片表面的温度，即预设反应温度进行精确控制，使得清洁液在与光刻胶反应时能够始终保持在高效温度区间，进而在提高反应速率的同时，也进一步的提高清洗的效率以及效果。
一种光刻去除装置

[发明专利]一种采用气相色谱质谱法同时测定果蔬中氯吡脲、2，4-D、多效唑残留量的方法-CN201610457230.X有效
发明人：顾秀英;许荣年;姚春华;欧菊芳;王东铭;刘技峰;廖明涛 -专利权人：浙江公正检验中心有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明公开一种采用气相色谱质谱法同时测定果蔬中氯吡脲、2，4‑D、多效唑残留量的方法，其方法步骤如下：步骤A制备标准储备液，步骤B混合标准工作液，步骤C样品提取，步骤D净化，步骤E气相色谱质谱联用仪联用分析，步骤F结果计算和分析。本发明一次性同时测量氯吡脲、2，4‑D、多效唑三种物质，操作检测快速，检测的有效性高，在0.04‑10ug/mL浓度范围内，线性良好，方法的回收率在85.7‑95.9%，精密度结果RSD值均小于10.0%，满足实验和日常监测要求，采用丁腈作为提取剂，杂质干扰少，测定的精度更高，测定重复性良好。
一种采用色谱质谱法同时测定果蔬中氯吡脲多效唑残留方法

[发明专利]一种检测香米真伪的气相色谱质谱联用方法-CN201811024459.X在审
发明人：鲍忠定;王东铭;王潇 -专利权人：浙江公正检验中心有限公司
申请日： 2018-09-04 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种检测方法。技术方案是：一种检测香米真伪的气相色谱质谱联用方法，按照以下步骤进行：1)样品制备：按GB/T 5491粮食、油料检验扦样、分样法执行；2)增香剂提取：称取经干燥后的试样，用滤纸包裹，置于索氏抽提器中，由抽提器冷凝管上端加入醚至接收瓶内，于水浴上加热，回流提取；3)浓缩：取下接收瓶，回流液过无水硫酸钠柱干燥，水浴中充氮保护旋转浓缩，氮气吹干，用乙醇溶解、混合并定容；然后离心分离若干分钟，取上清液过滤膜后备用；4)上机检测：将上述待测液上气相色谱质谱仪检测。该方法具有特异性强，操作简便，准确度高，实用的特点，适用于香米真伪的鉴别。
种检测香米气相色谱质谱联用真伪接收瓶水浴气相色谱质谱仪浓缩无水硫酸钠柱索氏抽提器准确度充氮保护氮气吹干回流提取取上清液特异性强样品制备乙醇溶解油料检验上端抽提器待测液过滤膜回流液冷凝管增香剂检测定容分样滤纸扦样取下上机加热备用鉴别粮食

[实用新型]一种四轮定位仪-CN201621444340.4有效
发明人： 王东铭 -专利权人：深圳市三杰宜科技有限公司
申请日： 2016-12-27 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： G01B5/255 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种四轮定位仪，包括轮夹、标靶轴和手柄，标靶轴包括轴，轮夹上设置有与轴匹配的轴孔，标靶轴的轴与轮夹的轴孔装配后，再通过锁紧手柄锁紧，标靶轴还包括防转轴销，所述轮夹上设置有相应的防转孔，通过防转轴销插入防转孔防止轴在轴孔内旋转。解决了现有四轮定位仪常常会因手柄松动时导致轴在轴孔内发生旋转，进而影响测量结果的技术问题。
一种定位

[实用新型]一种加密狗系统-CN201621301480.6有效
发明人： 王东铭 -专利权人：深圳市三杰宜科技有限公司
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： G06Q20/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加密狗系统，包括加密信息存取及时钟模块、加密信息读写模块、加密信息传输模块。加密信息存取及时钟模块、加密信息读写模块、加密信息传输模块依次连接。加密信息存取及时钟模块用于存储加密信息并且提供实时时钟。加密信息读写模块用于读写加密信息存取及时钟模块内的加密信息和时钟。加密信息传输模块用于将加密信息读写模块读取的加密信息和时钟发送给终端设备进行验证。该加密狗系统内部存储加密时间和次数，与终端设备连接后，终端设备内部的应用软件开启运行时，先通过终端设备的串口与加密狗系统进行数据交换，读取加密狗系统的加密信息，并验证，如果验证合法，软件则正常运行；如果验证不合法，则软件不能正常运行，简单、准确地实现了终端设备分期付款自动提醒。
一种加密系统

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