专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]溅射靶材-CN201980018145.5有效
  • 森晓;熊谷训;谷雨;佐藤雄次 - 三菱综合材料株式会社
  • 2019-10-23 - 2022-09-09 - C23C14/34
  • 本发明提供一种溅射靶材,含有合计5质量ppm以上且50质量ppm以下的范围的选自Ag、As、Pb、Sb、Bi、Cd、Sn、Ni、Fe中的一种或两种以上,剩余部分由Cu及不可避免的杂质构成,当通过电子背散射衍射法进行观察,将不包括双晶而以面积平均计算出的平均晶粒直径设为X1(μm),并将极图的强度的最大值设为X2时,满足式(1):2500>19×X1+290×X2,并且通过电子背散射衍射法测定的晶体取向的局部取向差(KAM)为2.0°以下,相对密度为95%以上。
  • 溅射
  • [发明专利]圆筒型溅射靶用原材料-CN201580000747.X有效
  • 大户路晓;熊谷训;樱井晶 - 三菱综合材料株式会社
  • 2015-02-20 - 2017-01-18 - C23C14/34
  • 一种由铜或铜合金构成的圆筒型溅射靶用原材料,在外周面的晶体组织中,根据通过EBSD法测定的每1mm2单位面积的单位总晶界长度LN和每1mm2单位面积的单位总特殊晶界长度LσN而定义特殊晶界长度比率LσN/LN的情况下,在轴线O方向的两端部的外周面和中央部的外周面测定的所述特殊晶界长度比率LσN/LN的平均值为0.5以上,并且各测定值相对于所述特殊晶界长度比率LσN/LN的平均值在±20%的范围内,另外,作为杂质元素的Si和C的含量总计为10质量ppm以下、O含量为50质量ppm以下。
  • 圆筒溅射原材料

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