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- [发明专利]一种搭钩锁紧式刚性链条推拉执行机构-CN201710019421.2有效
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江帆;谭嘉浩;温俊斌;马亮华
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广州大学
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2017-01-11
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2019-05-28
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F16H19/02
- 本发明涉及一种搭钩锁紧式刚性链条推拉执行机构,该机构由刚性链条和驱动器组成,其中,所述的刚性链条中的每一链节由两个半链节组成,每一半链节包括一块外链板、一块内链板和由中部将两块链板固定在一起的两根固定销;所述的两个半链节的头部交错搭接,且在头部的拐角处由一根连接销将两者铰接在一起;所述外链板外侧设有搭钩,该搭钩一头铰接在一伸出外链板的固定销端部,另一头钩挂住相邻半链节中伸出内链板的固定销端部,中部设有控制销;所述的驱动器中导向板的内表面设有导向槽,该导向槽的底面设有控制搭钩的控制销绕搭钩铰接的一头转动的控制槽,用以控制搭钩的钩头钩住或脱离对应的固定销,最终实现刚性链条刚柔状态的转换。
- 一种搭钩锁紧式刚性链条推拉执行机构
- [实用新型]一种喷嘴的清洁装置-CN201720011330.X有效
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温俊斌
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惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司
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2017-01-05
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2017-08-22
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B08B1/02
- 本实用新型公开了一种喷嘴清洁装置,包括所述装置包括基座以及设置于基座上的若干刮拭件,所述若干刮拭件直线排列,所述每个刮拭件的末端形成缺口,所述缺口与喷嘴相适配,在刮拭所述喷嘴时,所述喷嘴依次穿过所有的所述刮拭件的缺口并与所有的所述刮拭件相接触。本实用新型实施例揭示了一种喷嘴清洁装置,该喷嘴清洁装置可以刮拭喷嘴上的杂物达到清洁的作用。另外,该喷嘴清洁装置还可以同时安装多个刮拭件,使得喷嘴清洁装置的多个刮拭件可以同时接触喷嘴,对喷嘴进行清洁处理,减少单位面积上所受的压力,减少刮拭件的磨损,且多次刮拭可减少喷嘴的光阻残留。
- 一种喷嘴清洁装置
- [实用新型]一种校正机构-CN201621236514.8有效
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温俊斌
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惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司
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2016-11-15
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2017-05-24
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G02F1/13
- 本实用新型提供一种校正机构,该校正机构包括转向桌、固定设置在所述转向桌上的用于承托基板的若干支撑柱,每一所述支撑柱的端部均设置有万向滚珠,在所述转向桌的周围还设置有用于校正所述基板的调整机构,所述调整机构作用于所述基板的以使所述基板在所述万向滚珠上移动从而校正所述基板至预设位置。当设置于转向桌周围调整机构作用于基板之后,该基板受力后在该万向滚珠上移动并驱使万向滚珠配合该基板移动至预设位置从而完成校正。由于基板与支撑柱端部的万向滚珠之间产生很轻微的摩擦力,与万向滚珠接触的基板背面不会出现严重刮擦,因此减少了基板背刮异常产生概率。
- 一种校正机构
- [实用新型]气场指示片-CN201520021281.9有效
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颜英哲;温俊斌
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亚智科技股份有限公司
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2015-01-13
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2015-05-13
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G01P13/02
- 本实用新型涉及一种气场指示片,其设于一开口或一视窗,开口或视窗位于一隔板,隔板位于一化学湿制程机台的二槽室之间,气场指示片包含有:一固定部;以及一指示部,其具有多数个条状片,各条状片具有一自由端与一固定端,固定端连接固定部的一侧;其中,当二槽室之间产生气流时,该指示部产生一指示偏角。本实用新型的气场指示片装设于二槽室之间,当二槽室内部产生有一压差时,一气场会由气压较高的槽室流向气压较小的槽室,通过气场指示片所产生的指示偏角,以得知气流的流向,再经由适当的气流调整,以避免制程中基板受到化学物质的污染;本实用新型的气场指示片的结构较为简易,故具有降低成本的优势。
- 指示
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