专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202310684230.3在审
  • 陈思桦;林政明;尤韦翔;何韦德;温伟源;廖思雅 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-09-29 - H01L21/8238
  • 提供了半导体结构及其形成方法。在一个实施例中,一种示例性方法包括:在衬底上方形成与半导体鳍接合的伪栅极堆叠件,在衬底上方共形地沉积第一介电层,在第一介电层上方共形地沉积第二介电层,回蚀刻第一介电层和第二介电层,以形成沿着伪栅极堆叠件的侧壁表面延伸的栅极间隔件,栅极间隔件包括第一介电层和第二介电层,在半导体鳍中及半导体鳍上方并且邻近伪栅极堆叠件形成源极/漏极部件,并且用栅极结构替换伪栅极堆叠件,其中,第一介电层的介电常数小于氧化硅的介电常数,并且第二介电层比第一介电层更不容易被氧化。
  • 半导体结构及其形成方法

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