专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202310684230.3在审
  • 陈思桦;林政明;尤韦翔;何韦德;温伟源;廖思雅 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-09-29 - H01L21/8238
  • 提供了半导体结构及其形成方法。在一个实施例中,一种示例性方法包括:在衬底上方形成与半导体鳍接合的伪栅极堆叠件,在衬底上方共形地沉积第一介电层,在第一介电层上方共形地沉积第二介电层,回蚀刻第一介电层和第二介电层,以形成沿着伪栅极堆叠件的侧壁表面延伸的栅极间隔件,栅极间隔件包括第一介电层和第二介电层,在半导体鳍中及半导体鳍上方并且邻近伪栅极堆叠件形成源极/漏极部件,并且用栅极结构替换伪栅极堆叠件,其中,第一介电层的介电常数小于氧化硅的介电常数,并且第二介电层比第一介电层更不容易被氧化。
  • 半导体结构及其形成方法
  • [发明专利]集成电路及其形成方法-CN202310460694.6在审
  • 王振印;廖思雅;黄瑞乾 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2023-04-26 - 2023-08-22 - G11C11/417
  • 一种集成电路,包括多个SRAM单元。每个SRAM单元包括第一反相器,第一反相器具有垂直堆叠在第一有源区中的第一N型晶体管和第一P型晶体管。SRAM单元包括与第一反相器交叉耦接的第二反相器,并且第二反相器包括垂直堆叠在第二有源区中的第二N型晶体管和第二P型晶体管。SRAM单元包括将第一反相器的输出端电连接到第二反相器的输入端的对接接触件。对接接触件至少部分地位于第一有源区域内。本申请的实施例还公开了一种形成集成电路的方法。
  • 集成电路及其形成方法
  • [发明专利]半导体器件及其形成方法-CN202310266296.0在审
  • 黄瑞乾;廖思雅;王振印;林威呈;曾威程 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2023-03-20 - 2023-07-14 - H01L27/092
  • 公开了具有隔离结构的半导体器件及其制造方法。半导体器件包括第一FET和第二FET、隔离结构以及导电结构。第一FET包括第一鳍结构、设置在第一鳍结构上的第一栅极结构阵列以及设置在第一鳍结构上的第一S/D区域阵列。第二FET包括第二鳍结构、设置在第二鳍结构上的第二栅极结构阵列以及设置在第二鳍结构上的第二S/D区域阵列。隔离结构包括设置在第一FET和第二FET之间并且与第一栅极结构阵列和第二栅极结构阵列物理接触的填充部分和衬垫部分。导电结构设置在衬垫部分中并且电耦合至第二S/D区域阵列的S/D区域。本申请的实施例还涉及半导体器件及其形成方法。
  • 半导体器件及其形成方法
  • [发明专利]具有高表面锗浓度的源或漏结构-CN202011536448.7在审
  • C·博姆伯格;S·维施瓦纳思;P·帕特尔;廖思雅;A·S·墨菲 - 英特尔公司
  • 2020-12-23 - 2021-12-28 - H01L29/78
  • 本公开的发明名称是具有高表面锗浓度的源或漏结构。描述具有高表面锗浓度的集成电路结构。在示例中,集成电路结构包括鳍,该鳍具有下鳍部分和上鳍部分。栅叠层处于鳍的上鳍部分之上,栅叠层具有与第二侧相对的第一侧。第一源或漏结构具有在栅叠层的第一侧被嵌入鳍中的外延结构。第二源或漏结构具有在栅叠层的第二侧被嵌入鳍中的外延结构。第一和第二源或漏结构的外延结构的每个包括硅、锗和硼,锗在第一和第二源或漏结构的外延结构的每个的顶面具有大于55%的原子浓度。
  • 具有表面浓度结构
  • [发明专利]具有增大的接触面积的半导体器件接触-CN201580083356.9有效
  • R.梅汉德鲁;T.加尼;廖思雅 - 英特尔公司
  • 2015-09-25 - 2021-12-21 - H01L29/78
  • 提供了半导体接触架构,其中接触金属延伸到进行接触的半导体层中,由此增加接触面积。偏移间隔部允许实现到半导体材料中的相对深的蚀刻。因此,不是仅仅半导体的平坦水平表面被暴露用于接触面积,而是相对长的垂直沟槽侧壁以及底壁被暴露且可用于接触面积。然后可以利用期望的接触金属来填充该沟槽。可以以促进高效接触沟槽蚀刻工艺的方式来实施接触被形成到其中的半导体层的掺杂,诸如通过例如利用沟槽蚀刻后掺杂或具有以下的半导体层:接触沟槽蚀刻所穿过的上部未掺杂区和下部掺杂S/D区。可以从最终结构移除该偏移间隔部。
  • 具有增大接触面积半导体器件

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