|
钻瓜专利网为您找到相关结果 28个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]双面电容器及其制作方法-CN201880001021.1有效
-
陆斌;沈健
-
深圳市为通博科技有限责任公司
-
2018-08-08
-
2023-06-23
-
H01L29/00
- 本申请实施例涉及双面电容器及其制造方法。该双面电容器包括:在SOI衬底的两个表面刻蚀深度未到达中间绝缘层的沟槽(105,106)以及深度超过中间绝缘层的沟槽结构(107,108);在沟槽(105,106)以及沟槽(107,108)表面依次沉积绝缘电介质薄膜和导电材料,其中,需要去除沟槽(107,108)底部绝缘材料,在沟槽(107,108)中填充导电材料成为导电通道。SOI衬底的上层导电通道与上层绝缘且与下层导通;下层导电通道与下层绝缘且与上层导通。因此,本申请实施例的双面电容器不仅避免了刻蚀贯穿衬底的沟槽,使得整个结构机械强度更好,而且利用了SOI晶圆本身的衬底电容,从而电容更大。
- 双面电容器及其制作方法
- [发明专利]电熔丝及其制造方法、存储单元-CN201880001204.3有效
-
王文轩;沈健;王红超
-
深圳市为通博科技有限责任公司
-
2018-08-24
-
2022-09-02
-
H01L23/525
- 本申请实施例提供了一种电熔丝及其制造方法、存储单元,方法包括:提供一半导体衬底,所述半导体衬底包括预设有源区;在半导体衬底上形成隔离区,其中,所述隔离区与所述预设有源区之间具有高度差并通过至少一侧壁相连;在所述预设有源区上形成阴电极和阳电极;以及在所述侧壁上形成用于连接所述阴电极和阳电极的熔断体,使得熔断体的线宽脱离半导体工艺的极限线宽限制,实现电熔丝的实际线宽可以小于半导体工艺的极限线宽,尤其在同一半导体工艺平台下摆脱其极限线宽的限制从而实现较小的电熔丝实际线宽,从而在熔断时需要的熔断电流较小,进一步地,作为其控制单元的晶体管结构也较小,从而减小了单一存储单元所占面积,提高了存储器的存储容量。
- 电熔丝及其制造方法存储单元
- [发明专利]电容器及其制作方法-CN201880001099.3有效
-
陆斌;沈健
-
深圳市为通博科技有限责任公司
-
2018-08-09
-
2021-11-12
-
H01L49/02
- 本申请实施例提供了一种电容器及其制作方法,该电容器包括:半导体衬底(101),包括相对设置的上表面和下表面;至少一第一沟槽(108),设置于半导体衬底(101),并自该上表面向下形成;至少一第二沟槽(109),设置于半导体衬底(101)且对应于该第一沟槽(108),并自该下表面向上形成;第一导电层(103),设置在半导体衬底(101)上方和该第一沟槽(108)内;第一绝缘层(102),设置于半导体衬底(101)与该第一导电层(103)之间;第二导电层(105),设置在半导体衬底(101)上方和该第一沟槽(108)内,且该第二导电层(105)与半导体衬底(101)电连接;第二绝缘层(104),设置于该第二导电层(105)与该第一导电层(103)之间;第三导电层(107),设置在半导体衬底(101)下方和该第二沟槽(109)内;第三绝缘层(106),设置于该第三导电层(107)与半导体衬底(101)之间,该第三导电层(107)与该第一导电层(103)电连接。
- 电容器及其制作方法
- [发明专利]电容器及其制作方法-CN201880001016.0在审
-
陆斌;沈健
-
深圳市为通博科技有限责任公司
-
2018-08-02
-
2020-04-10
-
H01L29/00
- 本申请实施例提供了一种电容器及其制作方法,电容器可以实现更小封装体积、更高容量,并且电容器的制作方法具有工艺流程简单,制作成本低廉的优点。该电容器包括:第一半导体层;第二半导体层;第一绝缘体层,设置于该第一半导体层和该第二半导体层之间;至少一个导电结构,该导电结构沿第一方向贯穿该第一半导体层和该第一绝缘体层,且与该第二半导体层电连接,该导电结构与该第一半导体层之间设置有绝缘侧壁,该绝缘侧壁电隔离该导电结构与该第一半导体层;第一电极层,与该第一半导体层电连接,且与该至少一个导电结构电隔离;以及第二电极层,与该第二半导体层电连接。
- 电容器及其制作方法
|