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[发明专利]一种多晶硅蚀刻设备与蚀刻方法-CN202310785340.9在审
发明人：董久琪;丁鼎;陈燕 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种多晶硅蚀刻设备与蚀刻方法，包括：反应腔，用于容纳待蚀刻的多晶硅与蚀刻液；循环管道，使蚀刻液进入反应腔；恒温装置，用于维持蚀刻液温度稳定在10℃以内；搅拌装置，设置于反应腔的下部，用于将多晶硅转动，以防止在多晶硅表面生成附着物。本发明的蚀刻液使用寿命增长，相对于传统蚀刻液，降低了硝酸，氢氟酸的浓度，解决了成本，减少了环境污染。在低温的情况下，反应更可控制，浓度较低，随着溶液挥发，在3000kg溶液需要随着反应补充溶液变少，浓度更可控制。
一种多晶蚀刻设备方法

[实用新型]一种陶瓷等静压成型模具-CN202320880145.X有效
发明人：陈敏坚;丁鼎;王义明;付顺;余峰峰 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B28B21/82 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种陶瓷等静压成型模具，包括芯棒，橡胶外圈，橡胶底盘与橡胶盖板，所述芯棒底部设有金属支撑板，所述芯棒顶部设有吊装件，所述金属支撑板上远离芯棒的一面设有叉车支架，所述橡胶底盘设置在所述金属支撑板上，所述橡胶外圈设置在所述橡胶底盘上使得所述芯棒处于所述橡胶外圈内部，所述橡胶盖板设置于所述橡胶外圈远离橡胶底盘的一侧。本实用新型在模具底部引入了叉车支架，便于搬运，实现一体式搬运，降低人力资源成本；在模具下部增加了金属支撑板，起到了降低渗水风险。
一种陶瓷静压成型模具

[实用新型]一种大型棒材的单线切割定位冶具-CN202320265790.0有效
发明人：丁鼎;王杨波;祝郑庆 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大型棒材的单线切割定位冶具，包括第一定位座和第二定位座，所述第一定位座、第二定位座均螺丝固定在单线切割机上，且两者之间形成有切割缝，所述第一定位座上安装有调距机构，所述第二定位座上安装有压紧机构，其中，所述第一定位座、第二定位座上均对称设置有夹持机构，大型棒材相切于相邻三角夹板之间，起到了支撑棒材的作用，且第二气缸可推动相邻三角夹板调整间距，适用于不同尺寸的棒材，调整第一直角板的位置，可改变大型棒材与切割缝正对位置，便于调整切割长度，启动第一气缸，带动夹座抵靠在棒材的顶面上，并调整第二直角板高度下降贴合大型棒材后，可将棒材的两端充分固定。
一种大型单线切割定位

[实用新型]用于矩形薄脆材料的清洗工装-CN202320626149.5有效
发明人：丁鼎;祝郑庆;王杨波 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于矩形薄脆材料的清洗工装，包含：框体，包含相对平行设置的两个固定板以及相对平行设置的两个连接板，连接板的两端分别连接至两个固定板的一端的下部，固定板上设有若干圆孔；第一装载组件，固定连接至框体；第二装载组件，可拆卸连接至框体；第一装载组件包含底板和设置于底板上的第一梳齿插片机构，底板的四个侧面分别连接至两个固定板和两个连接板的底部；第二装载组件包含活动板和设置于活动板上的第二梳齿插片机构，两个固定板的内壁设有若干相对应的滑动引导槽，活动板滑动安装至滑动引导槽内，活动板设有若干长条形的通槽。本实用新型提供的用于矩形薄脆材料的清洗工装，结构简单，清洗效率较高。
用于矩形薄脆材料清洗工装

[实用新型]一种产品快速冷却的置物架-CN202320583790.5有效
发明人：丁鼎;祝郑庆;王杨波 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： F25D31/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种产品快速冷却的置物架，涉及置物架技术领域，包括架本体；连接于架本体上的若干承载板，承载板上设有若干通道；连接于承载板上的若干风扇组件，风扇组件位于通道内；连接于架本体上的若干导流板，导流板和承载板一一对应设置；连接于导流板上的若干散热区一，散热区一和通道一一对应设置。本实用新型的技术效果在于它在具有较快冷却速度的前提下，不仅具有良好的散热导向性，而且具有良好的散热针对性。
一种产品快速冷却置物架

[实用新型]一种半导体圆形部件的清洗工装-CN202222543853.2有效
发明人：丁鼎;陈燕;祝郑庆 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体圆形部件清洗技术领域，且公开了一种半导体圆形部件的清洗工装，包括对称分布的两个支撑架，两个支撑架之间设有一组支撑杆和对称设有两组限位杆，且一组支撑杆数量至少为一个。本实用新型通过设置的调距单元来调节两个限位杆之间的间距以及限位杆的高度，使得两个限位杆配合支撑杆能够用于放置多种不同尺寸的半导体圆形部件，相对于现有的半导体圆形部件清洗工装往往一个工装只能用于放置一个尺寸的半导体圆形部件来说，能够极大地降低采购清洗工装所产生的成本，同时由于可以同时放置多个圆形部件，以及可以避免因产品尺寸不同而频繁更换清洗工装，从而有效的提高了清洗了对半导体圆形部件的清洗效率。
一种半导体圆形部件清洗工装

[发明专利]一种单晶硅零部件的高效湿法蚀刻方法-CN202310052417.1在审
发明人：董久琪;陈燕;丁鼎 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶硅零部件的高效湿法蚀刻方法，包括：步骤S1，将单晶硅零部件倾斜至第一水平角，将清洗溶液从所述单晶硅零部件的最上端喷淋，以冲洗所述单晶硅零部件正面；步骤S2，将冲洗后的所述单晶硅零部件竖直置入至少一个具有蚀刻溶液的循环池中浸泡，以对所述单晶硅零部件正面进行湿法蚀刻；步骤S3，将所述单晶硅零部件提离蚀刻溶液后倾斜至第二水平角，将清洗溶液从所述单晶硅零部件的最上端喷淋，以冲洗所述单晶硅零部件正面的残留，本发明一种单晶硅零部件的高效湿法蚀刻方法，单晶硅零部件作为分隔与被蚀刻结构设置于循环池内，利用曝气的方式可促进浸泡溶液流动，可与单晶硅零部件表面反应，反应迅速、稳定、充分。
一种单晶硅零部件高效湿法蚀刻方法

[实用新型]一种大型石英盘化学清洗工装-CN202222543033.3有效
发明人：丁鼎;陈燕;祝郑庆 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及大型石英盘清洗技术领域，且公开了一种大型石英盘化学清洗工装，包括，两个固定板和两个侧板，且两个固定板和两个侧板相连接形成一个上下贯通的长方体箱体，两个所述固定板和两个侧板相连接形成的长方体箱体内部设有放置单元以用于将石英盘放置在长方体箱体内，所述放置单元包括设在长方形箱体内的支撑件和限位件，所述支撑件为对称设在固定板侧面上的两组支撑杆，所述支撑杆的两端分别连接在两个固定板的侧面上，且石英盘放置在两组支撑杆上。本实用新型解决了现有的大型石英盘清洗装置在对石英盘进行清洗时，清洗效果不佳且不便于进行放入和取出的问题。
一种大型石英化学清洗工装

[实用新型]一种工装放置槽-CN202223082446.2有效
发明人：丁鼎;陈燕;祝郑庆;王杨波 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工装放置槽，包括清洗槽，所述清洗槽内等距排列有多个分隔板，所述分隔板的中部两侧均可拆卸连接有竖条，所述竖条的一侧均粘接固定有擦拭条，所述清洗槽的两侧内壁之间转动嵌设有转轴，所述转轴外壁且位于相邻分隔板之间均固定套设有限位轮，相邻所述限位轮之间均放置有游星轮工装，本实用新型一种工装放置槽，游星轮工装相切于两个相邻限位轮之间，挡环起到了扶正的作用，防止游星轮工装倾倒，由于两个限位轮之间的宽度小于游星轮工装的直径，这就使得一定尺寸的范围内的游星轮工装均能够被有效放置，克服了尺寸限制，且游星轮工装按照半径大小按次序进行放置，可方便进行查找，取放极为便捷。
一种工装放置

[实用新型]一种薄脆材料的定位冶具-CN202223085024.0有效
发明人：丁鼎;陈燕;祝郑庆;王杨波 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及薄脆材料定位技术领域，且公开了一种薄脆材料的定位冶具，包括吸板，所述吸板的顶部开设有凹槽，所述吸板侧面设有吸气管，所述吸气管与凹槽相连通，所述吸板上设有过渡板，且过渡板将凹槽完全覆盖住并与吸板侧面紧贴在一起，过渡板上通过粘蜡粘接有工件，所述凹槽包括第一环形槽和第二环形槽，所述第一环形槽的外径小于第二环形槽的内径，并且第一环形槽和第二环形槽同心分部在吸板上，且吸气管上连通有第一进气管和第二进气管。该薄脆材料的定位冶具解决了现有的薄脆材料定位冶具通过吸盘直接对工件进行定位吸紧，使得薄脆材料在取放过程中容易与吸盘发生摩擦而出现划痕的问题。
一种薄脆材料定位

[实用新型]一种环类零件倒角装置-CN202222908772.8有效
发明人：丁鼎;陈燕;祝郑庆 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及环类零件倒角打磨技术领域，且公开了一种环类零件倒角装置，包括底座和设在底座上的机床，所述机床上连接有打磨工装，所述打磨工装的外打磨面为圆台形，所述底座上连接有环类零件定位单元以对环类零件进行定位进行打磨加工，所述环类零件定位单元包括左右驱动组件，所述打磨工装的外打磨面的斜度为二十至四十度，所述左右驱动组件包括第一驱动电机，所述第一驱动电机连接有螺杆，且螺杆的另一端通过转动座与底座相连接，所述螺杆的外螺纹面上螺纹套接有移动板，所述移动板的底部与底座顶部滑动连接。该环类零件倒角装置解决了现有的脆性环类零件内圈倒角加工时，内圈容易由于应力集中而发生崩边损坏的问题。
一种零件倒角装置

[实用新型]一种大型石英盘搬运工装-CN202222315127.5有效
发明人：丁鼎;陈燕;祝郑庆 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B65D61/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及大型石英盘搬运技术领域，且公开了一种大型石英盘搬运工装，包括固定组件，所述固定组件上对称设有两个抓拉横杆，所述固定组件上设有石英盘放置组件，所述石英盘放置组件包括承载板，所述固定组件上设有辅助放置组件以辅助将石英盘更加顺利的放置到承载板上，所述固定组件包括两个对称设置的U型竖板，两个所述U型竖板之间对称固定连接有两个连接竖板，且固定组件还包括固定连接在两个U型竖板之间的支撑板。本实用新型解决了现有的石英盘搬运一般是由通用转运车或短距离人工手抬的方式进行转运的，极容易在搬运过程中出现磕碰划伤甚至是断裂的现象，从而严重降低了石英盘的品相和质量的问题。
一种大型石英搬运工装

[实用新型]一种脆性材料周转工装-CN202222600167.4有效
发明人：丁鼎;陈燕;祝郑庆 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及脆性材料周转设备技术领域，且公开了一种脆性材料周转工装，包括托板，所述托板的顶部设有限位框，所述限位框内侧壁上对称开设有两个耳槽，所述托板顶部设有垫片，且垫片的外周面与限位框内圈形状相同且相贴合，所述托板上设有辅助限位组件，且辅助限位组件位于限位框内圈内部，所述限位组件包括至少两个固定框，所述固定框底部与垫片顶部相贴合，且多个固定框的尺寸逐渐减小，其中尺寸最大的固定框的外周面形状尺寸与限位框内圈形状尺寸相适配。本实用新型解决了现有的脆性材料在转运过程中容易出现磕碰而发生损坏的问题。
一种脆性材料周转工装

[实用新型]一种硅材料微孔清洗工装-CN202222315100.6有效
发明人：丁鼎;陈燕;祝郑庆 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅材料微孔孔隙清洗技术领域，且公开了一种硅材料微孔清洗工装，包括集水箱，集水箱内设有清洗组件，所述清洗组件上设有硅材料安装组件，且硅材料安装组件包括硅材料放置单元和硅材料固定单元，其中硅材料固定单元包括压盘，且压盘中央部位开设有贯穿腔，硅材料位于压盘和硅材料放置单元之间，还包括设在清洗组件上的密封组件，所述清洗组件包括安装在集水箱内的清洗箱，所述清洗箱的一个侧面上开设有出水口，所述出水口上设有第一下沉台，所述清洗箱的侧面上连通有高压进水管。本实用新型解决了现有的对于磁材料微孔进行冲洗的方式无法有效彻底地对微孔孔隙进行清理的问题的问题。
一种材料微孔清洗工装

[实用新型]一种大型石英盘边缘抛光工装-CN202222320727.0有效
发明人：丁鼎;陈燕;祝郑庆 -专利权人： 杭州睿昇半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及大型石英盘边缘抛光技术领域，且公开了一种大型石英盘边缘抛光工装，包括转盘和转轴，所述转盘固定套接在转轴上，所述转盘上设有抛光单元，且抛光单元包括抛光组件和抛光液注入组件，所述抛光组件包括连接在转盘侧面上的压紧圈，所述压紧圈远离转盘的侧面开设有环形抛光液槽，且抛光液槽的侧面位于压紧圈侧面的中间部位，所述抛光液槽的宽度不大于压紧圈宽度的五分之四，所述压紧圈的外径等于转盘的直径，且压紧圈的宽度不大于转盘直径的六分之一。该大型石英盘边缘抛光工装解决了现有的人工抛光打磨费时费力，且容易在抛光过程可能会造成大型石英盘边缘出现崩边而降低成品率的问题。
一种大型石英边缘抛光工装

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