本发明公开一种高电子迁移率电晶体晶体管及其制作方法,其中该制作高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)的方法为,主要先形成一缓冲层于一基底上,然后形成一阻障层于该缓冲层上,形成一P型半导体层于该阻障层上,形成一第一层包含一负电荷区设于该P型半导体层一侧,然后再形成一第二层包含一正电荷区设于该P型半导体层另一侧。
本发明公开一种高电子迁移率电晶体晶体管及其制作方法,其中该制作高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)的方法为,主要先形成一缓冲层于一基底上,然后形成一阻障层于该缓冲层上,形成一P型半导体层于该阻障层上,形成一第一层包含一负电荷区设于该P型半导体层一侧,然后再形成一第二层包含一正电荷区设于该P型半导体层另一侧。
本发明公开一种高电子迁移率晶体管及其制作方法,其中该制作高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)的方法主要包括:先形成一缓冲层于一基底上,然后形成一阻障层于该缓冲层上,形成一P型半导体层于该阻障层上,形成一压缩应力层于该P型半导体层一侧,再形成一拉伸应力层于该P型半导体层另一侧。