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[发明专利]用于浮起基板的工作台、基板处理装置及基板处理方法-CN201910242855.8有效
发明人：金慧智;李正洙;吴英圭;李润烈;金普承 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：基板处理装置可包括具有第一工作台区段及第二工作台区段的用于浮起基板的工作台、用于移送基板的移送部件、用于向基板上供应药液的药液供应部件及用于控制移送部件与药液供应部件的控制部件。控制部件可控制移送部件使得移送部件将基板沿着移送方向向前方移送到第一工作台区段的前端上部，将基板向后方移动到第一工作台区段的后端上部，再将基板沿着移送方向向前方移动。控制部件可控制药液供应部件使得药液供应部件在位于第一工作台区段的前端上部的基板上预涂覆药液，药液供应部件移动配置在第一工作台的后端上部，在沿着移送方向向前方移送的基板上供应药液。本发明能够防止基板在空气喷射工程及/或真空吸入工程时发生变形及/或损伤。
用于浮起工作台处理装置方法

[发明专利]具有三维结构的存储器件-CN201811562926.4有效
发明人： 李润烈;金灿镐 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H10B41/20 文献下载
摘要：一种存储器件包括：基板；第一存储结构，包括在垂直于基板的顶表面的方向上堆叠在基板上的多条第一字线；金属间层，在第一存储结构上并包括多个中间焊盘，该多个中间焊盘与所述多条第一字线中的分开的相应第一字线连接；第二存储结构，包括在垂直于基板的顶表面的方向上堆叠在金属间层上的多条第二字线；以及上金属层，在第二存储结构上并包括多个上焊盘，所述多个上焊盘与所述多条第二字线中的分开的相应第二字线连接。
具有三维结构存储器件

[实用新型]曝光掩模-CN202222605286.9有效
发明人： 李润烈;李载友;金玄祐 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： G03F1/42 文献下载
摘要：提供了曝光掩模。该曝光掩模包括被曝于光以在衬底上形成图案的图案部分、围绕图案部分的外围的围绕部分以及布置在围绕部分中的校正图案部分。校正图案部分沿图案部分的边缘以线排列布置。
曝光

[发明专利]非易失性存储器器件及其操作方法-CN201910572730.1在审
发明人： 李润烈;朴钟哲;李瑟妃;林敬燮 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： G11C16/04 文献下载
摘要：一种非易失性存储器器件，包括：第一存储器堆叠，包括彼此垂直堆叠的第一存储器单元；第二存储器堆叠，包括彼此垂直堆叠的存储器单元；以及控制逻辑，被配置为基于在第一存储器操作中施加到第一存储器堆叠中的第一存储器单元中的一个的第一电压，设置施加用于第二存储器堆叠中的第二存储器单元之一的第二存储器操作的第二电压的电压电平。第二存储器堆叠垂直堆叠在第一存储器堆叠上。使用第一电压确定第一存储器单元中的一个的单元特性。
非易失性存储器器件及其操作方法

[发明专利]非易失性存储器装置和在其内部传输数据的方法-CN201910553134.9在审
发明人： 李润烈;韩煜基 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： G11C16/08 文献下载
摘要：提供了一种非易失性存储器装置和在其内部传输数据的方法，所述非易失性存储器装置包括竖直地堆叠在下半导体层上的上半导体层。上半导体层包括第一存储器组，第一存储器组与第二存储器组在第一水平方向上被分隔区域分隔开，下半导体层包括旁路电路，旁路电路位于分隔区域的至少一部分的下面并且被构造为选择性地将第一存储器组的第一位线与第二存储器组的第二位线连接。
存储器组非易失性存储器装置第二存储器上半导体层分隔区域旁路电路位线下半导体层半导体层传输数据堆叠竖直分隔

[发明专利]非易失性存储器器件及其初始化信息读取方法-CN201811586144.4在审
发明人： 李润烈;韩煜基 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G11C16/06 文献下载
摘要：公开了一种从非易失性存储器器件读取初始化信息的方法。在该方法中，当检测到加电时，非易失性存储器器件对源电压进行分压，以产生要在初始化信息读取操作中向未选字线提供的低读取通过电压。低读取通过电压被设置为在接地电压和源电压之间的至少一个电压。非易失性存储器器件允许基于加电在初始化信息读取操作中不对源电压进行泵浦。在初始化信息读取操作中，非易失性存储器器件向未选字线提供低读取通过电压，并且向选定字线提供读取电压，以读取存储器单元中存储的初始化信息。
初始化信息非易失性存储器器件读取读取操作源电压未选字线加电读取存储器读取电压接地电压选定字线泵浦分压存储检测