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[发明专利]半导体晶圆切割的制造装置及方法-CN202310493057.9在审
发明人：邢莹;王超;李伯汉;张历阳 -专利权人：三河建华高科有限责任公司
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体晶圆切割的制造装置，包括底架，所述底架内设置有挡板，所述挡板的底部设置有两组第一电推杆，两组所述第一电推杆的输出端之间设置有加工台，所述加工台顶部的两侧设置有用于固定晶圆板的压紧部件，所述底架顶部的后端设置有支架。该半导体晶圆切割的制造装置，通过将晶圆板置于加工台上，由压紧部件使晶圆板两侧被压紧固定，接着驱动第一电推杆，将晶圆板调节至合适高度，通过位移部件控制激光切割头移动，将第一电机驱动，使激光切割头画圆进行切割处理，由第二电推杆可调节其切割尺寸，使得装置更加便捷适用，能够快速智能化实现对晶圆板的连续切割处理。
半导体切割制造装置方法

[发明专利]一种超薄基片吸附结构及匀胶机-CN202310389266.9有效
发明人：李斌;吕磊;张历阳;李伯汉;刘冰鑫 -专利权人：三河建华高科有限责任公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本申请涉及吸附结构技术领域，具体公开一种超薄基片吸附结构及匀胶机，超薄基片吸附结构包括：吸盘本体，其设置有第一吸附孔和第二吸附孔，第一吸附孔和第二吸附孔均设置有若干个，并且沿周向等间距设置在吸盘本体上，第一吸附孔和第二吸附孔沿周向交替设置；其中，第一吸附孔在第一时间区间内对吸盘本体上的基片进行吸附，第二吸附孔在第二时间区间内对吸盘本体上的基片进行吸附，第一时间区间和第二时间区间相交并且连续交替。本申请可以避免基片在被吸附的过程中始终是同一位置受到吸力，超薄基片不易因吸力而变形。与此同时，在交替的过程中，基片也不易因吸力的突然消失而无法被牢固地吸附在吸盘本体上，保障了吸附功能的稳定有效。
一种超薄吸附结构匀胶机

[发明专利]一种高精度掩膜版架抬升机构-CN202310165926.5在审
发明人：毛善高;芦刚;李伯汉;邢莹 -专利权人：三河建华高科有限责任公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种高精度掩膜版架抬升机构，包括版架及版架锁紧系统，所述版架及版架锁紧系统的下方安装有气动抬升及微分调节系统，所述版架及版架锁紧系统包括版架支撑架、掩膜版架、大帽螺钉和锁紧气缸，所述版架支撑架的下表面一体成型有导向座，所述版架支撑架的上表面安装有掩膜版架，所述掩膜版架共设置四个，所述版架支撑架的前端面和右端面对称安装有四个锁紧气缸。本发明锁紧气缸的杆体同时顶出实现掩膜版架定位锁死于版架支撑架指定位置，使用抬升气缸完成气动抬升动作，使得导向座在导轨滑块机构完成导向抬升运动，在手动微分头作用下，实现掩膜版达到指定间隙的微分动作，将掩膜版于基片分离到指定的间距。
一种高精度掩膜版架抬升机构

[发明专利]一种半导体设备用高精度XYZθ四轴移动系统-CN202210501625.0在审
发明人：芦刚;李伯汉;李顺;刘冰鑫;葛昕东 -专利权人：三河建华高科有限责任公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体设备用高精度XYZθ四轴移动系统，涉及导体设备技术领域。该一种半导体设备用高精度XYZθ四轴移动系统，包括Z向气动抬升系统、θ向手动高精调系统和XY向手动精调系统，所述Z向气动抬升系统上设置有气缸抬升机构，所述Z向气动抬升系统上设置一组高精度滑轨，所述Z向气动抬升系统上设置有载物上挂板，所述θ向手动高精调系统上设置有千分表进近机构，所述θ向手动高精调系统上设置有θ向旋转平台。通过Z向气动抬升系统、θ向手动高精调系统和XY向手动精调系统从而实现了半导体设备的四轴移动，相较于传统的半导体设备三轴移动系统可以进行更加复杂位置的调整且调整精度高。
一种半导体备用高精度 xyz 移动系统

[发明专利]一种半导体设备用晶圆运输机械手-CN202210611267.9在审
发明人：毛善高;芦刚;李伯汉 -专利权人：三河建华高科有限责任公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体设备用晶圆运输机械手，包括机械手气动θ向旋转机构，所述机械手气动θ向旋转机构包括底座，所述底座上连接设有导轨定位移动模组，所述导轨上连接设有转轴模组，所述机械手气动θ向旋转机构上连接设有机械手电动Z向抬升机构，所述机械手电Z向抬升机构包括固定基座，所述固定基座上连接设有抬升基座，所述滑块上连接设有安装板，所述安装板上连接设有机械手真空取晶圆机构，所述机械手真空取晶圆机构包括机械手安装基座，所述机械手安装基座上连接设有活动吸盘，所述真空锁紧槽内连接设有机械手吸盘锁紧机构。本发明与现有技术相比优点在于：结构新颖、设计合理、工作效率高。
一种半导体备用运输机械手

[发明专利]一种接触接近式曝光机掩膜版找平微分机构-CN202210495501.6在审
发明人：李顺;芦刚;李伯汉;毛善高;黄武勇 -专利权人：三河建华高科有限责任公司
申请日： 2022-05-08 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种接触接近式曝光机掩膜版找平微分机构，包括工作台基体，所述工作台基体下方连接设有动力气缸安装座，所述动力气缸安装座上安装设有动力气缸，所述工作台基体上连接设有升降组件，所述升降组件包括安装座，所述安装座上连接设有若干LM导轨，所述LM导轨上活动连接设有升降座，所述升降座侧面连接设有支撑块，所述支撑块上安装设有电子微分尺，所述升降座上连接设有版架组件，所述版架组件包括版架本体，所述版架本体内设有安装腔，所述安装腔内连接设有找平版架。本发明与现有技术相比优点在于：结构新颖、设计合理、使用方便、找平误差小、并能在多次微动分离时保持找平状态且不发生偏移、效率高、重复性好。
一种接触接近曝光机掩膜版找平微分机构

[发明专利]一种半导体设备用机械手与预上片台系统-CN202210503325.6在审
发明人：芦刚;李伯汉;李顺;杨家荣;王振宇 -专利权人：三河建华高科有限责任公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B25J9/12 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体设备用机械手与预上片台系统，涉及半导体设备技术领域。该半导体设备用机械手与预上片台系统，包括机械手系统和气动旋转预上片台系统，所述机械手系统包括有机械手气动θ向旋转机构、机械手Z向电动抬升机构、机械手真空取片机构，所述机械手气动θ向旋转机构用于实现机械手Z向电动抬升机构进行θ向旋转，所述机械手Z向电动抬升机构用于实现机械手真空取片机构上下运动，所述机械手真空取片机构用于与气动旋转预上片台系统接触并微量Z向抬升。通过机械手系统与气动旋转预上片台系统的配合实现上下片，既保证效率，也保证基片的对准精度，提高曝光效果。
一种半导体备用机械手上片系统

[实用新型]副仪表板组件和车辆-CN202023045909.9有效
发明人：王东逸;李伯汉;王焕超;宋家保;边文贤;王超;范云飞;李浩杰;石腾飞 -专利权人：长城汽车股份有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： B60K37/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及汽车内饰，提供一种副仪表板组件和车辆。本实用新型所述的副仪表板组件包括副仪表板本体和安装于所述副仪表板本体上的多个储物件，所述副仪表板本体上设有多个安装承接结构，所述储物件上设有多个安装配合结构，所述安装配合结构可拆卸安装在所述安装承接结构上，以使得所述储物件选择性地安装在所述副仪表板本体的不同位置上。本实用新型采用“一个储物平台+多个储物件”的设计理念，在一个公用的平台上，驾乘人员可以依据自身习惯随心拆卸杯托、音响包、储物盒等结构，并可以为客户搭配其他的不同的选装包，以解决现有技术中汽车副仪表板上储物件不易拆卸且不能移动的问题。
仪表板组件车辆

[实用新型]车辆的驾驶支撑结构和车辆-CN202022166421.5有效
发明人：王焕超;李伯汉;王东逸;宋家保;李浩杰;边文贤;赵永刚;张聪 -专利权人：长城汽车股份有限公司
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： B60N3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种车辆的驾驶支撑结构和车辆，所述驾驶支撑结构设在所述车辆的副仪表板上，所述驾驶支撑结构位于驾驶员的靠近所述副仪表板的小腿侧，所述驾驶支撑结构用于支撑驾驶员的小腿。根据本实用新型的车辆的驾驶支撑结构，通过在副仪表板上设置驾驶支撑结构，驾驶支撑结构位于驾驶员的靠近所述副仪表板的小腿侧，驾驶员在驾驶过程中，可以将小腿支撑在支撑结构上，避免朝向副仪表板一侧的小腿处于悬空状态，有利于缓解驾驶员的腿部疲劳感，保证驾驶车辆的安全性。
车辆驾驶支撑结构

[实用新型]后背门结构及车辆-CN202022160576.8有效
发明人：宋家保;李伯汉;范云飞;王东逸;王焕超;边文贤;段景韦;王超;李浩杰;王冬冬 -专利权人：长城汽车股份有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： B60J5/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种后背门结构及车辆，属于车辆配件领域，包括后背门本体和功能构件集成组件，功能构件集成组件设于后背门本体的底端部，后背门本体的底端部具有向下延伸的延伸部，延伸部用于从功能构件集成组件的后侧遮挡功能构件集成组件。本实用新型提供的后背门结构及车辆，将功能构件集成组件设置于后背门本体的底端部，并可将牌照设置于后保险杠向，这样的设计不影响功能构件集成组件的功能，同时，通过延伸部的遮挡，功能构件集成组件于后背门的外观没有明显影响，可处于隐藏的状态，延伸部作为后背门本体的一部分，既能够使后背门本体取消装饰条，以降低生产成本，又能够减小碰撞损坏功能构件的风险。
后背结构车辆

[实用新型]行李舱盖板位置调节结构-CN202021800913.9有效
发明人：王焕超;李伯汉;宋家保;王东逸;边文贤 -专利权人：长城汽车股份有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： B62D43/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种行李舱盖板位置调节结构，其用于车辆中行李舱盖板位置的调节，并包括底座、滑块和限位部，其中，底座上构造有沿车辆高度方向布置的滑槽，滑块被约束于滑槽内、且可沿滑槽滑动，并于滑块上连接有一端伸于底座外的盖板连接件，限位部相邻于滑槽设于所述底座上，并高于滑槽的底部布置，且限位部具有限位件，承接于外力驱使，所述限位件因滑动而可使自身的一部分横置于滑槽中，以将滑块支托于滑槽内的其一位置。本实用新型的行李舱盖板位置调节结构，利用限位件对滑块的支托，可实现对行李舱盖板位置的调节，且通过将滑块约束于滑槽内，也能够防止行李舱盖板被拆卸下来，由此可避免行李物品直接压迫行李舱地板处布置的部件。
行李舱盖板位置调节结构

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