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[发明专利]用于具有限定地定向的改性线的晶片制造的方法-CN201880026395.9有效
发明人：马尔科·斯沃博达;拉尔夫·里斯克;克里斯蒂安·拜尔;扬·黎克特 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2018-01-15 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明因此涉及一种用于将至少一个固体层(2)从供体衬底(1)分离的方法。根据本发明，方法优选地至少包括如下步骤：提供供体衬底(1)，其中供体衬底(1)具有晶格平面(6)，所述晶格平面相对于平坦的主表面(8)是倾斜的，其中主表面(8)对供体衬底(1)沿供体衬底(1)的纵向方向在一侧限界，其中晶格平面法线相对于主表面法线沿第一方向倾斜；提供至少一个激光器；将激光器的激光辐射经由主表面(8)引入到供体衬底(1)的内部中，用于在至少一个激光焦点的区域中改变供体衬底(1)的材料特性，其中激光焦点通过激光器的由激光发射的激光束形成，其中材料特性通过激光辐射到供体衬底(1)中的进入地点的改变而造成的改变构成线形构型(103)，其中在至少一个产生平面(4)上产生材料特性的改变，其中供体衬底(1)的晶格表面(6)相对于产生平面(4)倾斜地定向，其中线形构型(103)相对于在产生平面(4)和晶格平面(6)之间的相交部位处得出的交接线(10)是倾斜的，其中由于改变的材料特性，供体衬底(1)以亚临界的裂纹的形式撕裂；通过将外力导入到供体衬底(1)中以连接亚临界的裂纹来分离固体层(2)，或者将如此多的材料在产生平面(4)上借助于激光辐射改变，使得在连接亚临界的裂纹的条件下，固体层(2)从供体衬底(1)剥离。
用于具有限定定向改性晶片制造方法

[发明专利]用于用压力加载应力产生层以改进地引导分离裂纹的设备和方法-CN201880052283.0有效
发明人：马尔科·斯沃博达;拉尔夫·里斯克;克里斯蒂安·拜尔;扬·黎克特 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2018-08-10 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将至少一个固体子层(1)、尤其固体片从供体衬底(2)分离的方法。根据本发明的方法在此优选地至少包括如下步骤：提供供体衬底(2)；在供体衬底(2)的对供体衬底(2)轴向限界的、尤其平坦的表面(5)处产生或设置应力产生层(4)；将压力加载装置(8)的至少一个压力加载元件(6)压紧到应力产生层(4)的至少一个预先确定的部分上，以将应力产生层(4)压紧到表面(5)上；将固体子层(1)从供体衬底(2)通过热加载应力产生层(4)分离，由此在供体衬底(2)中产生机械应力，其中通过机械应力产生用于分离固体子层(1)的裂纹，其中将压力加载元件(6)在热加载应力产生层(4)期间压紧到应力产生层(4)处。
用于压力加载应力产生改进引导分离裂纹设备方法

[发明专利]基于激光器的分离方法-CN201580064748.0有效
发明人：克里斯蒂安·拜尔;扬·黎克特 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在固体(1)中产生分离区域(2)的，尤其用于沿着分离区域(2)分开固体(1)的方法，其中待分离的固体部分(12)与减少了该固体部分(12)的固体(1)相比更薄。根据本发明，该方法优选至少包括下述步骤：借助于修改机构，尤其借助于至少一个激光器，尤其皮秒激光器或者飞秒激光器对固体(1)的晶格进行修改，其中该修改物，尤其激光束经由待分离的固体部分(12)的表面(5)进入到固体(1)中，其中在晶格中产生多个修改部(9)，其中晶格由于修改部(9)在围绕所述修改部(9)的区域中而至少在各一个部分中断裂。
基于激光器分离方法

[发明专利]待分裂固体的组合的激光处理-CN201780019156.6有效
发明人：拉尔夫·里斯克;马尔科·斯沃博达;扬·黎克特 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2017-03-22 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将至少一个固体层(14)与固体(1)分离的方法，其中通过改性部(2)预设裂纹引导区域(4)，所述裂纹引导区域用于引导裂纹以将固体部分(6)、尤其固体层与固体(1)分离。本发明优选至少包括如下步骤：将固体(1)相对于激光加载装置(8)移动，借助激光加载装置(8)依次产生激光束(10)，以分别产生至少一个改性部(2)，其中调节激光加载装置(8)，以根据至少一个参数、尤其固体在限定的位置处的且对于限定的固体深度的透射来限定地产生改性部，其中通过调节激光加载装置(8)来平衡固体(1)在被加载的表面的区域中和/或在固体(1)的被加载的体积的区域中的不均匀性，将固体层(14)与固体(1)分离。
分裂固体组合激光处理

[发明专利]借助于材料转化的固体分开-CN201580064710.3有效
发明人： 扬·黎克特;克里斯蒂安·拜尔;拉尔夫·里斯克 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01L21/301 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在固体(1)中产生剥离区域(2)的方法，所述剥离区域用于将固体部分(12)，尤其固体层(12)与固体(1)剥离，其中要剥离的固体部分(12)比减去固体部分(12)的固体更薄。根据本发明，所述方法至少包括如下步骤：提供要加工的固体(1)，其中固体(1)优选由化学的化合物构成；提供激光光源；用所述激光光源的激光辐射加载固体(1)，其中激光束经由要分离的固体部分(12)的表面(5)进入固体(1)中，其中激光辐射限定地加载固体(1)的在固体(1)内部的预设的部分，以构成一个剥离区域(2)或多个子剥离区域(25，27，28，29)，其特征在于，通过激光加载在晶格中依次产生多个修改部(9)，其中晶格由于修改部(9)在围绕修改部(9)的区域中至少在所述区域的各一个部分中裂开，其中通过在修改部(9)的区域中的裂纹预设剥离区域(2)或者预设多个子剥离区域(25，27，28，29)。
借助于材料转化固体分开

[发明专利]用于切削材料的晶片制造和晶片处理的方法-CN201680020802.6有效
发明人：弗朗茨·席林;沃尔弗拉姆·德雷舍尔;扬·黎克特 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2016-04-07 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造多层装置的方法。根据本发明的方法在此至少包括步骤：提供供体衬底(2)以分离固体层(4)、尤其晶片；在供体衬底(2)中为了预设裂纹走向产生改型部(12)，尤其借助于激光射束(10)产生；提供用于容纳固体层(4)的载体衬底(6)；借助于接合层(8)将载体衬底(6)设置在供体衬底(2)上，其中载体衬底(6)设为用于提高要分离的固体层(4)的机械强度以用于继续加工；在载体衬底(6)上设置或产生应力产生层(16)；热加载应力产生层(16)，用于在供体衬底(2)中产生应力，其中通过应力产生来触发裂纹，所述裂纹沿着预设的裂纹走向伸展以将固体层(4)与供体衬底(2)分离，使得固体层(4)连同接合的载体衬底(6)分离。
用于切削材料晶片制造处理方法

[发明专利]借助于材料转化的固体分开-CN201810563830.3有效
发明人： 扬·黎克特;克里斯蒂安·拜尔;拉尔夫·里斯克 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在固体(1)中产生剥离区域(2)的方法，所述剥离区域用于将固体部分(12)，尤其固体层(12)与固体(1)剥离，其中要剥离的固体部分(12)比减去固体部分(12)的固体更薄。根据本发明，所述方法至少包括如下步骤：提供要加工的固体(1)，其中固体(1)优选由化学的化合物构成；提供激光光源；用所述激光光源的激光辐射加载固体(1)，其中激光束经由要分离的固体部分(12)的表面(5)进入固体(1)中，其中激光辐射限定地加载固体(1)的在固体(1)内部的预设的部分，以构成一个剥离区域(2)或多个子剥离区域(25，27，28，29)，其特征在于，通过激光加载在晶格中依次产生多个修改部(9)，其中晶格由于修改部(9)在围绕修改部(9)的区域中至少在所述区域的各一个部分中裂开，其中通过在修改部(9)的区域中的裂纹预设剥离区域(2)或者预设多个子剥离区域(25，27，28，29)。
借助于材料转化固体分开

[发明专利]产生控制数据的方法、产生改性部的方法和分离的方法-CN201780043612.0有效
发明人：马尔科·斯沃博达;拉尔夫·里斯克;扬·黎克特;弗朗茨·席林 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2017-07-13 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于产生控制数据的方法，所述控制数据用于再加工借助于激光束(10)改性的固体(1)，尤其晶片。固体(1)在此在其内部中具有多个改性部(12)，其中改性部(12)借助于激光束(10)产生。方法包括如下步骤：限定分析标准，用于分析在固体(1)的内部中的产生的改性部(12)；限定关于分析标准的阈值，其中一方面阈值的分析值触发再加工登记；借助分析装置(4)分析晶片，其中分析装置(4)关于分析标准分析改性部(12)，并且输出关于被分析的改性部的分析值，其中分析值处于阈值之上或之下；输出关于被分析的改性部的位置数据，其中位置数据包含如下信息，在固体(1)的哪个/哪些区域中，分析值处于阈值之上或之下；产生控制数据，所述控制数据用于操控激光处理装置(11)，以再处理固体(1)，其中控制数据至少包括为再加工登记的改性部(12)的位置数据。
产生控制数据方法改性分离

[发明专利]用于在固体中平坦地产生改性部的方法和设备-CN201680078011.9有效
发明人：拉尔夫·里斯克;克里斯蒂安·拜尔;克里斯托夫·冈瑟;扬·黎克特;马尔科·斯沃博达 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2016-12-12 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在固体中产生改性部的方法，其中通过改性部预设裂纹引导区域，所述裂纹引导区域用于引导裂纹以将固体部分，尤其固体层与固体分离。根据本发明的方法在此优选至少包括如下步骤：将固体相对于激光加载装置移动；借助于激光加载装置依次产生多个激光束，以分别产生至少一个改性部，其中激光加载装置设定为，连续地根据多个参数，尤其至少两个参数将激光束受限地聚焦。
用于固体平坦产生改性方法设备

[发明专利]借助于激光束连续地处理固体的设备和方法-CN201680015256.7有效
发明人： 扬·黎克特;马尔科·斯沃博达 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2016-03-14 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于处理固体(2)的设备(1)。根据本发明的设备包括：至少一个容纳装置(4)，所述容纳装置具有用于容纳固体(2)的容纳部分(6)和用于保持所述容纳部分(6)的保持部分(10)，其中所述容纳部分(6)能够借助于驱动装置连续地驱动；激光装置(14)，所述激光装置用于提供激光束(16)以在所述固体(8)中或者在所述固体(2)的表面(20)上产生改型部(18)；和光学装置(20)，所述光学装置用于引导所述激光束(16)，其中所述激光束(16)能够借助于所述光学装置(20)转向为，使得一个或多个固体(2)能够在不同的位置处受所述激光束(16)照射。
借助于激光束连续处理固体设备方法

[发明专利]用倾斜激光射束在供体基底的边缘区域中引导裂纹的方法-CN201680036953.0有效
发明人：马尔科·斯沃博达;克里斯蒂安·拜尔;弗朗茨·席林;扬·黎克特 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于从供体基底(2)分离固体片(1)的方法。所述方法在此包括下述步骤：提供供体基底(2)；借助于至少一个激光射束(12)在供体基底(2)的内部产生至少一个改性部(10)，其中激光射束(12)经由供体基底(2)的平坦的表面(16)进入到供体基底(2)中，其中激光射束(12)相对于供体基底(2)的平坦的表面(16)倾斜成，使得所述激光射束以相对于供体基底的纵轴线的不等于0°或180°的角度进入到供体基底中，其中激光射束(12)为了产生改性部(10)在供体基底(2)中聚焦，其中固体片(1)通过所产生的改性部(10)从供体基底(2)剥离，或者在供体基底(2)的平坦的表面(16)上产生或设置应力产生层(14)，并且通过热加载应力产生层(14)在供体基底(2)中产生机械应力，其中通过机械应力产生用于分离固体层(1)的裂纹(20)，所述裂纹沿着改性部(10)扩展。
倾斜激光供体基底边缘区域引导裂纹方法

[发明专利]用于在固体中产生短的亚临界裂纹的方法-CN201980013943.9在审
发明人： 扬·黎克特;马尔科·斯沃博达;阿尔布雷希特·乌尔里希;拉尔夫·里斯克 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2019-02-19 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在固体(1)的内部中产生改性部(9)的方法。所述方法包括：将激光器(29)的激光辐射(14)经由固体(1)的第一表面(8)引入到固体(1)的内部中，其中固体(1)构成晶体结构，并且其中通过激光辐射(14)在固体(1)的内部中的产生平面(4)上的预定部位处产生改性部(9)，其中与相对于第二表面相比，改性部(9)相对于第一表面(8)更近地间隔开，其中第二表面平行于第一表面(8)构成，其中通过改性部(9)产生多个线形构造(103)，其中固体(1)在相应的改性部(9)的区域中亚临界地裂开，其中亚临界裂纹正交于相应的线形构造的纵向延伸方向具有小于150μm的平均裂纹长度，其中属于同一线形构造(103)且依次产生的改性部(9)彼此相距一定间距产生，所述间距通过函数(d‑x)/d‑0.31限定，其中在此适用xd。
用于固体产生临界裂纹方法

[发明专利]用于产生大面积的固体层的方法-CN201480073401.8有效
发明人：卢卡斯·利希滕斯泰格尔;扬·黎克特;沃尔弗拉姆·德雷舍尔 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2014-12-04 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造至少一个固体层(1)的方法。在此，所述方法至少包括下述步骤：提供载体衬底(2)，所述载体衬底具有暴露的第一表面(4)并且具有暴露的第二表面(6)；在载体衬底(2)中或在载体衬底(2)的暴露的第一表面(4)上产生剥离层(8)，其中剥离层(8)具有裸露的表面(10)；在剥离层(8)的裸露的表面(10)上产生第一固体层(1)，其中第一固体层(1)具有与剥离层(8)隔开的自由的表面(12)；在载体衬底(2)的暴露的第二表面(6)上或在第一固体层(1)的自由的表面(12)上设置或构成容纳层(14)；在剥离层(8)之内产生应力，其中通过至少对容纳层(14)调温来产生应力，其中在剥离层(8)之内或在剥离层(8)和第一固体层(1)之间的边界区域(16)中由于应力而展开缝隙，其中通过缝隙将第一固体层(1)与之前所产生的多层装置分裂。
用于产生大面积固体方法

[发明专利]用于制造固体层的方法和设备以及根据该方法制造的晶片-CN201610221643.8有效
发明人： 扬·黎克特;沃尔弗拉姆·德雷舍尔 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2016-04-11 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造固体层的方法。根据本发明的方法优选至少包括下述步骤：提供固体(2)用于分开至少一个固体层(4)；借助于至少一个辐射源(18)的辐射、尤其激光器的辐射在所述固体的内部结构中产生缺陷以预设剥离平面(8)，所述固体层(4)沿着所述剥离平面从所述固体(2)处分开，借助于沿着所述剥离平面(8)引导的裂纹将所述固体层(4)从所述固体(2)处分开，由此所述固体(2)处露出表面并且在所述固体层(4)处露出表面，其中在将所述固体层(4)分开之后借助于回火装置执行射束处理以使被分开的所述固体层(4)的露出的表面的表面结构和/或所述固体(2)的露出的表面的表面结构平滑。
用于制造固体方法设备以及根据晶片

[发明专利]用于将晶片从供体衬底无切屑地分离的分离设备-CN201680006088.5有效
发明人： 扬·黎克特 -专利权人：西尔特克特拉有限责任公司
申请日： 2016-01-13 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将至少一个晶片从供体衬底(2)分离的设备(1)。在此，根据本发明的设备(1)包括：至少一个壳体(4)，所述壳体具有用于容纳至少一个多层布置(8)的容纳腔(6)，所述多层布置至少由供体衬底(2)和在所述供体衬底上设置或产生的容纳层(10)构成；和加载装置(12)，所述加载装置用于无接触地加载多层布置(8)以在多层布置(8)中产生裂缝引导应力。
用于晶片供体衬底切屑分离设备

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