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[发明专利]大口径长焦距菲索型球面干涉测试装置-CN201811128428.9有效
发明人：赵智亮;陈立华;刘敏;赵子嘉;陈辉 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司;赵智亮
申请日： 2018-09-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种大口径长焦距菲索型球面干涉测试装置，包括干涉测试成像和对准测试系统和长焦距测试调整结构。本发明装置可实现最大口径Φ200mm大曲率半径凹球面光学元件面形精度检测，也可对Φ200mm口径的球面或平面系统的物理参数及综合系统光学参数检测。测试精度PV值优于λ/10，RMS值优于λ/50，系统重复性优于λ/500，曲率半径的测试范围为7500mm～8500mm，且大曲率半径测试误差小于1/1000。
口径焦距菲索型球面干涉测试装置

[发明专利]一种大口径光学元件平面面形绝对检测方法-CN202310433323.9在审
发明人：赵智亮;赵子嘉;刘乾;张志华;黄丹;王雪竹 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本申请涉及光学元件平面面形检测技术领域，公开了一种大口径光学元件平面面形绝对检测方法，本申请的检测方法只需两块平晶，互检四次以后，经过数据处理就可以计算得到被测镜的面形分布，整个检测过程不需要旋转平晶，测量方法简单易于操作，是一种有效的平面绝对检测方法，并且同时还能够将光学元件的中频面形信息单独提取出来，从而指导标准镜的超光滑表面加工。
一种口径光学元件平面绝对检测方法

[发明专利]一种Φ1200mm极大口径平面光学干涉测试装置-CN202310343734.9有效
发明人：赵智亮;赵子嘉;张志华;陈辉;黄丹;王雪竹;淳于永昕;葛瑞红 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种Φ1200mm极大口径平面光学干涉测试装置，包括集成控制模块、激光光源模块、小端口干涉测试模块、大端口干涉测试模块、成像模块、切换模块和快速对准模块，集成控制模块分别与激光光源模块、成像模块、切换模块以及快速对准模块连接。本发明的装置能够实现最大口径达到Φ1200mm口径范围的平面光学元件/系统测试，可以实现极大口径平面元件的反射面形、透射面形、光材料折射率均匀性等参数干涉测试分析，装置测试精度PV值小于63nm，RMS值小于10nm。本发明集成的共光路的快速对准模块实现了Φ1200mm极大口径元件测试调试的快速对准，对准角度范围达到±25°，干涉测试调试时间小于5min。
一种 1200 mm 极大口径平面光学干涉测试装置

[发明专利]一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置-CN202310335400.7有效
发明人：赵智亮;赵子嘉;颉自强;张志华;王雪竹;陈辉;葛瑞红 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明涉及光学系统测量领域，公开了一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置，所述装置包括激光光源组件、扩束组件、超大口径平面干涉测试组件、球面干涉测试组件、成像组件、测试对准组件和光路切换组件。本发明的干涉测试装置能够实现Φ20mm～800mm口径范围的所有口径平面光学元件反射面形、透射面形、光材料折射率均匀性等参数干涉测试分析，同时兼顾实现Φ20mm～800mm口径球面元件面形检测、光学系统综合波前检测。本发明的干涉测试装置最大可测试口径达到Φ800mm，装置物方分辨率小于0.4mm，系统测试精度PV值小于53nm，RMS值小于6nm。
一种超大口径平面球面光学干涉测试装置

[实用新型]一种立式半导体晶圆TTV干涉测试装置-CN202121558153.X有效
发明人：赵智亮;陈立华;赵子嘉;张志华;葛瑞红 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本申请涉及半导体行业的晶圆检测技术领域，公开了一种立式半导体晶圆TTV干涉测试装置，所述装置由激光扩束准直单元、干涉成像单元、干涉测量单元以及整机调试单元构成。本申请在测量时，能够还原晶圆实际工作状态，因此能够测试晶圆实际工作状态下的参数，测试结果更加准确，精度更高，并且成本也更低。
一种立式半导体 ttv 干涉测试装置

[发明专利]立式半导体晶圆TTV干涉测试装置-CN202110777342.4在审
发明人：赵智亮;陈立华;赵子嘉;张志华;葛瑞红 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本申请涉及半导体行业的晶圆检测技术领域，公开了一种立式半导体晶圆TTV干涉测试装置，所述装置由激光扩束准直单元、干涉成像单元、干涉测量单元以及整机调试单元构成。本申请在测量时，能够还原晶圆实际工作状态，因此能够测试晶圆实际工作状态下的参数，测试结果更加准确，精度更高，并且成本也更低。
立式半导体 ttv 干涉测试装置

[实用新型]波长调谐相移干涉测试装置-CN202020104005.X有效
发明人：赵智亮;陈立华;刘敏;张志华;龚小康 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司;赵智亮
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种波长调谐相移干涉测试装置及测试方法，包括波长调谐激光器、干涉测试系统、干涉图样采集系统三部分。本实用新型克服了常规干涉仪机械相移器安装繁琐、结构复杂等问题，通过采用自修正相位测试原理，可计算得到干涉腔腔长值，并修正相移误差，从而实现整体干涉仪系统的高精度、高效率检测。实验表明，本实用新型系统装置相位修正误差值为±π/50，系统重复性精度为λ/1000～λ/2000。
波长调谐相移干涉测试装置

[实用新型]微应力支撑可调节光学镜架结构-CN201921698838.7有效
发明人：赵智亮;陈立华;刘敏 -专利权人：赵智亮;成都太科光电技术有限责任公司
申请日： 2019-10-11 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：一种微应力支撑可调节光学镜架结构，包括前后板、左右侧板、手柄、支撑块、连接杆、钢带组件、柔性垫层和塑料螺钉以及用于固定前后板连接杆的圆柱头内六角螺钉。本实用新型克服了长期以来大口径光学元件工装加工技术难、装调繁琐且成本造价高等问题，同时考虑到在使用过程中存在较大装夹应力的缺陷，采用粘贴有5mm柔性垫层的钢带和支撑块紧固光学元件，消除了光学元件变形的问题，从而实现光学元件微应力支撑可调节的技术效果。实验表明，选取Ф300mm平面光学元件，首次装夹时，PV值变化范围为±λ/300；多次重复拆卸装夹时，测试PV值变化范围为±λ/100，对元件本身精度的影响可忽略不计。
应力支撑调节光学镜架结构

[发明专利]波长调谐相移干涉测试装置及测试方法-CN202010052207.9在审
发明人：赵智亮;陈立华;刘敏;张志华;龚小康 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司;赵智亮
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种波长调谐相移干涉测试装置及测试方法，包括波长调谐激光器、干涉测试系统、干涉图样采集系统三部分。本发明克服了常规干涉仪机械相移器安装繁琐、结构复杂等问题，通过采用自修正相位测试原理，可计算得到干涉腔腔长值，并修正相移误差，从而实现整体干涉仪系统的高精度、高效率检测。实验表明，本发明系统装置相位修正误差值为±π/50，系统重复性精度为λ/1000～λ/2000。
波长调谐相移干涉测试装置方法

[发明专利]微应力支撑可调节光学镜架结构和光学镜装夹方法-CN201910965274.7在审
发明人：赵智亮;陈立华;刘敏 -专利权人：赵智亮;成都太科光电技术有限责任公司
申请日： 2019-10-11 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：一种微应力支撑可调节光学镜架结构和光学镜装夹方法，结构包括前后板、左右侧板、手柄、支撑块、连接杆、钢带组件、柔性垫层和塑料螺钉以及用于固定前后板连接杆的圆柱头内六角螺钉。本发明克服了长期以来大口径光学元件工装加工技术难、装调繁琐且成本造价高等问题，同时考虑到在使用过程中存在较大装夹应力的缺陷，采用粘贴有5mm柔性垫层的钢带和支撑块紧固光学元件，消除了光学元件变形的问题，从而实现光学元件微应力支撑可调节的技术效果。实验表明，选取Ф300mm平面光学元件，首次装夹时，PV值变化范围为±λ/300；多次重复拆卸装夹时，测试PV值变化范围为±λ/100，对元件本身精度的影响可忽略不计。
装夹光学元件柔性垫层支撑可调节连接杆前后板微应力钢带圆柱头内六角螺钉大口径光学元件平面光学元件手柄成本造价多次重复工装加工光学镜架技术效果塑料螺钉左右侧板变形的光学镜紧固装调拆卸粘贴测试

[实用新型]大口径长焦距菲索型球面干涉测试装置-CN201821576980.X有效
发明人：赵智亮;陈立华;刘敏;赵子嘉;陈辉 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司;赵智亮
申请日： 2018-09-27 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种大口径长焦距菲索型球面干涉测试装置，包括干涉测试成像和对准测试系统和长焦距测试调整结构。本实用新型装置可实现最大口径Φ200mm大曲率半径凹球面光学元件面形精度检测，也可对Φ200mm口径的球面或平面系统的物理参数及综合系统光学参数检测。测试精度PV值优于λ/10，RMS值优于λ/50，系统重复性优于λ/500，曲率半径的测试范围为7500mm～8500mm，且大曲率半径测试误差小于1/1000。
球面长焦距干涉测试装置大口径菲索型光学元件面形本实用新型测试测试调整测试误差对准测试干涉测试光学参数精度检测平面系统物理参数综合系统最大口径凹球面成像口径检测

[实用新型]百微米量程透射式干涉测试装置-CN201821698778.4有效
发明人：赵智亮;陈立华;刘敏;赵子嘉;张志华 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司;赵智亮
申请日： 2018-10-19 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种百微米量程透射式干涉测试装置，由632.8nm激光光源模块、准直测试模块、对准测试模块、小量程干涉成像模块和大量程干涉成像模块五部分构成，可测试平面光学元件的反射及透射波前面形精度，可测试平面光学元件的最大口径为Φ200mm，也可用于测试光学系统的物理特性以及综合系统光学参数等。本实用新型测试精度的PV值优于λ/10，RMS值优于λ/50，系统重复性优于λ/500；本实用新型检测面形精度范围在0～100μm。本实用新型检测精度范围宽、成本低、空间占用体积小，适用于光学元件的大面积高精度对准测试。
本实用新型干涉测试装置平面光学元件对准测试干涉成像可测试透射式量程测试光学系统激光光源模块测试模块光学参数光学元件空间占用物理特性综合系统最大口径大量程体积小透射波小量程检测可用面形准直反射测试

[实用新型]半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置-CN201820120210.8有效
发明人：赵智亮;陈利华;赵子嘉;葛瑞红;廖伟;李季根;刘敏 -专利权人：赵智亮;成都太科光电技术有限责任公司
申请日： 2018-01-24 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种用于检测中红外光学元件、材料及光学系统的半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置，包括双波段共光路准直输出模块、10.5μm半导体红外光干涉成像模块和635nm半导体可见光干涉成像测试对准模块，本实用新型装置可实现中红外测试精度PV值优于0.05λ，RMS优于0.01λ，系统重复性优于0.001λ的高分辨率干涉测试。
半导体干涉测试装置可见光双波长透射式半导体红外光红外光学元件本实用新型可见光干涉成像测试干涉测试干涉成像高分辨率光学系统红外测试输出模块共光路双波段准直对准检测

[发明专利]卧式双端口平面斐索干涉测试装置-CN201510189130.9有效
发明人：赵智亮;陈立华;林大建;葛瑞红;赵子嘉;郑万国 -专利权人： 成都太科光电技术有限责任公司;赵智亮
申请日： 2015-04-20 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种用于检测平面光学元件的卧式双端口斐索干涉测试装置，由大测试端口和小测试端口两部分组成，分为大测试端口模块、小测试端口模块、测试对准模块、激光光源模块和变焦成像模块五个模块。该干涉测试装置可实现φ24mm～600mm口径范围的所有口径平面光学元件反射面形、透射面形、光材料折射率均匀性等参数干涉测试分析。
卧式端口平面干涉测试装置

[发明专利]半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置-CN201810070402.7在审
发明人：赵智亮;陈利华;赵子嘉;葛瑞红;廖伟;李季根;刘敏 -专利权人：赵智亮;成都太科光电技术有限责任公司
申请日： 2018-01-24 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种用于检测中红外光学元件、材料及光学系统的半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置，包括双波段共光路准直输出模块、10.5μm半导体红外光干涉成像模块和635nm半导体可见光干涉成像测试对准模块，本发明装置可实现中红外测试精度PV值优于0.05λ，RMS优于0.01λ，系统重复性优于0.001λ的高分辨率干涉测试。
半导体干涉测试装置可见光双波长透射式半导体红外光红外光学元件可见光干涉成像测试干涉测试干涉成像高分辨率光学系统红外测试输出模块共光路双波段准直对准检测

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