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[发明专利]一种模块化的ALD反应气体分布器、系统及制备涂层的方法-CN202210561465.9有效
发明人：冯昊;惠龙飞;李建国;秦利军;张王乐;龚婷;李丹;胡逸云 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了一种模块化的ALD反应气体分布器、系统及制备涂层的方法，包括相对的第一气体分布单元和第二气体分布单元，第一气体分布单元和第二气体分布单元相互独立地进行气体分布；其中，多个第一布气管与多个第二布气管之间相互交替嵌入式排布，形成一个布气平面层。ALD反应系统包括带有真空泵的ALD反应腔室，ALD反应腔室内设置有沉积基底，沉积基底上方设置有气体分布器，还包括第一供气单元和第二供气单元，本发明的气体分布器有助于实现气态前驱体在基底材料表面的均匀分布，缩短反应气体扩散时间，提高沉积薄膜的质量。本发明的气体分布器用于在大尺寸基底材料表面进行原子层沉积薄膜的制备。
一种模块化 ald 反应气体分布系统制备涂层方法

[发明专利]高比表面积及高活性位点数的界面催化剂、制备及应用-CN202310766242.0在审
发明人：冯昊;李丹;李建国;秦利军;胡逸云;龚婷;张王乐;惠龙飞;房佳斌 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B01J23/745 文献下载
摘要：本发明提供了一种高比表面积及高活性位点数的界面催化剂、制备及应用，该界面催化剂以无定形活性炭为载体，在无定形活性炭的表面沉积Fe2O3和TiO2两种物种的界面；所述的界面为Fe2O3‑TiO2界面、TiO2‑Fe2O3界面、Fe2O3‑TiO2‑Fe2O3界面或TiO2‑Fe2O3‑TiO2界面。该方法采用原子层沉积法。高比表面积及高活性位点数的界面催化剂用于作为高氯酸铵的热分解反应的催化剂的应用。本发明制备的界面催化剂的界面结构精确可调且具有较高的活性位点数，其催化高氯酸铵分解的性能远远高于目前文献和专利报道的结果。与现有技术相比，本发明制备的界面催化剂具有高活性界面位点数多、环境绿色友好、催化高氯酸铵活性高等优点。双金属氧化物界面催化剂制备过程简单方便。
表面积活性点数界面催化剂制备应用

[发明专利]一种氮化钛基电阻层的制备方法-CN202310431296.1在审
发明人：冯昊;张王乐;龚婷;秦利军;李建国;惠龙飞;房佳斌;李丹;胡逸云 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了一种氮化钛基电阻层的制备方法，该方法采用原子层沉积法循环多个周期，每个周期内包括氮化钛沉积循环工艺和金属氧化物沉积循环工艺；或每个周期内包括氮化钛沉积循环工艺和金属氮化物沉积循环工艺。氮化钛基电阻层的厚度为20nm～80nm，氮化钛基电阻层的电阻值在0.01MΩ～500MΩ范围内能够调节。本发明的制备方法首次将金属氧化物或金属氮化物掺杂制备电阻值可控的电阻层薄膜。本发明的制备方法通过调节氮化钛及金属氮化物或氧化物掺杂比例，可获得厚度精确可控、电阻值大小精确可调的致密且均匀薄膜。
一种氮化电阻制备方法

[发明专利]一种高导热晶态氮化铝薄膜的制备方法-CN202310476815.6在审
发明人：冯昊;张王乐;严家佳;苏健军;李建国;惠龙飞;龚婷;秦利军 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C30B25/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种高导热晶态氮化铝薄膜的制备方法，该方法采用原子层沉积法进行制备，铝源为三甲基铝或三乙基铝；含氮前驱体为氨气；所述的原子层沉积反应腔的温度为300～350℃；进行多个原子层沉积的循环周期制备高导热晶态氮化铝薄膜。本发明的方法在较温和条件下，不依托于等离子体产生设备，无衬底生长、前、后处理步骤等，即实现了高导热、高质量晶态氮化铝薄膜的可控制备。本发明的方法中含氮前驱体的分解及吸附过程是氮化铝原子层沉积过程速控步骤，也是氮化铝薄膜结晶质量的决定步骤。
一种导热晶态氮化薄膜制备方法

[发明专利]一种脉冲式均匀薄膜快速气相沉积的装置与方法-CN202110127372.0有效
发明人：冯昊;李建国;张王乐;惠龙飞;秦利军 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开一种脉冲式均匀薄膜快速气相沉积的装置与方法，包括反应腔室、设在反应腔室一端的取样部以及反应腔室另一端的多个前驱体蒸汽注入单元；前驱体蒸汽注入单元包括前驱体蒸汽管路和惰性载气管路且二者汇合为主管路后伸入反应腔室、连通前驱体蒸汽管路的真空排空支路、连通惰性载气管路的惰性载气排空支路、位于反应腔室内且连在主管路端部的气体分布器、设在惰性载气管路上的流量控制器、设在各管路和支路上的阀门及连接前驱体蒸汽管路的储罐。本发明各前驱体蒸汽均可实现连续或间断脉冲式注入，且前驱体蒸汽浓度均可通过惰性载气进行稀释与调整；在保证薄膜沉积速度的同时可最大限度的节约反应前驱体，减少资源浪费，减少环境污染。
一种脉冲均匀薄膜快速沉积装置方法

[发明专利]一种可调控能量释放的硼基固体燃料及其制备方法-CN202110023294.X有效
发明人：冯昊;秦利军;龚婷;李丹;李建国;张王乐;惠龙飞;胡逸云 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C10L5/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种可调控能量释放的硼基固体燃料及其制备方法，包括利用原子层沉积的方法将金属纳米氧化物薄膜沉积到硼颗粒表面，形成以硼颗粒为核，金属纳米氧化物薄膜为壳的硼基固体燃料，所述的金属纳米氧化物薄膜为氧化钛、氧化锆、氧化铋、氧化钼、氧化钨、氧化锡、氧化钒、氧化铜、氧化镍、氧化硅、氧化铅、氧化锰、氧化铝、氧化锌、和氧化镁中的一种或多种。本发明中的经过原子层沉积氧化物包覆改性的硼燃料，由于各种理化性质不同的金属氧化物在氧化过程中对硼燃料的能量输出过程产生各自不同的影响，进而实现对硼燃料能量输出结构的精确调控，拓展了硼燃料的应用范围。
一种调控能量释放固体燃料及其制备方法

[发明专利]以锂基复合薄膜为保护层的锂离子电池硅负极材料及方法-CN202310194223.5在审
发明人：冯昊;房佳斌;李建国;秦利军;龚婷;李丹;惠龙飞;张王乐;胡逸云 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01M4/38 文献下载
摘要：本发明提供了一种以锂基复合薄膜为保护层的锂离子电池硅负极材料及方法，在纳米硅颗粒外部修饰有锂基复合薄膜作为保护层。锂基复合薄膜为双层lithicone/Li2O、双层Li2O/lithicone或叠层([(Li2O)x+(lithicone)y]z，其中x,y,z均为可变参数，且x≥1，y≥1，z≥2。本发明使用ALD和MLD技术制备了一种具有高初始库伦效率、高容量、长循环寿命的锂基复合薄膜修饰的锂离子电池硅负极材料。本发明的的硅负极材料的纳米级硅颗粒可以保证电极颗粒与电解液的充分接触，缩短了离子输运路径，增加反应的活性位点。本发明的的硅负极材料的锂基复合薄膜预先提供了部分锂源，减少了锂化过程固体电解质膜形成对锂的大量消耗。
复合薄膜保护层锂离子电池负极材料方法

[发明专利]一种强化气-固传质的原子层沉积反应器及方法-CN202210684043.0有效
发明人：冯昊;龚婷;惠龙飞;秦利军;张王乐;李建国;胡逸云;李丹 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了一种强化气‑固传质的原子层沉积反应器及方法，驱动器的壳体可拆卸式安装在反应外腔的后端，反应外腔的前端与进气法兰相连；反应外腔内设置有前端和后端均开放的转动笼，转动笼内安装有能够随着转动笼一起转动的多维度挡板；出气管的后端设置的连接头与驱动器的转轴可拆卸式相连，进气管和出气管均与转动笼同轴设置形成一个转动整体，驱动器带动出气管、转动笼和进气管一起同步转动。本发明中转动笼内的多维度挡板和圆锥形进气管结构起到强化气‑固传质的作用。轴向安装的挡板有效的分散粉末，平行侧板能进一步强化分散又可能重新团聚的粉末，物料在转动笼内的做多维运动，翻滚效果明显增强。
一种强化传质原子沉积反应器方法

[发明专利]一种沉积氧化铋的硼燃料及制备方法-CN202210462365.0有效
发明人：冯昊;李丹;秦利军;龚婷;李建国;胡逸云;张王乐;惠龙飞 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C06B27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种沉积氧化铋的硼燃料及制备方法，该方法采用沉淀沉积法在硼粉表面沉积氧化铋，形成沉积氧化铋的硼燃料；所述的沉淀沉积法是以BiCl3为铋源，以NaOH为沉淀剂，在硼粉表面进行沉淀，得到沉淀中间产物，将沉淀中间产物进行煅烧沉积，最终得到沉积氧化铋的硼燃料；所述的沉积氧化铋的硼燃料中的氧化铋的含量为0.1wt.％～10wt.％。本发明采用的沉淀沉积法操作流程简单，制备效率高，活性催化组分氧化铋可以均匀负载到硼粉表面，形成高度分散的活性界面，仅需负载少量的氧化铋就可使硼粉的点火性能获得大幅提升。
一种沉积氧化燃料制备方法

[发明专利]一种推进剂用碳基二氧化钛复合燃烧催化剂及其制备方法-CN202010288096.1有效
发明人：冯昊;李建国;李丹;龚婷;秦利军;张王乐;惠龙飞 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2020-04-14 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B01J21/18 文献下载
摘要：本发明提出一种推进剂用碳基二氧化钛复合燃烧催化剂及其制备方法，制备方法主要包括将碳基基底暴露在四异丙醇钛蒸气中，使其蒸气分子在碳基基底表面进行化学与物理吸附；利用惰性气体将表面物理吸附的四异丙醇钛分子吹离；将碳基基底暴露在双氧水或水的蒸气中，使其蒸气分子与吸附的四异丙醇钛分子发生基团置换反应；利用惰性气体将碳基基底表面被置换的基团以及多余蒸气分子吹离其表面。本发明制备的复合燃烧催化剂，二氧化钛均匀分散在碳基表面，二氧化钛负载量精确可调，结构精确可控，活性位点充分暴露，充分利用晶界催化与协同催化，燃烧催化剂性能佳，环境友好。
一种推进剂用碳基二氧化复合燃烧催化剂及其制备方法

[发明专利]一种高燃烧效率的包覆二氧化钛的硼燃料及溶胶凝胶法制备方法-CN202210463139.4有效
发明人：冯昊;秦利军;李丹;龚婷;惠龙飞;李建国;张王乐;胡逸云 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C06D5/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种高燃烧效率的包覆二氧化钛的硼燃料及溶胶凝胶法制备方法，该方法采用溶胶凝胶法在硼粉表面包覆二氧化钛颗粒或者薄膜，形成包覆二氧化钛的硼燃料；溶胶凝胶法是由溶于乙醇的含钛前驱体滴加至硝酸溶液中形成TiO2胶体溶液，再将硼粉加入TiO2胶体溶液中，得到固体中间产物；将固体中间产物进行高温加热，制得包覆二氧化钛的硼燃料；包覆二氧化钛的硼燃料中的二氧化钛的含量为0.1wt.wt.％～10wt.wt.％。本发明制备的包覆二氧化钛的硼燃料具有优异的点火和燃烧性能，燃烧效率高，二氧化钛在包覆二氧化钛的硼燃料中占比较小，对硼燃料的能量密度影响较小。
一种燃烧效率包覆二氧化燃料溶胶凝胶法制方法

[发明专利]一种沉积钴化合物的硼燃料及沉淀沉积法制备方法-CN202210462388.1有效
发明人：冯昊;李丹;秦利军;龚婷;胡逸云;惠龙飞;李建国;张王乐 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C06B27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种沉积钴化合物的硼燃料及沉淀沉积法制备方法，该方法采用沉淀沉积法在硼粉表面沉积钴化合物，形成沉积钴化合物的硼燃料；所述的沉淀沉积法是以钴盐为钴源，以碱性溶液为沉淀剂，在硼粉表面进行沉淀，得到沉淀中间产物，将沉淀中间产物进行煅烧沉积，最终得到沉积钴化合物的硼燃料；所述的沉积钴化合物的硼燃料中的钴化合物的含量为0.1wt.％～10wt.％。本发明采用的沉淀沉积法的制备方法可实现极少量钴化合物在硼粉颗粒表面的均匀沉积，可根据实际需求精确调控钴化合物的负载量，可在不影响硼粉燃料能量密度的前提下有效改善硼粉的点火和燃烧性能，具有很好的应用前景。
一种沉积化合物燃料沉淀法制方法

[发明专利]一种铝粉表面原子层沉积CuOx-CN202011517411.X有效
发明人：冯昊;胡逸云;秦利军;李丹;李建国;龚婷;张王乐;惠龙飞 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝粉表面原子层沉积CuOx修饰层的制备方法及应用，该方法采用原子层沉积法将CuOx沉积在铝粉表面形成具有CuOx修饰层包覆膜的铝粉。制得的具有CuOx修饰层包覆膜的铝粉用于含能火药、炸药和/或推进剂中的应用。方法可优化铝粉能量输出性能，能根据所需修饰层的厚度需求，在铝粉表面形成均匀、致密的纳米尺度金属氧化物包覆壳层。所提供的方法具有自动化程度高、安全性能好、经济环保等优点，被该方法制备的修饰层包覆的铝粉对比原始铝粉点火温度降低，点火延迟时间显著降低，释能效率提高，反应完全程度和做功能力提高。表面修饰层的主要成分为CuOx，修饰层完整、均匀地包覆在每一个铝粉颗粒的表面，厚度在纳米级别精确可控。
一种表面原子沉积 cuo base sub

[发明专利]一种高燃烧性能硼粉复合物及其制备方法-CN202110023313.9有效
发明人：秦利军;冯昊;胡逸云;李丹;龚婷;李建国;惠龙飞;张王乐 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： C06B45/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种高燃烧性能硼粉复合物及其制备方法，包括以硼颗粒为内核，以纳米金属氧化物为中间过渡层包覆在所述硼颗粒表面，以纳米氧化铁薄膜为表层包覆在所述纳米金属氧化物表面；所述的纳米金属氧化物为氧化铝、氧化锌、氧化钛、氧化镁中的一种或多种。本发明中的纳米氧化铁薄膜和中间过渡层金属氧化物薄膜均匀的包覆于硼粉表面，通过调控原子层沉积循环次数可以实现氧化物组分和含量的精确可控。基于双金属氧化物的协同催化作用，经过原子层沉积金属氧化物和氧化铁包覆的硼粉复合物，氧化铁与硼粉的反应温度较硼粉与氧气的反应温度提前了约180℃，并且能量释放效率显著提高。
一种燃烧性能复合物及其制备方法

[发明专利]一种双金属氧化物改性硼燃料及制备方法-CN202210462386.2有效
发明人：冯昊;秦利军;李丹;龚婷;李建国;胡逸云;张王乐;惠龙飞 -专利权人：西安近代化学研究所
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： C06B33/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种双金属氧化物改性硼燃料及制备方法，该方法采用浸渍‑沉淀沉积法或沉淀沉积‑浸渍法对硼粉表面进行双金属氧化物改性，形成双金属氧化物改性硼燃料；所述的双金属氧化物为氧化铋和氧化钒的复合二元双金属氧化物；所述的双金属氧化物改性硼燃料中的氧化铋和氧化钒的含量分别为0.1wt.％～5wt.％。本发明采用沉淀沉积‑浸渍法和浸渍‑沉淀沉积法在硼粉表面负载氧化铋和氧化钒两种金属氧化物，形成具有高反应活性的双金属氧化物改性硼燃料。相比于纯硼粉具有较低氧化放热峰温和较短的点火延迟时间，并且两种金属氧化物组分的占比很低，可以在不影响硼粉能量密度的前提下有效改善硼粉的点火和燃烧性能，具有较大的应用潜力。
一种双金属氧化物改性燃料制备方法

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