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[实用新型]一种涂胶显影机化学液供料系统-CN202021945811.6有效
发明人： 张怀宣 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂胶显影机化学液供料系统，包括：第一缓冲罐、第二缓冲罐、原料输出泵、原料储存罐；所述第一缓冲罐通过第一管道连接所述原料输出泵；所述第一管道上设置有第一阀门，用于控制所述第一管道的通闭；所述第二缓冲罐通过第二管道连接所述原料输出泵；所述第二管道上设置有第二阀门，用于控制所述第二管道的通闭；所述原料储存罐通过第三管道连接所述第一缓冲罐；所述第三管道上设置有第三阀门，用于控制所述第三管道的通闭；所述原料储存罐通过第四管道连接所述第二缓冲罐；所述第四管道上设置有第四阀门，用于控制所述第四管道的通闭。本实用新型的技术效果是：运行过程维护方便，供料过程中不中断。
一种涂胶显影机化供料系统

[实用新型]恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽-CN201920657390.8有效
发明人： 张怀宣 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2019-05-08 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽。恒温供液系统，用于为晶圆清洗槽提供药液，包括：药液循环泵，药液循环泵与晶圆清洗槽分别设置在不同楼层，药液循环泵通过药液管与晶圆清洗槽连通，药液循环泵将药液通过药液管输送至晶圆清洗槽；设置于所述药液管处的加热设备；设置于所述药液管内的温度传感器；控制器，控制器分别与药液循环泵、加热设备以及温度传感器连接，及其含有恒温供液系统的清洗槽。本实用新型的恒温供液系统通过设置加热设备对药液管内的药液温度进行调节，使得进入晶圆清洗槽内的药液温度能够保持在23℃±0.1℃之内，提高晶圆的清洗效果。同时提供含有恒温供液系统的清洗槽，用于清洗晶圆。
供液系统药液循环泵晶圆清洗药液管加热设备清洗槽本实用新型温度传感器控制器晶圆清洗效果楼层连通清洗

[实用新型]一种晶圆搬运机械手臂-CN201820924060.6有效
发明人：金浩天;张怀宣;任行军;李今玉 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆搬运机械手臂，涉及半导体零件输送领域。包括主体和搬运装置，所述主体包括支架和设置在所述支架上的固定座，所述固定座上转动连接有转动座，所述主体上还设有用于驱动所述转动座转动的转动机构；所述搬运装置包括穿设在所述转动座上的滑杆，所述滑杆至少设置为三个，多个所述滑杆的轴线相互平行，并平行于所述转动座的转动轴线，至少一个滑杆的轴线在其余所述滑杆形成的平面的外侧；所述搬运装置还包括分别设置在所述滑杆两端的连接基座和连接底座，所述连接基座用于安装所述搬运头，所述连接底座上还设有用于驱动所述搬运装置升降的升降机构。减小了搬运装置晃动的可能，增加了晶圆的加工精度。
滑杆搬运装置转动座搬运机械连接底座连接基座固定座支架种晶平行手臂半导体零件本实用新型驱动升降机构转动机构转动连接转动轴线平面的减小晶圆晃动搬运升降转动加工

[发明专利]一种晶圆搬运机械手臂-CN201810615286.2在审
发明人：金浩天;张怀宣;任行军;李今玉 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆搬运机械手臂，涉及半导体零件输送领域。包括主体和搬运装置，所述主体包括支架和设置在所述支架上的固定座，所述固定座上转动连接有转动座，所述主体上还设有用于驱动所述转动座转动的转动机构；所述搬运装置包括穿设在所述转动座上的滑杆，所述滑杆至少设置为三个，多个所述滑杆的轴线相互平行，并平行于所述转动座的转动轴线，至少一个滑杆的轴线在其余所述滑杆形成的平面的外侧；所述搬运装置还包括分别设置在所述滑杆两端的连接基座和连接底座，所述连接基座用于安装所述搬运头，所述连接底座上还设有用于驱动所述搬运装置升降的升降机构。减小了搬运装置晃动的可能，增加了晶圆的加工精度。
滑杆搬运装置转动座搬运机械连接底座连接基座固定座支架种晶平行手臂半导体零件驱动升降机构转动机构转动连接转动轴线平面的减小晶圆晃动搬运升降转动加工

[外观设计]过滤槽-CN201730548947.0有效
发明人： 张怀宣 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：过滤槽；2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于两个液体腔之间，进行过滤传输；3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的整体形状；4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
外观设计过滤槽整体形状液体腔过滤传输图片

[实用新型]一种晶圆涂胶机-CN201721404023.4有效
发明人： 张怀宣 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆涂胶机，包括：机台，若干热板，装设在机台内由加热装置控制升温，每个热板上布设温度传感器，进气管和排气管，排气管上布设有压力传感器，风机，与排气管相连，光刻胶供应管路及喷嘴，喷嘴连通至光刻胶供应管路，喷嘴位于机台内部，并且光刻胶供应管路上布设有电子流量计，减法器，获取温度传感器测得的每两个热板的温度差，报警器，以及，控制器，与加热装置、减法器、电子流量计、报警器以及压力传感器通讯连接；其中，控制器根据减法器获得的温度差调节加热装置为热板加热；当电子流量计及压力传感器的测量值超出预设范围时，报警器报警。更好的监控热板温度、光刻胶的输出流量以及风机抽风压力。
一种涂胶

[实用新型]一种循环水加热装置-CN201721404020.0有效
发明人： 张怀宣 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种循环水加热装置，用于为循环水加热，包括：水箱，其上设有进水口和出水口以传导循环水，并且所述水箱为平板状，两块导热板，分别贴合在所述水箱相对的端面上，并且所述导热板在临近所述水箱一侧设有特氟龙镀层；若干个制冷片，贴合在所述导热板的表面，所述制冷片与所述特氟龙镀层位于所述导热板的异侧，冷却板，贴合在所述制冷片的外侧。所述制冷片以矩形形状排布在所述导热板的表面。镀上去的特氟龙层相比贴合的特氟龙膜不会起泡，可以解决气泡导致无法有效加热的问题。将水箱设计为平板状，适合导热板与其充分接触以传导热量。
一种循环加热装置

[实用新型]一种晶圆烘烤系统-CN201721399340.1有效
发明人： 张怀宣 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆烘烤系统，包括：机台，加热装置，若干热板，设置在所述机台上，所述加热装置为所述热板加热，若干温度传感器，布设在每个所述热板上测温，每个热板上至少设置一个温度传感器；减法器，获取所述温度传感器测得的每两个热板的温度差；以及控制装置，根据所述减法器获得的温度差，调节所述加热装置为热板加热，以使所述热板之间的温度差不超过第一设定值。报警器，所述报警器与所述减法器通讯连接；当所述减法器获得的温度差大于第二设定值时，所述报警器报警。基于热板之间的温差通过控制系统调整加热装置为热板升降温，使得热板之间的温差维持在一定范围内，提升晶圆热处理的质量。
一种烘烤系统

[实用新型]一种LED灯座-CN201621333109.8有效
发明人： 张怀宣 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： F21K9/235 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种LED灯座，包括支架；LED发光组件；LED发光组件包括外壳壳体，外壳壳体的内部形成一个具有开口的容纳空间，开口设置于外壳壳体的第一侧壁；外壳壳体的第二侧壁固设有多个第一螺纹连接件；外壳壳体的端壁与支架可活动式连接；LED驱动板，位于容纳空间中；第二螺纹连接件，LED驱动板通过第二螺纹连接件与第一螺纹连接件固定连接；LED发光板，位于容纳空间中；发光板固定螺丝，LED发光板通过发光板固定螺丝与第二螺纹连接件固定连接。本实用新型LED驱动板的空间利用率更高；支架与LED发光组件的可活动式连接，满足了实际使用过程中对LED发光组件的位置、光源角度的调节需求。
一种 led 灯座

[实用新型]一种可调节灯座-CN201621306385.5有效
发明人： 张怀宣 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2016-12-01 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： F21V21/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调节灯座，包括安装支架，设有第一通孔；灯座支架，与安装支架可拆卸式连接，灯座支架上设有第二通孔，且灯座支架还设有至少一个螺纹孔，螺纹孔位于第二通孔的周侧；灯座，灯座上设有安装灯具的安装位，且灯座上还设有至少一个调节通孔，调节通孔位于安装位的周侧，调节通孔与螺纹孔一一对应，且调节通孔的孔径大于螺纹孔的孔径，灯座与灯座支架可拆卸式连接；当灯具的安装端位于灯座的安装位时，灯具的发光端依次穿过安装位、第二通孔和第一通孔，并向下延伸。本实用新型利用灯座上的调节通孔、调高垫片实现对位于灯座上的灯具进行左右、上下调节，从而调节位于灯座中灯具的照度，增加灯具的使用寿命，节省使用成本。
一种调节灯座

[实用新型]一种基于LED灯的照明系统-CN201621367745.2有效
发明人： 张怀宣 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2016-12-13 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： H05B33/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于LED灯的照明系统，包括整流单元，用于将照明系统中交流电源电压经过整流后生成直流电源电压；调压单元，与所述整流单元电连接，用于将整流后的电源电压进行调压处理，供所述照明系统供电；LED照明单元，与所述调压单元连接，通所述调压单元提供的供电电源驱动LED实现照明工作。其目的在半导体生产设备中，提供照射光源，提高生产效率。
一种基于 led 照明系统

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