专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基于硅微/纳米线的微型化双功能气流传感器及其制备方法-CN202110077097.6有效
  • 张晓宏;张丙昌;黄思益 - 苏州大学
  • 2021-01-20 - 2022-07-15 - G01N27/12
  • 本发明涉及一种基于硅微/纳米线的微型化双功能气流传感器及其制备方法,微型化双功能气流传感器包括基底层,所述基底层设有沟道区;传感部件,传感部件包括硅微/纳米线,所述硅微/纳米线包括两个端部及位于两个端部之间的中间部,两个所述端部分别位于沟道区的两侧;两个端部分别连接有金属电极,金属电极连接有引线;封装层,其用于将端部封装于基底层上,中间部及引线裸露于所述封装层外。本发明利用单根硅微/纳米线形成导电回路进行气流传感,除了具有对流速检测能力外还具有对气体种类的传感能力,其制备工艺简单、成本低且拥有高灵敏度和超快响应性,当基底层为柔性高分子时器件可穿戴。
  • 基于纳米微型功能气流传感器及其制备方法
  • [发明专利]一种制备单面氧化超薄硅片的装置及方法-CN202111353891.5在审
  • 张晓宏;张丙昌;卞辰瑜 - 苏州大学
  • 2021-11-08 - 2022-01-28 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种制备单面氧化超薄硅片的装置及方法。本发明包括:第一基板、第二基板和密封件,所述第二基板设有镂空部分,所述第一基板与第二基板可互相连接与拆卸;待减薄的硅片的两面通过密封件固定于第一基板与第二基板之间,所述待减薄的硅片需保留氧化层的一面朝向金属基板,所述待减薄的硅片待除去氧化层的表面暴露于所述镂空部分。本发明提供了一种制备单面氧化超薄硅片的装置和方法,能够有效的对硅片一侧氧化层进行保护,并且提供充足的应力释放空间,避免硅片在加工过程中由于受力不均被破坏,能够简单、低成本的实现单面氧化超薄硅片的制备。
  • 一种制备单面氧化超薄硅片装置方法
  • [发明专利]基于硅微/纳米线的微型化大量程应变传感器及其应用-CN201911395678.3在审
  • 张晓宏;张丙昌;黄思益 - 苏州大学
  • 2019-12-30 - 2020-04-21 - G01L1/18
  • 本发明涉及一种基于硅微/纳米线的微型化大量程应变传感器及其制备方法。该应变传感器包括柔性高分子基底层,功能层和封装层;功能层位于柔性高分子基底层上,封装层将功能层封装于柔性高分子基底层上;功能层包括波浪结构的硅微/纳米线以及设置在其两端的金属电极和引线。本发明还公开了其制备方法,首先利用预拉伸的高分子基底使硅微/纳米线形成波浪形可拉伸结构,然后用波浪结构的硅微/纳米线作为功能层制备微型化大量程应变传感器。本发明传感器具有较大的应变检测范围,良好的稳定性和可逆性,高耐用性,且体积小,轻便,其制备方法操作简单,成本低,对于人体行为监测传感器的应用具有重要意义。
  • 基于纳米微型量程应变传感器及其应用

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